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1.发明公开
公开(公告)号：KR1020170056390A
公开(公告)日：2017-05-23
申请号：KR1020150160006
申请日：2015-11-13
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L29/16 , H01L21/02 , H01L29/786
Abstract: 밴드갭을갖는그래핀박막제조방법이개시된다. 밴드갭을갖는그래핀박막을제조하기위하여그래핀박막을플라즈마에노출시켜상기그래핀박막에탄소공공을형성하고, 형성된탄소공공에붕소및 질소를도핑시킬수 있다.
Abstract translation: 公开了一种制造具有带隙的石墨烯薄膜的方法。 具有带隙是暴露所述石墨烯薄膜，以产生薄的销在血浆中是肯定sikilsu形成碳薄膜和公共到销，硼和氮中的形成的碳公共的掺杂。
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