비트라인의 커패시턴스 차이를 줄이기 위한 3차원 채널 적층형 낸드 플래시 메모리 어레이
    2.
    发明授权
    비트라인의 커패시턴스 차이를 줄이기 위한 3차원 채널 적층형 낸드 플래시 메모리 어레이 有权
    用于减少位线电容差异的3D CHENNEL-堆叠NAND闪存存储器

    公开(公告)号:KR101528806B1

    公开(公告)日:2015-06-15

    申请号:KR1020140039277

    申请日:2014-04-02

    CPC classification number: H01L27/11521

    Abstract: 본발명은비트라인이단위빌딩의각 액티브층에전기적으로연결되는 3차원채널적층형낸드플래시메모리어레이에있어서, 비트라인사이의수직방향커패시턴스성분차이를줄이기위한비트라인연결구조를제공한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于减少位线之间的电容差的3D通道堆叠NAND闪存阵列。 在其中位线电连接到单元建筑物的每个有源层的3D通道堆叠的NAND闪存阵列中,本发明提供了一种位线连接结构,用于减少位线之间的垂直电容成分的差异。

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