公开(公告)号：KR1020050095964A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：KR1020040021186

申请日：2004-03-29

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  신상훈 ,  백준규

IPC: G01N27/00

CPC classification number: G01N27/026 ,  G01N9/002 ,  G01N27/129 ,  G01N29/245

Abstract: 본 발명은 압전 박막을 이용한 마이크로 압전 구동소자의 제작 및 이를 이용한 초소형 화학 센서에 필요한 감지소자의 제작방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 마이크로 압전 구동소자를 이용한 화학센서에 있어서, 상기 압전 구동소자에 사용된 압전 재료의 역 압전효과를 이용해 소자를 공진주파수로 구동시키고, 상기 소자위에 형성된 감지층에 감지 대상물질이 흡착되게 되어 소자 표면에 질량이 증가하게 되면, 상기 소자의 공진주파수가 변화하며 이러한 공진주파수 변화를 센서의 감지 신호로 사용하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR100681782B1

公开(公告)日：2007-02-12

申请号：KR1020040021186

申请日：2004-03-29

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  신상훈 ,  백준규

IPC: G01N27/00

Abstract: 본 발명은 압전 박막을 이용한 마이크로 압전 구동소자의 제작 및 이를 이용한 초소형 화학 센서에 필요한 감지소자의 제작방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 마이크로 압전 구동소자를 이용한 화학센서에 있어서, 상기 압전 구동소자에 사용된 압전 재료의 역 압전효과를 이용해 소자를 공진주파수로 구동시키고, 상기 소자위에 형성된 감지층에 감지 대상물질이 흡착되게 되어 소자 표면에 질량이 증가하게 되면, 상기 소자의 공진주파수가 변화하며 이러한 공진주파수 변화를 센서의 감지 신호로 사용하는 것을 특징으로 한다.
압전 구동소자, 화학센서, 상부 전극, 하부 전극, 지지층, 절연층