公开(公告)号：KR102220381B1

公开(公告)日：2021-02-24

申请号：KR1020190092814

申请日：2019-07-31

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 조형균 ,  김동수 ,  윤영대

IPC: H01L45/00 ,  H01L21/02

Abstract: 본원은금속전구체및 수산화이온을함유하는용액상에기판을함침하는단계, 및상기용액상에전압을인가하여상기기판상에금속산화물을형성하는단계를포함하고, 상기용액은계면활성제를포함하며, 상기계면활성제의종류에따라상기금속산화물의결정의성장방향이조절되는것인, 산화물반도체의제조방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR1020210014856A

公开(公告)日：2021-02-10

申请号：KR1020190092814

申请日：2019-07-31

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 조형균 ,  김동수 ,  윤영대

IPC: H01L45/00 ,  H01L21/02

Abstract: 본원은금속전구체및 수산화이온을함유하는용액상에기판을함침하는단계, 및상기용액상에전압을인가하여상기기판상에금속산화물을형성하는단계를포함하고, 상기용액은계면활성제를포함하며, 상기계면활성제의종류에따라상기금속산화물의결정의성장방향이조절되는것인, 산화물반도체의제조방법에관한것이다.