公开(公告)号：KR20210024708A

公开(公告)日：2021-03-08

申请号：KR1020190104164A

申请日：2019-08-26

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김태일 ,  탁동하 ,  정찬호

IPC: C23C14/04 ,  B29C67/24

CPC classification number: C23C14/042 ,  B29C67/24

Abstract: 본원은 일정한 패턴으로 패터닝된 나노 홀을 포함하는 제 1 층 및 상기 제 1 층 상에 형성되고, 마이크로 홀을 포함하는 제 2 층을 포함하는, 증착용 마스크에 관한 것이다:

公开(公告)号：KR1020210064139A

公开(公告)日：2021-06-02

申请号：KR1020210066219

申请日：2021-05-24

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김태일 ,  탁동하 ,  정찬호

IPC: C23C14/04 ,  B29C67/24

公开(公告)号：KR20210024708A

公开(公告)日：2021-03-08

申请号：KR20190104164

申请日：2019-08-26

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김태일 ,  탁동하 ,  정찬호

IPC: C23C14/04 ,  B29C67/24

Abstract: 본원은일정한패턴으로패터닝된나노홀을포함하는제 1 층및 상기제 1 층상에형성되고, 마이크로홀을포함하는제 2 층을포함하는, 증착용마스크에관한것이다:

公开(公告)号：KR102263627B1

公开(公告)日：2021-06-10

申请号：KR1020190104164

申请日：2019-08-26

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김태일 ,  탁동하 ,  정찬호

IPC: C23C14/04 ,  B29C67/24