公开(公告)号：KR101843632B1

公开(公告)日：2018-05-14

申请号：KR1020160034865

申请日：2016-03-23

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김태일 ,  김광수 ,  김종욱 ,  유필진 ,  탁효원

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/768 ,  H01L21/56

Abstract: 패터닝장치가개시된다. 패터닝장치는기판; 상기기판상에배치되고표면에제1 패턴이형성되어있는패턴층; 상기패턴층상에배치되고표면에상기제1 패턴에대응하는제2 패턴이형성되어있으며전원을공급받는경우에열을발생하는발열층; 및서로이격된상태로상기발열층상에배치되고상기발열층과각각전기적으로연결된상기제1 전극과제2 전극을포함할수 있다.

公开(公告)号：KR1020160114532A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：KR1020160034865

申请日：2016-03-23

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김태일 ,  김광수 ,  김종욱 ,  유필진 ,  탁효원

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/768 ,  H01L21/56

CPC classification number: H01L21/0274 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/56 ,  H01L21/76841 ,  H01L21/76846 ,  H01L21/76864

Abstract: 패터닝장치가개시된다. 패터닝장치는기판; 상기기판상에배치되고표면에제1 패턴이형성되어있는패턴층; 상기패턴층상에배치되고표면에상기제1 패턴에대응하는제2 패턴이형성되어있으며전원을공급받는경우에열을발생하는발열층; 및서로이격된상태로상기발열층상에배치되고상기발열층과각각전기적으로연결된상기제1 전극과제2 전극을포함할수 있다.

公开(公告)号：KR1020090125681A

公开(公告)日：2009-12-07

申请号：KR1020080111206

申请日：2008-11-10

Applicant: 삼성전기주식회사 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 최희성 ,  김광수 ,  최후미 ,  김태성 ,  김미양 ,  신현호

IPC: B05B9/04 ,  B05D7/04

Abstract: PURPOSE: An aerosol spray and a method of forming a film using the same are provided to simplify processes and to adjust the thickness of a film in various ranges by performing a coating process regardless of kinds and size of powder. CONSTITUTION: An aerosol spray comprises the followings: a carrier gas inlet part(10) forming carrier gas by vaporizing liquefied gas(11) and increasing the pressure of the carrier gas; an aerosol forming part(20) forming aerosol by mixing the carrier gas and powder; and film forming part(50) spraying aerosol on the upper pressure and having a chamber, an injection part, and a position control part(52) adjusting a location of a substrate(53). A heating part(31) is formed between the aerosol forming part and the film forming part. The aerosol forming part includes a power supplying unit, a gas control valve(23,24), and a powder control valve(26,27) controlling the powder.

Abstract translation: 目的：提供气溶胶喷雾和使用其的形成膜的方法，以简化工艺并通过不管粉末的种类和尺寸进行涂布工艺来调整各种范围内的膜的厚度。 构成：气溶胶喷雾包括：通过汽化液化气体（11）形成载气并增加载气压力的载气入口部分（10）; 烟雾形成部件（20），其通过将载气和粉末混合而形成气溶胶; 以及成膜部件（50）在上压喷雾气溶胶并具有腔室，注射部件和调整基底（53）的位置的位置控制部件（52）。 在烟雾形成部分和成膜部分之间形成加热部分（31）。 烟雾形成部分包括供电单元，气体控制阀（23,24）和控制粉末的粉末调节阀（26,27）。

公开(公告)号：KR101066372B1

公开(公告)日：2011-09-20

申请号：KR1020090013081

申请日：2009-02-17

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 조용현 ,  김광수 ,  김태성

IPC: C08L101/10 ,  C01B31/02 ,  B82B3/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명은 카운터-플로우 주입법을 이용하여 이종 나노입자를 균일하게 혼합하는 것을 특징으로 하는 카운터-플로우 주입법을 이용한 이종 나노입자의 혼합방법을 제공한다. 본 발명에 따른 카운터-플로우 주입법을 이용한 이종 나노입자의 혼합방법은 분산력이 우수하고, 혼합 및 입자의 직경이 균일하며, 공정 중 반응 조성물들의 산화를 막을 수 있고, 실리콘 나노입자 제조 및 포집공정과 탄소재와의 혼합공정을 하나의 공정으로 포함시킬 수 있으며, 공정시간을 1시간 정도로 단축시킬 수 있고, 공정비용을 절감할 수 있는 공정이다. 또한, 본 발명에 따른 혼합방법에 의해 제조되는 실리콘-그래파이트 혼합물은 리튬-이온 전지용 음극 물질로 유용하게 이용될 수 있다.
카운터-플로우 주입법, 실란 열분해, 건조 입자 혼합

