Abstract:
PURPOSE: A method growing zinc oxide nano rod to a vertical direction is provided to reduce the diameter of the nano rod by increasing the aspect ratio of the zinc oxide nano rod. CONSTITUTION: A substrate is arranged in a first vial. Zinc-containing organic metal, a reaction activating agent, and a solvent agent are introduced into the vial at room temperature. The first vial is sealed. The temperature of a solution in the first vial is raised to reference temperature, and the raised temperature of the solution is maintained. A zinc oxide nano rod is grown. A second vial is introduced into an oven, and the temperature of a solution in the second vial is raised to the temperature of the solution in the first vial. The solution in the second vial is aged. The substrate from the first vial is arranged in the second vial, and the second vial is sealed.
Abstract:
본 발명은 용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법에 관한 것으로서, 제1 바이알 내부에 기판을 배치하고, 상온에서 바이알 내부에 아연함유 유기금속, 반응활성화제 및 용매제를 투입하는 S1 단계; 제1 바이알을 실링하는 S2 단계; 오븐에서 제1 바이알의 내부용액의 온도를 기준온도대로 상승 및 유지시키며 ZnO 나노막대를 성장시키는 S3 단계; 상기 S1 단계를 거친 제2 바이알을 상기 오븐에 넣고, 교체투입용 제2 바이알의 내부 용액의 온도를 교체대상인 제1 바이알의 내부 용액의 온도로 상승시키고 에이징을 하는 S4 단계; 및 제1 바이알의 교체대상 용액에서 상기 기판을 꺼내고 교체투입용 제2 바이알의 내부 용액에 배치하면서 기판을 제2 바이알에 배치한 후 제2 바이알을 실링하는 S5 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 교체시 교체 용액의 온도를 기준온도로 유지하여 ZnO 나노막대를 수직방향으로 성장시키는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 성장온도를 유지하는 교체될 용액이 투입됨에 따라 ZnO 나노막대의 가로세로비가 향상되어 나노막대의 직경이 축소되는 효과가 있고, 용액교체시에 교체될 용액의 온도를 교체할 용액의 온도로 유지시켜 기판상에 증착된 씨앗층의 분리의 발생이 최소화되는 효과가 있다. 수열합성법, ZnO, 나노막대, 용액교체, 에이징