높은 전계 효과 이동도를 가지는 BASNO3 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법
    1.
    发明申请
    높은 전계 효과 이동도를 가지는 BASNO3 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법 审中-公开
    具有高场效应运动的BASNO3薄膜晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:WO2016153172A1

    公开(公告)日:2016-09-29

    申请号:PCT/KR2016/001329

    申请日:2016-02-05

    Inventor: 김기훈 이웅재

    CPC classification number: H01L29/786

    Abstract: 본 발명은 큐빅 구조로 보았을 때 격자상수가 대략 3.8-4.2 Å 정도인 단결정 기판 상에 산소 결핍 또는 불순물이 주입된 켜쌓기 또는 동종 켜쌓기 주석산바륨 반도체 산화물 박막을 증착시킨, 전기적 특성이 우수하면서 열적으로 안정한 투명 트랜지스터 및 그 제조방법에 관한 것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及:当观察为立方结构时,在具有晶格常数的单晶衬底上沉积氧缺乏或杂质注入的外延或同质外延的钡锡酸盐半导体氧化物薄膜的透明晶体管 ,约3.8-4.2埃,透明晶体管具有优异的电性能并且是热稳定的; 及其制造方法。

    높은 전계 효과 이동도를 가지는 BaSnO3 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법
    2.
    发明公开
    높은 전계 효과 이동도를 가지는 BaSnO3 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법 无效
    具有高场效应迁移率的BaSnO 3 BaSnO 3薄膜晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020160115076A

    公开(公告)日:2016-10-06

    申请号:KR1020150041803

    申请日:2015-03-25

    CPC classification number: H01L29/786

    Abstract: 본발명은큐빅구조로보았을때 격자상수가대략 3.8-4.2 Å정도인단결정기판상에산소결핍또는불순물이주입된켜쌓기또는동종켜쌓기주석산바륨반도체산화물박막을증착시킨, 전기적특성이우수하면서열적으로안정한투명트랜지스터및 그제조방법에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及:当观察为立方结构时,在具有晶格常数的单晶衬底上沉积氧缺乏或杂质注入的外延或同质外延的钡锡酸盐半导体氧化物薄膜的透明晶体管 ,约3.8-4.2埃,透明晶体管具有优异的电性能并且是热稳定的; 及其制造方法。

    높은 전하 이동도를 갖는 산화물 반도체 제조 시스템 및 방법
    3.
    发明授权
    높은 전하 이동도를 갖는 산화물 반도체 제조 시스템 및 방법 有权
    用于制造具有高充电载流子迁移率的氧化物半导体的系统和方法

    公开(公告)号:KR101337297B1

    公开(公告)日:2013-12-05

    申请号:KR1020120102418

    申请日:2012-09-14

    CPC classification number: H01L21/02565 H01L21/02623

    Abstract: The present invention relates to a system for manufacturing an oxide semiconductor and a method thereof. The present invention is provided to induce charges by injecting an impurity to BaSnO3 and replace Ba by La to minimize the scattering of the impurity, thereby obtaining high charge mobility. The present invention provides a method for synthesizing mono-crystal (Ba, La) SnO3 by using BaCO3, SnO2, and La2O3 as a starting material and a method for synthesizing mono-crystal (Ba, La) SnO3 by using poly-crystal BaSnO3 as the starting material. [Reference numerals] (AA) Temperature condition of a high temperature reactor

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造氧化物半导体的系统及其方法。 提供本发明以通过向BaSnO 3注入杂质并用La代替Ba以使杂质的散射最小化以获得高电荷迁移率来诱发电荷。 本发明提供一种通过使用BaCO 3,SnO 2和La 2 O 3作为原料合成单晶(Ba,La)SnO 3的方法和通过使用多晶BaSnO 3作为单晶(Ba,La)SnO 3合成单晶 起始材料。 (附图标记)(AA)高温反应器的温度条件

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