公开(公告)号：KR1020100093924A

公开(公告)日：2010-08-26

申请号：KR1020090013081

申请日：2009-02-17

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 조용현 ,  김광수 ,  김태성

IPC: C08L101/10 ,  C01B31/02 ,  B82B3/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: C08L101/10 ,  B82B3/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/15 ,  C01B32/20

Abstract: PURPOSE: A heterogeneous nanoparticle mixture method using a counter-flow injection method is provided to form the diameter of particles uniformly, and to prevent the oxidation of reaction compositions. CONSTITUTION: A heterogeneous nanoparticle mixture method using a counter-flow injection method uses the counter-flow injection method to uniformly mix heterogeneous nanoparticles. The heterogeneous nanoparticles are a silicon nano particle and graphite powder. The counter-flow injection method uses a mixing chamber and a critical orifice.

Abstract translation: 目的：提供使用逆流注入法的异相纳米颗粒混合法，以均匀地形成颗粒的直径，并防止反应组合物的氧化。 构成：使用逆流注入法的异相纳米颗粒混合法使用逆流注入法均匀混合异质纳米粒子。 异质纳米颗粒是硅纳米颗粒和石墨粉末。 逆流注入法使用混合室和临界孔。

公开(公告)号：KR1020090106166A

公开(公告)日：2009-10-08

申请号：KR1020080031710

申请日：2008-04-04

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 박진환 ,  김태성 ,  김광수

IPC: B82B3/00

CPC classification number: H01M10/052 ,  B01J19/088 ,  B01J2219/0869 ,  B01J2219/0875 ,  B01J2219/0883 ,  B01J2219/0894 ,  B82Y30/00 ,  C01B13/28 ,  C01P2004/62 ,  C01P2004/64 ,  H01M4/134 ,  Y02T10/7011 ,  Y10T428/2982

Abstract: PURPOSE: A method for preparing nanoparticles and a lithium electrode employing the same are provided to exhibit high reproducibility, particle distribution uniformity, and profitability. CONSTITUTION: A method for preparing nanoparticles comprises the following steps of: preparing a nanoparticle making device; vacuuming a reaction chamber(S100); injecting a first processing gas and ambient gas into the reaction chamber(S200); controlling the first processing gas and ambient gas to maintain the steady state(S300); and applying plasma to a nanoparticle forming area of the reaction chamber at the same time injecting a second processing gas, and accommodating the formed nanoparticles in a receiving area of the reaction chamber(S400).

Abstract translation: 目的：提供一种制备纳米颗粒的方法和使用该方法的锂电极，以显示高重现性，颗粒分布均匀性和获利性。 构成：制备纳米颗粒的方法包括以下步骤：制备纳米颗粒制备装置; 抽真空反应室（S100）; 将第一处理气体和环境气体注入所述反应室（S200）中; 控制第一处理气体和环境气体以保持稳定状态（S300）; 同时将等离子体施加到反应室的纳米颗粒形成区域同时注入第二处理气体，并将形成的纳米颗粒容纳在反应室的接收区域中（S400）。

公开(公告)号：KR101639521B1

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：KR1020150048963

申请日：2015-04-07

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유필진 ,  이용만 ,  김광수

IPC: H01L51/44 ,  H01L31/0256

CPC classification number: Y02E10/549

Abstract: 본발명은기존태양전지에비하여낮은전류밀도를가지고있는유기태양전지에있어, 전극표면상에표면플라즈몬공명효과를나타내는금속나노입자층도입을통해에너지변환효율을향상시키는기술에관한것이다. 본발명에따르면, 유기태양전지의전극으로사용되는 ITO, FTO 또는그래핀표면상에플라즈몬공명효과를갖는금속나노입자어레이를제작하기위해, 액정거동현상을가진생체유기소재를템플레이트로이용하여전극표면에부착시키고, 그위에결합특성이있는금속나노입자수용액을도포하여선택적으로생체유기소재템플레이트표면에만형성시키는기술을개시한다.

