公开(公告)号：WO2009107965A1

公开(公告)日：2009-09-03

申请号：PCT/KR2009/000868

申请日：2009-02-24

Applicant: 성균관대학교산학협력단 ,  이재찬 ,  신상훈

Inventor： 이재찬 ,  신상훈

IPC: G01N27/00

CPC classification number: G01N29/036 ,  G01N29/022 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/0255 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0427

Abstract: 본 발명은 질량 인가 효과와 더불어 표면 응력 변화에 의한 효과를 동시에 정량적으로 분석할 수 있는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리/생화학 센서 및 그 제작방법을 개시한다. 압전 마이크로 칸티레버 공진자를 이용한 물리/생화학 센서에 있어서, 상기 압전 마이크로 칸티레버 공진자는 감지과정에서 발생되는 센서 표면의 질량 변화 뿐만 아니라 흡착된 감지 대상물질에 의한 표면 응력 변화를 구별하여 정량 분석할 수 있도록 서로 다른 크기를 갖는 다수개의 압전 마이크로 칸티레버 공진자들이 배열되는 구조로 구성됨으로써, 질량 인가 효과와 더불어 표면 응력 변화에 의한 효과를 동시에 정량적으로 분석할 수 있도록 한 것이다.

Abstract translation: 本发明公开了一种使用几种尺寸的压电微悬臂谐振器阵列的物理/生物化学传感器，其可以同时进行由于表面应力变化引起的效应的定量分析以及质量依赖性影响，并且公开了一种生产方法。 使用压电微悬臂谐振器的物理/生物化学传感器包括其中布置不同尺寸的多个压电微悬臂谐振器的配置，使得压电微悬臂谐振器可以执行定量分析，区分由于 被吸收的物质被感测，而不仅仅是感测过程中发生的传感器表面的质量变化; 因此可以对表面应力变化的影响和质量依赖性影响进行同时定量分析。

公开(公告)号：KR1020170003401A

公开(公告)日：2017-01-09

申请号：KR1020160075745

申请日：2016-06-17

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  최민수

IPC: H01L21/02

Abstract: 도펀트의공간분포에있어서차원효과에의하여특성이조절되어가변적물정을갖는다기능성산화물구조체, 및상기다기능성산화물구조체를이용한산화물의특성조절방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR1020090093486A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：KR1020080019031

申请日：2008-02-29

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  신상훈

IPC: G01N27/00

CPC classification number: G01N29/036 ,  G01N29/022 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/0255 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0427

Abstract: A physical/chemical sensor using a piezoelectric microcantilever and a manufacturing method thereof are provided to increase the reaction speed and the sensitivity to secure the information of the range that is broad than a sensing result. A physical/chemical sensor using a piezoelectric microcantilever comprises a plurality of piezoelectricity micro cantilever crystal resonators(10). The piezoelectricity micro cantilever crystal resonator performs the quantitative analysis about not only the mass variation of the sensor surface but the surface stress change of the attached sample. The piezoelectricity micro cantilever crystal resonators are formed with the different size. The piezoelectricity micro cantilever crystal resonators are arranged while gradually being reduced to two dimensions. The piezoelectricity micro cantilever crystal resonators are formed on upper part of a silicon substrate(6).

Abstract translation: 提供了使用压电微悬臂梁的物理/化学传感器及其制造方法，以提高反应速度和灵敏度，以确保比传感结果宽的范围的信息。 使用压电微悬臂梁的物理/化学传感器包括多个压电微悬臂晶体谐振器（10）。 压电微悬臂晶体谐振器不仅对传感器表面的质量变化进行了定量分析，而且对附着样品的表面应力变化进行了定量分析。 压电微悬臂晶体谐振器的尺寸不同。 压电微悬臂晶体谐振器被逐渐减小到二维。 压电微悬臂晶体谐振器形成在硅衬底（6）的上部。

