公开(公告)号：KR102245712B1

公开(公告)日：2021-04-28

申请号：KR1020190075038

申请日：2019-06-24

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  문무겸 ,  김동우 ,  장윤종

IPC: C23C14/32 ,  B22F9/14 ,  B22F1/00 ,  H05H1/24

Abstract: 나노입자코팅장치가개시된다. 상기나노입자코팅장치는유전체; 상기유전체상에배치되는제1 전극; 상기제1 전극의반대편에서상기유전체를상기제1 전극과의사이에두고, 상기유전체와이격되게배치되는제2 전극; 상기제1 전극및 상기제2 전극에전압을인가하는전원공급장치; 및상기제1 전극및 상기제2 전극에전압이인가되면플라즈마가발생하는영역으로서, 상기유전체와상기제2 전극사이에위치하는플라즈마발생부를포함하고, 상기제2 전극의일부또는전체는상기플라즈마발생부에노출되는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR20210000134A

公开(公告)日：2021-01-04

申请号：KR20190075038

申请日：2019-06-24

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  문무겸 ,  김동우 ,  장윤종

IPC: C23C14/32 ,  B22F1/00 ,  B22F9/14 ,  H05H1/24

Abstract: 나노입자코팅장치가개시된다. 상기나노입자코팅장치는유전체; 상기유전체상에배치되는제1 전극; 상기제1 전극의반대편에서상기유전체를상기제1 전극과의사이에두고, 상기유전체와이격되게배치되는제2 전극; 상기제1 전극및 상기제2 전극에전압을인가하는전원공급장치; 및상기제1 전극및 상기제2 전극에전압이인가되면플라즈마가발생하는영역으로서, 상기유전체와상기제2 전극사이에위치하는플라즈마발생부를포함하고, 상기제2 전극의일부또는전체는상기플라즈마발생부에노출되는것을특징으로한다.