향상된 PSA 방식을 이용한 산소 발생기
    3.
    发明授权
    향상된 PSA 방식을 이용한 산소 발생기 有权
    使用改进的PSA的氧气发生器

    公开(公告)号:KR101779409B1

    公开(公告)日:2017-09-19

    申请号:KR1020160093202

    申请日:2016-07-22

    CPC classification number: C01B13/027 B01D53/047

    Abstract: 본발명은향상된 PSA 방식을이용한산소발생기에관한것으로, 제올라이트분자체가충전되어있는두 개의흡착베드; 흡착베드의흡착/탈착사이클에따라, 상기두 개의흡착베드가서로흡착/탈착을변경할때, 상기두 개의흡착베드에공급되는압축공기의스위칭을수행하는솔레노이드밸브; 및상기두 개의흡착베드가서로흡착/탈착을변경할때 오픈되어두 흡착베드사이의압력평형을유지시키는압력유지밸브;를포함하는적어도하나이상의 PSA 세그먼트와, 소정의시간간격을가지고순차적으로각 PSA 세그먼트에압축공기를공급하도록상기솔레노이드밸브를제어함으로써, 전체 PSA 세그먼트에서발생되는산소의유량및 압력을일정하게유지하는제어부,를포함하는것을특징으로하는향상된 PSA 방식을이용한산소발생기에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种使用改进的PSA系统的氧气发生器,其包括两个充满沸石分子筛的吸附床; 当两个吸附床根据吸附床的吸附/解吸循环改变吸附/解吸时,用于切换供给两个吸附床的压缩空气的电磁阀; 当两个吸附床相互改变吸附/解吸以保持两个吸附床之间的压力平衡时,压力保持阀打开,并且至少一个PSA段依次释放每个PSA 以及一个控制器,用于控制电磁阀向该部分供应压缩空气,由此保持在整个PSA部分中产生的氧气的恒定流量和压力。

    반도체 제조설비의 배기라인 구조
    5.
    发明授权
    반도체 제조설비의 배기라인 구조 有权
    半导体制造设备的排气管结构

    公开(公告)号:KR101802167B1

    公开(公告)日:2017-12-04

    申请号:KR1020160077271

    申请日:2016-06-21

    CPC classification number: H01L21/02 H01L21/67005 H01L2021/60187

    Abstract: 본발명은반도체제조설비의배기라인구조에관한것으로, 보다상세하게는배기라인외부를에어로겔단열층으로감싸배기라인으로배출되는배출가스(분진등)의온도를일정하게유지시키고, 배기라인내부를산화촉매로코팅하여배기라인에배출가스등이침적되는현상을방지하여배기라인의유속감속과폐쇄를미연에방지할수 있는반도체제조설비의배기라인구조에관한것이다.

    Abstract translation: 废气管线的排气管线结构技术领域本发明涉及半导体制造设备的废气管线结构,更具体地涉及废气管线 涉及半导体制造设备,能够与一种催化剂,以防止排出的气体被沉积在排气管线,以防止排放管线中的流速减速和关闭预先被涂覆的排气线结构。

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