Abstract:
본 발명은 큐빅 구조로 보았을 때 격자상수가 대략 3.8-4.2 Å 정도인 단결정 기판 상에 산소 결핍 또는 불순물이 주입된 켜쌓기 또는 동종 켜쌓기 주석산바륨 반도체 산화물 박막을 증착시킨, 전기적 특성이 우수하면서 열적으로 안정한 투명 트랜지스터 및 그 제조방법에 관한 것이다.
Abstract:
The present invention relates to a system for manufacturing an oxide semiconductor and a method thereof. The present invention is provided to induce charges by injecting an impurity to BaSnO3 and replace Ba by La to minimize the scattering of the impurity, thereby obtaining high charge mobility. The present invention provides a method for synthesizing mono-crystal (Ba, La) SnO3 by using BaCO3, SnO2, and La2O3 as a starting material and a method for synthesizing mono-crystal (Ba, La) SnO3 by using poly-crystal BaSnO3 as the starting material. [Reference numerals] (AA) Temperature condition of a high temperature reactor