公开(公告)号：KR101658729B1

公开(公告)日：2016-10-04

申请号：KR1020150037008

申请日：2015-03-17

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김영독 ,  서현욱 ,  박은지 ,  간테푀어게르트

IPC: C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45534

Abstract: 본발명은빈 필터를이용하는 2종이상의상이한수의원자를포함하는하전된금속클러스터가이격된위치에증착된기재의제조방법, 상기방법으로제조된금속클러스터의활성스크리닝용키트, 및상기금속클러스터의활성스크리닝용키트를제조하는장치에관한것이다. 본발명의빈 필터를이용한 2종이상의상이한수의원자를포함하는하전된금속클러스터가이격된위치에증착된기재의제조방법은동일기판에하전된금속클러스터를단일원자수준에서크기에따라공간상분리되어순차적으로증착시키므로이렇게제조된기판은단회실험으로기판에증착된상기크기가다른복수의금속클러스터의활성을동일한조건에서동시에수행할수 있으므로, 크기즉, 클러스터를구성하는원자수에따라상이한활성을갖는금속클러스터의촉매활성스크리닝을위한키트로유용하게사용될수 있다. 예컨대, 촉매활성이확인되지않은금속클러스터의활성을확인하기위한시간및 비용을절감할수 있을뿐만아니라실제촉매사용조건과유사한대기압또는액상조건에서의테스트가가능한장점이있다.