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公开(公告)号：KR102213026B1
公开(公告)日：2021-02-08
申请号：KR1020190066408
申请日：2019-06-05
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은박막의기계및 전기물성고속측정시스템에관한것으로서, 시편이안착되는시편고정대; 상기시편고정대의상부에형성되며시편에대한시험을수행하는측정부; 상기시편고정대에대한상기측정부의상대적인위치를 x축, y축및 z축방향으로변화시키는이동모듈; 및상기측정부와상기이동모듈을제어하는제어부;를포함하여이루어지며, 상기측정부는상기이동모듈에고정되는몸체부와상기몸체부에탈착가능하게고정되는측정프로브를구비하는것을특징으로한다. 이에따라, 다수미소재료의물성을정확하게측정하는것이가능한박막의기계및 전기물성고속측정시스템에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020200140418A
公开(公告)日：2020-12-16
申请号：KR1020190066408
申请日：2019-06-05
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은박막의기계및 전기물성고속측정시스템에관한것으로서, 시편이안착되는시편고정대; 상기시편고정대의상부에형성되며시편에대한시험을수행하는측정부; 상기시편고정대에대한상기측정부의상대적인위치를 x축, y축및 z축방향으로변화시키는이동모듈; 및상기측정부와상기이동모듈을제어하는제어부;를포함하여이루어지며, 상기측정부는상기이동모듈에고정되는몸체부와상기몸체부에탈착가능하게고정되는측정프로브를구비하는것을특징으로한다. 이에따라, 다수미소재료의물성을정확하게측정하는것이가능한박막의기계및 전기물성고속측정시스템에관한것이다.
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