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公开(公告)号：KR101721071B1
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：KR1020150133008
申请日：2015-09-21
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/027 , H01L21/683 , H01L21/02
Abstract: 패턴된접착테이프를이용한소프트리소그래피방법및 장치가개시된다. 일실시예에따른패턴된접착테이프를이용한소프트리소그래피방법은패턴된주형에접착테이프를부착시키는단계; 상기패턴된주형으로부터상기접착테이프를박리하여, 패턴된접촉테이프를획득하는단계; 상기패턴된접착테이프를제1 기판의박막에접촉시키는단계; 및상기제1 기판으로부터상기패턴된접착테이프를제1 박리속도로박리하여, 상기접착테이프의볼록부에접촉된상기박막을선택적으로제거함으로써, 상기제1 기판에박막패턴을형성하는단계를포함한다.
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