Abstract translation: 在与现有太阳能电池相比具有较低电流密度的有机太阳能电池中，本发明涉及通过将表示等离子体共振效应的金属纳米颗粒层引入电极表面来提高能量转换效率的技术。 根据本发明，为了制造在用作有机太阳能电池的电极的ITO，FTO或石墨烯表面上具有等离子体共振效应的金属纳米颗粒阵列，具有作为模板的液晶行为现象的生物相容性有机材料是 附着于电极表面。 将具有耦合性质的金属纳米颗粒溶液喷涂到其上。 仅在生物相容的有机材料表面上选择性地形成金属纳米颗粒溶液。

公开(公告)号：KR101407650B1

公开(公告)日：2014-06-13

申请号：KR1020080031710

申请日：2008-04-04

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 박진환 ,  김태성 ,  김광수

IPC: B82B3/00

CPC classification number: H01M10/052 ,  B01J19/088 ,  B01J2219/0869 ,  B01J2219/0875 ,  B01J2219/0883 ,  B01J2219/0894 ,  B82Y30/00 ,  C01B13/28 ,  C01P2004/62 ,  C01P2004/64 ,  H01M4/134 ,  Y02T10/7011 ,  Y10T428/2982

Abstract: 본 발명은 저온 플라즈마를 이용한 나노입자 제조방법, 나노입자 및 이를 포함한 전극을 구비한 리튬 전지에 관한 것이다. 상기 나노입자 제조방법에 따르면, 균일한 크기의 나노입자를 제조할 수 있으며, 코어-쉘 구조의 나노입자 제조도 가능하다. 상기 나노입자는 리튬 전지 등과 같은 다양한 소자에 적용될 수 있다.
나노입자 제조방법, 리튬 전지

公开(公告)号：KR101137585B1

公开(公告)日：2012-04-19

申请号：KR1020100035330

申请日：2010-04-16

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김태성 ,  김광수 ,  장선재 ,  권혁진 ,  박해신 ,  박원철 ,  전제우

IPC: G01N15/10 ,  G01N15/02 ,  B05B9/03 ,  B05B12/00

Abstract: 본 발명은 유체 내 입자 검출 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 유체 내 입자 검출 시스템은 유체가 유동하는 경로 상에서 테스트 대상 장치의 전후 위치에서 상기 유체의 시료샘플을 각각 채취하는 채취부; 상기 채취부와 연결되어 채취된 시료샘플을 에어로졸로 변환시키는 분무장치; 상기 에어로졸에 포함된 입자의 개수, 크기 등의 특성을 측정하는 에어로졸용 측정부재; 입자 특성 검출의 정확도를 향상시키기 위하여 상기 채취부 전의 위치에 구비되어 유체를 필터링 하는 필터; 상기 채취부의 동작을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 테스트 대상 장치에서의 오염입자 발생여부를 분석할 수 있는 유체 내 입자 검출 시스템이 제공된다.

公开(公告)号：KR1020110115800A

公开(公告)日：2011-10-24

申请号：KR1020100035330

申请日：2010-04-16

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김태성 ,  김광수 ,  장선재 ,  권혁진 ,  박해신 ,  박원철 ,  전제우

IPC: G01N15/10 ,  G01N15/02 ,  B05B9/03 ,  B05B12/00

Abstract: 본 발명은 분무장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 분무장치는 케이스; 상기 케이스의 내부로 유체를 유입하는 유입구; 상기 유입된 유체를 에어로졸(aerosol) 상태로 분사하는 분사부; 상기 에어로졸을 상기 케이스의 외부로 유출시키는 유출구; 상기 유체의 일부를 상기 케이스의 외부로 배출함으로써 상기 케이스 내부의 유체량을 조절하는 드레인부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 유동하는 유체를 연속적으로 채취하여 에어로졸 분사시킬 수 있는 분무장치가 제공된다.