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公开(公告)号：WO2023277499A1
公开(公告)日：2023-01-05
申请号：PCT/KR2022/009178
申请日：2022-06-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L31/09 , H01L31/032 , H01L31/0352
Abstract: 본 발명은, 전이금속 디칼코게나이드 박막 및 상기 전이금속 디칼코게나이드 박막 상부에 적층되어 상기 전이금속 디칼코게나이드 박막과 이종접합을 형성하는 그래핀층을 구비하는 채널층; 상기 그래핀층 상부에 위치하는 금속 나노입자; 및 상기 그래핀층과 접촉하는 제1 전극 및 상기 전이금속 디칼코게나이드 박막과 접촉하는 제2 전극을 포함하는, 적외선 감지 소자를 개시한다. 본 발명의 적외선 감지 소자는, 금속 나노입자의 플라즈몬 공명 현상 및 그래핀/TMD 이종접합 구조에 의한 쇼트키 장벽 가변 효과가 발생하여, 높은 감도 및 낮은 소모전력을 가질 수 있다.
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