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公开(公告)号:KR102050034B1
公开(公告)日:2019-11-28
申请号:KR1020180033025
申请日:2018-03-22
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 기초과학연구원
Inventor: 박제근 , 김해리 , 심하성
IPC: C01G45/12 , C30B29/22 , H01L21/02