公开(公告)号：WO2015041390A1

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：PCT/KR2014/001290

申请日：2014-02-18

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 한흥남 ,  이성보

IPC: C30B29/38 ,  C23C14/48

CPC classification number: H01L21/02439 ,  C23C16/34 ,  C30B25/18 ,  C30B29/406 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02488 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02658 ,  H01L29/04 ,  H01L29/2003

Abstract: 본 발명은 질화갈륨의 결함 밀도를 현저하게 감소시킬 수 있는 박막 구조체 및 그 제조방법으로서, 사파이어를 포함하는 지지기판 및 상기 지지기판 상에 배치되며 질화갈륨을 포함하는 에피층을 포함하며, 상기 에피층에 대향되는 상기 지지기판의 상부는 규소가 상기 지지기판의 상부면을 통하여 확산되거나 이온주입된 층으로 이루어지는, 박막 구조체를 제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及可以显着降低氮化镓键合密度的薄膜结构及其制造方法。 提供了一种薄膜结构，其包括含蓝宝石的支撑衬底，并且包括设置在支撑衬底上并包含氮化镓的外延层; 并且支撑衬底的面向外延层的上部由其中硅通过支撑衬底的上表面扩散或离子注入的层制成。

公开(公告)号：KR1020150032427A

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：KR1020130111909

申请日：2013-09-17

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 이성보 ,  한흥남

IPC: C30B29/38 ,  C23C14/48

CPC classification number: H01L21/02439 ,  C23C16/34 ,  C30B25/18 ,  C30B29/406 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02488 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02658 ,  H01L29/04 ,  H01L29/2003 ,  C30B29/38 ,  C23C14/48

Abstract: 본 발명은 질화갈륨의 결함 밀도를 현저하게 감소시킬 수 있는 박막 구조체 및 그 제조방법으로서, 사파이어를 포함하는 지지기판 및 상기 지지기판 상에 배치되며 질화갈륨을 포함하는 에피층을 포함하며, 상기 에피층에 대향되는 상기 지지기판의 상부는 규소가 상기 지지기판의 상부면을 통하여 확산되거나 이온주입된 층으로 이루어지는, 박막 구조체를 제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及能够显着降低氮化镓的缺陷密度的薄膜结构及其制造方法。 薄膜结构包括：支撑基板，包括蓝宝石; 以及布置在支撑衬底的顶部并且包括氮化镓的外延层，其中支撑衬底的面向外延层的上部由通过支撑衬底的上表面注入的硅分散或硅离子的层组成。

公开(公告)号：KR101547546B1

公开(公告)日：2015-08-28

申请号：KR1020130111909

申请日：2013-09-17

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 이성보 ,  한흥남

IPC: C30B29/38 ,  C23C14/48

CPC classification number: H01L21/02439 ,  C23C16/34 ,  C30B25/18 ,  C30B29/406 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02488 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02658 ,  H01L29/04 ,  H01L29/2003

Abstract: 본발명은질화갈륨의결함밀도를현저하게감소시킬수 있는박막구조체및 그제조방법으로서, 사파이어를포함하는지지기판및 상기지지기판상에배치되며질화갈륨을포함하는에피층을포함하며, 상기에피층에대향되는상기지지기판의상부는규소가상기지지기판의상부면을통하여확산되거나이온주입된층으로이루어지는, 박막구조체를제공한다.