公开(公告)号：KR101610895B1

公开(公告)日：2016-04-08

申请号：KR1020150093549

申请日：2015-06-30

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  정봉욱

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/0272 ,  H01L31/02

CPC classification number: H01L31/035263 ,  C30B29/32 ,  C30B29/68 ,  H01L31/032 ,  H01L31/036 ,  H01L31/105 ,  H01L31/18

Abstract: 원자층접합산화물, 상기원자층접합산화물의제조방법, 및상기원자층접합산화물을포함하는광전변환소자에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及原子层共轭氧化物，原子层共轭氧化物的制造方法和包含原子层共轭氧化物的光电转换层。 原子层共轭氧化物通过交替层叠n型掺杂原子层氧化物，p型掺杂原子层氧化物和真正原子层氧化物而形成。

公开(公告)号：KR1020070072322A

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：KR1020060045081

申请日：2006-05-19

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  최택집

IPC: G11B9/02

Abstract: A ferroelectric oxide artificial lattice, a fabricating method thereof, and an ultra high density information storing medium are provided to align a direction capable of generating electric polarization in only two upper and lower directions of a lamination direction by progressing a lamination process of the oxide artificial lattice of atomic unit thickness and forming a super-cell having the anisotropy of a new concept. A super high density information storing medium includes a single crystal substrate(100), an electrode(110), and a ferroelectric oxide artificial lattice. The electrode(110) is formed on the single crystal substrate(100). The ferroelectric oxide artificial lattice is formed on the electrode(110). The super high density information storing medium has a nano-size and long stability of a domain.

Abstract translation: 提供铁电氧化物人造晶格，其制造方法和超高密度信息存储介质，以通过进行氧化物人造的层压工艺来使仅能够在层叠方向的两个上下方向上产生电极化的方向对准 形成原子单位厚度的晶格并形成具有新概念的各向异性的超细胞。 超高密度信息存储介质包括单晶衬底（100），电极（110）和铁电氧化物人造晶格。 电极（110）形成在单晶衬底（100）上。 在电极（110）上形成铁电氧化物人造晶格。 超高密度信息存储介质具有域的纳米尺寸和长稳定性。

公开(公告)号：KR100784639B1

公开(公告)日：2007-12-12

申请号：KR1020060045081

申请日：2006-05-19

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  최택집

IPC: G11B9/02

Abstract: 본 발명은 초고밀도 정보 저장 장치용 강유전체 저장매체 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 서로 다른 분극특성을 갖는 산화물의 단위원자층을 적층하여 적층(수직)방향으로 특정이온들의 규칙적인 배열을 통해 인공격자의 단위구조(슈퍼셀)의 결정구조 및 대칭성을 조절하여 비등방성이 큰 슈퍼셀을 형성한다. 슈퍼셀 자체가 단일분극을 가지는 하나의 블록으로 수직방향으로 상하 2개 방향으로만 전기분극이 발현되게끔 하고 이러한 특징을 갖는 슈퍼 셀 블록으로 이루어진 산화물 인공격자를 제조한다. 산화물 인공격자가 180
o 도메인 구조만을 가지도록 하여 비등방성이 큰 단일 전기 분역을 나노스케일 크기로 형성시킬 수 있어 정보저장용량의 초고밀도화와 장기적 정보저장이 가능하다.
강유전체, 산화물, 인공격자, 초고밀도, 정보저장 매체.

