公开(公告)号：WO2022177102A2

公开(公告)日：2022-08-25

申请号：PCT/KR2021/016766

申请日：2021-11-16

Applicant: 대전대학교 산학협력단 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 김경남 ,  염근영 ,  김동우 ,  성다인 ,  탁현우 ,  오지영

IPC: H01L21/67 ,  H01J2237/334 ,  H01J37/32 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32522 ,  H01J37/32724 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/683 ,  H01L21/6831

Abstract: 본 발명의 실시예에 의하면, 극저온(Cryogenic) 식각에 비하여 상대적으로 높은 온도에서도 극저온 식각과 거의 동일한 효과를 달성할 수 있는 액상 플루오로카본 또는 액상 하이드로플루오로카본 전구체를 이용하는 식각 처리 장치 및 식각 처리 방법이 제공될 수 있다. 또한, 액상 전구체와 저온에 의하여 발생할 수 있는 공정 문제를 해결할 수 있는 식각 처리 장치 및 식각 처리 방법이 제공될 수 있다.

公开(公告)号：KR20210000134A

公开(公告)日：2021-01-04

申请号：KR20190075038

申请日：2019-06-24

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  문무겸 ,  김동우 ,  장윤종

IPC: C23C14/32 ,  B22F1/00 ,  B22F9/14 ,  H05H1/24

Abstract: 나노입자코팅장치가개시된다. 상기나노입자코팅장치는유전체; 상기유전체상에배치되는제1 전극; 상기제1 전극의반대편에서상기유전체를상기제1 전극과의사이에두고, 상기유전체와이격되게배치되는제2 전극; 상기제1 전극및 상기제2 전극에전압을인가하는전원공급장치; 및상기제1 전극및 상기제2 전극에전압이인가되면플라즈마가발생하는영역으로서, 상기유전체와상기제2 전극사이에위치하는플라즈마발생부를포함하고, 상기제2 전극의일부또는전체는상기플라즈마발생부에노출되는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR102245712B1

公开(公告)日：2021-04-28

申请号：KR1020190075038

申请日：2019-06-24

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  문무겸 ,  김동우 ,  장윤종

IPC: C23C14/32 ,  B22F9/14 ,  B22F1/00 ,  H05H1/24

Abstract: 나노입자코팅장치가개시된다. 상기나노입자코팅장치는유전체; 상기유전체상에배치되는제1 전극; 상기제1 전극의반대편에서상기유전체를상기제1 전극과의사이에두고, 상기유전체와이격되게배치되는제2 전극; 상기제1 전극및 상기제2 전극에전압을인가하는전원공급장치; 및상기제1 전극및 상기제2 전극에전압이인가되면플라즈마가발생하는영역으로서, 상기유전체와상기제2 전극사이에위치하는플라즈마발생부를포함하고, 상기제2 전극의일부또는전체는상기플라즈마발생부에노출되는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR102165039B1

公开(公告)日：2020-10-14

申请号：KR1020190137982

申请日：2019-10-31

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  김동우 ,  성다인 ,  탁현우 ,  신예지

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324 ,  H01J37/32 ,  C23C16/448 ,  H01L21/67

公开(公告)号：KR102112855B1

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：KR1020180002211

申请日：2018-01-08

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 서문교 ,  주바이르메무드 ,  김동우

IPC: H04L27/02 ,  H04L27/04