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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020140020038A
公开(公告)日：2014-02-18
申请号：KR1020120086387
申请日：2012-08-07
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 전북대학교산학협력단
IPC: B81C1/00 , H01L21/302
CPC classification number: H01L21/3065
Abstract: The present invention relates to a method for manufacturing a floating structure for reducing thermal isolation, including the following steps of: forming a cavity; patterning at least one conductive thin film on a portion of the bottom of the cavity; and bonding the top side of a main substrate with a glass substrate; patterning at least one peripheral anchor on a lower part of the main substrate, to provide a moving route for an element comprising the floating structure and the heat generated from the element. [Reference numerals] (AA) Original heat transfer route; (BB) Additional heat transfer route
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造用于减少热隔离的浮动结构的方法，包括以下步骤：形成空腔; 在腔的底部的一部分上形成至少一个导电薄膜; 并且将主基板的顶侧与玻璃基板接合; 在主基板的下部上构图至少一个外围锚固件，以提供包括浮动结构的元件和从元件产生的热量的元件的移动路线。 （附图标记）（AA）原传热路线; （BB）额外的传热路线
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公开(公告)号：KR1020100078424A
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：KR1020080136683
申请日：2008-12-30
Applicant: 전북대학교산학협력단 , 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: An RF switch using unit is provided to connect a contact part of a switch to a transmission line by transferring a switch contact part in horizontal and vertical direction. CONSTITUTION: An RF signal transmission unit comprises a signal wire for transmitting a high frequency or a high power signal. A driving unit is installed in an upper part of the RF signal transmission unit. The driving unit responds to a switching command of the signal and switches the signal wire based on a horizontal and vertical supply. The RF signal transmission unit is arranged adjacent to the signal wire and a ground line. A gap(405) is formed in the central part of the signal wire.
Abstract translation: 目的：提供RF开关使用单元，通过在水平和垂直方向上传送开关接触部分将开关的接触部分连接到传输线。 构成：RF信号传输单元包括用于发送高频或高功率信号的信号线。 驱动单元安装在RF信号传输单元的上部。 驱动单元响应信号的切换命令，并根据水平和垂直电源切换信号线。 RF信号传输单元布置成与信号线和接地线相邻。 在信号线的中心部分形成间隙（405）。
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公开(公告)号：KR1020100096661A
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：KR1020090015654
申请日：2009-02-25
Applicant: 전북대학교산학협력단 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G01P15/0802 , G01B7/003 , G01P2015/0808 , G01P2015/0868
Abstract: PURPOSE: An acceleration varying inertia switch using a micro electro mechanical system is provided to prevent the abuse of resources by varying the acceleration of the inertia switch by varying an elastic member constant value. CONSTITUTION: A first driver(100) is secured to the bottom of a stator. A second driver(200) is separated from the bottom of the first driver by a predetermined length. A contact unit(300) is switched with a gap of the transmission line through vertical feeding and horizontal feeding. An elastic member(400) supports the driver.
Abstract translation: 目的：提供使用微机电系统的加速度变化惯性开关，通过改变弹性构件常数值来改变惯性开关的加速度来防止资源的滥用。 构成：第一个驱动器（100）固定在定子的底部。 第二驱动器（200）与第一驱动器的底部分开预定的长度。 接触单元（300）通过垂直馈送和水平馈送通过传输线的间隙切换。 弹性构件（400）支撑驾驶员。
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公开(公告)号：KR101049456B1
公开(公告)日：2011-07-15
申请号：KR1020090015654
申请日：2009-02-25
Applicant: 전북대학교산학협력단 , 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 마이크로전자기계시스템을 이용한 가속도 가변 관성 스위치에 관한 것으로서, DC전원과 접속된 고정자 하측에 고정된 제1 구동기와, 제1 구동기 하단과 소정길이 이격되어 구동부재에 의해 지지되는 제2 구동기와, 구동부재 하단에 구비되며, 전송선과 이격된 위치에서 수직ㆍ수평이송을 통해 전송선의 간극과 스위칭되는 접촉부와, 구동부재의 일측 및 타측에 구비되어 구동부재를 지지하는 탄성부재, 및 고정자 및 전송선 사이에 이격되어 수직으로 구성되며, DC전원과 접속되어 인가받은 전압의 크기에 따라 탄성부재의 상수 값이 가변되도록 하는 전극을 포함한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, DC전압의 크기에 따라 탄성부재의 상수 값을 양의 값 또는 음의 값을 갖도록 시킴으로써, 목적에 부합하도록 탄성부재 상수 값의 가변이 가능하한 가속도 가변 관성 스위치를 제공하는 효과가 있다.
마이크로전자기계시스템, 가속도, 가변, 관성, 스위치, 전극, 탄성부재, 접촉부Abstract translation: 第二致动器本发明涉及使用微机电系统的加速度可变惯性开关，从直流电源，并与固定在下部侧第一驱动器所连接的定子间隔开，在具有预定长度的底部的第一驱动器由驱动部件支承 并且，它在所述驱动部件的底部设置，并且垂直地在从传输线间隔开的位置被在一侧和其在传输线间隙，并通过水平传输切换的接触部的另一侧设置，所述驱动构件用于支撑所述驱动部件的弹性部件，和一个定子，并且 并且连接到直流电源的电极根据所施加的电压的大小来改变弹性构件的恒定值。
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公开(公告)号：KR101030549B1
公开(公告)日：2011-04-21
申请号：KR1020080136683
申请日：2008-12-30
Applicant: 전북대학교산학협력단 , 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명에서 스위칭 격리도를 향상시킬 수 있는 마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치를 개시한다.
본 발명에 따른 스위치는, 상기 고주파 또는 고전력 신호를 전송하기 위한 신호선을 포함하는 RF신호 전송부(RF Transmission Part); 및 상기 RF 신호 전송부의 상측부로 설치되고, 상기 신호들에 대한 스위칭 명령에 응답하여, 상기 신호선의 이격된 위치에서 수평 이송과 수직 이송을 기반으로 상기 신호선을 스위칭하는 구동부로 이루어지고, 구동부는 상기 RF신호 전송부의 상향으로 이격 설치되어, 물리적인 수평 이동과, 상기 정전력 전극과의 전기적 상호 작용에 근거한 수직 이동을 기반으로, 상기 간극을 스위칭하는 구동체; 및 상기 구동체를 수평 이동시키기 위한 고정체로 이루어진다.
따라서, 본 발명은 스위치의 접촉부를 수평 및 수직 이동시켜 전송선과 연결토록 함에 따라, 고주파 대역에서 높은 격리도를 보유할 수 있을 뿐만 아니라, 높은 전력(power)를 갖는 신호 스위칭이 가능한 효과가 있다.
MEMS, RF, 스위치, 격리도, 고주파, 고전력, 신호, 대변위 빗 모양
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