公开(公告)号：KR1020050095964A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：KR1020040021186

申请日：2004-03-29

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  신상훈 ,  백준규

IPC: G01N27/00

CPC classification number: G01N27/026 ,  G01N9/002 ,  G01N27/129 ,  G01N29/245

Abstract: 본 발명은 압전 박막을 이용한 마이크로 압전 구동소자의 제작 및 이를 이용한 초소형 화학 센서에 필요한 감지소자의 제작방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 마이크로 압전 구동소자를 이용한 화학센서에 있어서, 상기 압전 구동소자에 사용된 압전 재료의 역 압전효과를 이용해 소자를 공진주파수로 구동시키고, 상기 소자위에 형성된 감지층에 감지 대상물질이 흡착되게 되어 소자 표면에 질량이 증가하게 되면, 상기 소자의 공진주파수가 변화하며 이러한 공진주파수 변화를 센서의 감지 신호로 사용하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR102082855B1

公开(公告)日：2020-02-28

申请号：KR1020180128381

申请日：2018-10-25

Applicant: 한국기초과학지원연구원 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 오석훈 ,  이철현 ,  이재찬

IPC: G01R33/387 ,  A61B5/055

公开(公告)号：KR100975010B1

公开(公告)日：2010-08-09

申请号：KR1020080019031

申请日：2008-02-29

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  신상훈

IPC: G01N27/00

CPC classification number: G01N29/036 ,  G01N29/022 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/0255 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0427

Abstract: 본 발명은 질량 인가 효과와 더불어 표면 응력 변화에 의한 효과를 동시에 정량적으로 분석할 수 있는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서 및 그 제작방법을 개시한다. 압전 마이크로 칸티레버 공진자를 이용한 물리센서에 있어서, 상기 압전 마이크로 칸티레버 공진자는 감지과정에서 발생되는 센서 표면의 질량 변화 뿐만 아니라 흡착된 감지 대상물질에 의한 표면 응력 변화를 구별하여 정량 분석할 수 있도록 서로 다른 크기를 갖는 다수개의 압전 마이크로 칸티레버 공진자들이 배열되는 구조로 구성됨으로써, 질량 인가 효과와 더불어 표면 응력 변화에 의한 효과를 동시에 정량적으로 분석할 수 있도록 한 것이다.
압전 마이크로 칸티레버 공진자

Abstract translation: 本发明公开了一种使用能够定量和同时分析质量负载效应和表面应力变化效应的多重压电微悬臂梁谐振器阵列的物理/生化传感器及其制造方法。 在使用多尺寸压电微悬臂梁谐振器阵列的物理/生物化学传感器中，排列具有不同尺寸的多个压电微悬臂谐振器，以便定量和区分地分析表面应力变化以及由吸附引起的传感器表面质量变化 感测目标材料发生在感测过程中。 因此，可以定量和同时分析质量负荷效应和表面应力变化效应。

公开(公告)号：KR1020070072224A

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：KR1020050136244

申请日：2005-12-31

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  신상훈

IPC: G01N27/64

Abstract: A sensor and a module for a bio-marker using a micro bridge mass sensor are provided to easily detect materials in low concentration in real-time. A bio-marker sensor using a micro bridge mass sensor include a detecting layer(100), an electrode line(160), a lower electrode(140), two piezoelectric driving layers(110), an insulation layer(150), and an upper electrode(130). The detecting layer is formed on a surface of a piezoelectric micro bridge. The electrode line applies electric field to the upper electrode and the lower electrode for driving elements. The lower electrode is separated into two pieces and is formed on a supporting layer(120). The two piezoelectric driving layers are formed on the lower electrode. The insulation layer is formed on the lower electrode and on a certain area of the piezoelectric driving layers for insulating upper and lower electrodes. The upper electrode is formed on the insulating layer and the piezoelectric driving layers.

Abstract translation: 提供用于使用微桥质量传感器的生物标记的传感器和模块，以便实时地容易地检测低浓度的材料。 使用微桥质量传感器的生物标记传感器包括检测层（100），电极线（160），下电极（140），两个压电驱动层（110），绝缘层（150）和 上电极（130）。 检测层形成在压电微桥的表面上。 电极线对驱动元件的上部电极和下部电极施加电场。 下电极被分成两部分，形成在支撑层（120）上。 两个压电驱动层形成在下电极上。 绝缘层形成在下电极和压电驱动层的特定区域上，用于绝缘上电极和下电极。 上电极形成在绝缘层和压电驱动层上。