公开(公告)号：KR100938108B1

公开(公告)日：2010-01-21

申请号：KR1020070085933

申请日：2007-08-27

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유관호 ,  이우람 ,  허건행 ,  최인성 ,  성욱진 ,  최승옥

IPC: G01B9/02 ,  G01J1/44

Abstract: 본 발명은 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템 및 출력보정방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 보정시스템은 측정 대상물에 대한 위치를 측정하여 측정값을 출력하는 헤테로다인 레이저 간섭계와; 상기 측정 대상물의 위치를 측정하여 제2 측정값을 출력하는 정전용량센서와; 상기 측정값 및 상기 제2 측정값을 이용하여 반복 최소 자승법을 통해 상기 측정값을 제1 보정값으로 보정하는 제1 보정부와; 상기 제1 보정값 및 상기 제2 측정값을 각각 입력값 및 목표값으로 하여 신경망 회로를 생성하고, 상기 제1 보정값을 상기 신경망 회로의 입력으로 하여 제2 보정값을 생성하는 제2 보정부와; 상기 제2 보정부로부터 출력되는 상기 제2 보정값에 기초하여 상기 측정값에 대한 보정 측정값을 생성하는 보정값 출력부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 정전용량센서로부터의 출력을 기본신호로 하여 반복 최소 자승법을 이용하여 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력이 갖는 비선형성을 보정하고, 소음, 외란, 진동 등과 같은 불특정 요소에서 오는 환경적 오차를 신경망 회로를 이용하여 보정함으로써, 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력의 정밀도를 향상시켜 선형성 및 환경적 요소에 적응적인 시스템의 구현이 가능하게 된다.

公开(公告)号：KR1020090019598A

公开(公告)日：2009-02-25

申请号：KR1020070084148

申请日：2007-08-21

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유관호 ,  최인성 ,  최승옥 ,  허건행 ,  이우람 ,  성욱진

IPC: G05D3/12

CPC classification number: G05D3/12 ,  G06F17/10

Abstract: An optimal control method based on the sliding mode control applied to the ultra-precision positioning system is provided to minimized the rising time, to remarkably reduce the phenomenon at the target position and to be strong in non-linearity by the external noise. The system model about the ultra-precision positioning system is determined by reflecting The LQ control algorithm and the state observation algorithm. The general solution of the state removing the noise element from the system model is produced. The sliding surface according to the sliding mode control algorithm about the system model based on the general solution is determined. The feedback gain applied to the sliding surface through the LQ control algorithm is produced. The sliding mode controller is set by applying the sliding surface and the feedback gain to the sliding mode control algorithm.

Abstract translation: 提供了基于应用于超精密定位系统的滑模控制的最优控制方法，以最小化上升时间，显着降低目标位置的现象，并通过外部噪声非线性强。 关于超精密定位系统的系统模型通过反映LQ控制算法和状态观测算法来确定。 产生从系统模型中去除噪声元件的状态的一般解决方案。 根据滑动模式控制算法，根据一般解决方案确定系统模型的滑动面。 产生通过LQ控制算法施加到滑动面的反馈增益。 滑动模式控制器通过将滑动面和反馈增益应用于滑动模式控制算法来设定。

公开(公告)号：KR100932622B1

公开(公告)日：2009-12-17

申请号：KR1020070084148

申请日：2007-08-21

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유관호 ,  최인성 ,  최승옥 ,  허건행 ,  이우람 ,  성욱진

IPC: G05D3/12

Abstract: 본 발명은 초정밀 위치 결정 시스템에 적용되는 슬라이딩 모드 제어 기반의 최적 제어방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 슬라이딩 모드 제어 기반의 최적 제어방법은 (a) LQ(Linear Quadratic) 제어 알고리즘과 상태 관측 알고리즘을 반영하여 상기 초정밀 위치 결정 시스템에 대한 시스템 모델을 결정하는 단계와; (b) 상기 시스템 모델에서 외란 요소가 제거된 상태의 일반해를 산출하는 단계와; (c) 상기 일반해에 기초하여 상기 시스템 모델에 대해 슬라이딩 모드 제어 알고리즘에 따른 슬라이딩 면을 결정하는 단계와; (d) 상기 LQ(Linear Quadratic) 제어 알고리즘을 통해 상기 슬라이딩 면에 적용되는 피드백 게인을 산출하는 단계와; (e) 상기 슬라이딩 면 및 상기 피드백 게인을 상기 슬라이딩 모드 제어 알고리즘에 적용하여 슬라이딩 모드 제어기를 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 상승 시간이 최소화되고 목표 지점에서의 채터링(Chattering) 현상을 현저히 감소시키며, 외부 노이즈에 의한 비선형성에 강인한 슬라이딩 모드 제어 기반의 최적 제어방법이 제공된다.

Abstract translation: 提供基于滑动模式控制的超精密定位系统的最优控制方法，以最大限度地缩短上升时间，显着减少目标位置的现象，并通过外部噪声非线性强。 通过反映LQ控制算法和状态观测算法来确定超精密定位系统的系统模型。 生成从系统模型中消除噪声元素的状态的一般解决方案。 根据基于通用解的系统模型的滑模控制算法确定滑动面。 产生通过LQ控制算法施加到滑动表面的反馈增益。 通过将滑动表面和反馈增益应用于滑动模式控制算法来设置滑动模式控制器。

公开(公告)号：KR1020090021439A

公开(公告)日：2009-03-04

申请号：KR1020070085933

申请日：2007-08-27

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유관호 ,  이우람 ,  허건행 ,  최인성 ,  성욱진 ,  최승옥

IPC: G01B9/02 ,  G01J1/44

Abstract: A compensation system and an output compensation method of a heterodyne laser interferometer are provided to improve precision of the output of a heterodyne laser interferometer by compensating environmental error like noise by using a neuron circuit. A compensation system of a heterodyne laser interferometer comprises: a heterodyne laser interferometer(10) outputting a measured value; a capacitance sensor(20) outputting a basic signal value; a first compensation part(30) compensating the measured value into a first compensation value through a recursive least square; a second compensation part(60) which produces a neuron circuit by setting up the first compensation value and the basic signal value as an input value and a target value and produces a second compensation value by setting up the first compensation value as the input of the neuron circuit; and a compensation value output unit(70) producing a compensation measurement value about the measured value based on the second compensation value.

Abstract translation: 提供外差激光干涉仪的补偿系统和输出补偿方法，以通过使用神经元电路补偿环境误差（如噪声）来提高外差激光干涉仪的输出精度。 外差激光干涉仪的补偿系统包括：输出测量值的外差激光干涉仪（10）; 输出基本信号值的电容传感器（20） 第一补偿部件（30），通过递归最小二乘法将测量值补偿为第一补偿值; 第二补偿部分（60），其通过将第一补偿值和基本信号值设置为输入值和目标值产生神经元电路，并通过将第一补偿值设置为第二补偿值作为输入值， 神经元电路; 以及补偿值输出单元（70），基于第二补偿值产生关于测量值的补偿测量值。