公开(公告)号：KR101843632B1

公开(公告)日：2018-05-14

申请号：KR1020160034865

申请日：2016-03-23

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김태일 ,  김광수 ,  김종욱 ,  유필진 ,  탁효원

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/768 ,  H01L21/56

Abstract: 패터닝장치가개시된다. 패터닝장치는기판; 상기기판상에배치되고표면에제1 패턴이형성되어있는패턴층; 상기패턴층상에배치되고표면에상기제1 패턴에대응하는제2 패턴이형성되어있으며전원을공급받는경우에열을발생하는발열층; 및서로이격된상태로상기발열층상에배치되고상기발열층과각각전기적으로연결된상기제1 전극과제2 전극을포함할수 있다.

公开(公告)号：KR1020160114532A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：KR1020160034865

申请日：2016-03-23

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김태일 ,  김광수 ,  김종욱 ,  유필진 ,  탁효원

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/768 ,  H01L21/56

CPC classification number: H01L21/0274 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/56 ,  H01L21/76841 ,  H01L21/76846 ,  H01L21/76864

Abstract: 패터닝장치가개시된다. 패터닝장치는기판; 상기기판상에배치되고표면에제1 패턴이형성되어있는패턴층; 상기패턴층상에배치되고표면에상기제1 패턴에대응하는제2 패턴이형성되어있으며전원을공급받는경우에열을발생하는발열층; 및서로이격된상태로상기발열층상에배치되고상기발열층과각각전기적으로연결된상기제1 전극과제2 전극을포함할수 있다.