公开(公告)号：KR102263776B1

公开(公告)日：2021-06-09

申请号：KR1020190091539

申请日：2019-07-29

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 이원보 ,  김창수 ,  이호동

IPC: G05B23/02

公开(公告)号：KR20210013840A

公开(公告)日：2021-02-08

申请号：KR20190091539

申请日：2019-07-29

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 이원보 ,  김창수 ,  이호동

IPC: G05B23/02

Abstract: 공정모니터링장치및 방법이제공된다. 상기공정모니터링장치는, 그래픽라소를이용하여공정변수를관련그룹으로그룹화하는그래픽라소처리수단및 마르코프랜덤필드를이용하여상기그룹이결함상태에있는지결정하는마르코프랜덤필드처리수단을포함한다. 상기공정모니터링방법은, 그래픽라소를이용하여공정변수를관련그룹으로그룹화하는그래픽라소처리단계및 마르코프랜덤필드를이용하여상기그룹이결함상태에있는지결정하는마르코프랜덤필드처리단계를포함한다.