公开(公告)号：KR102122350B1

公开(公告)日：2020-06-12

申请号：KR1020180136475

申请日：2018-11-08

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 김태근

IPC: G02B5/32 ,  G03H1/00

公开(公告)号：KR102056063B1

公开(公告)日：2019-12-16

申请号：KR1020180104634

申请日：2018-09-03

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 김태근

IPC: G02B27/26 ,  G02B5/30

公开(公告)号：KR101332984B1

公开(公告)日：2013-11-25

申请号：KR1020120005042

申请日：2012-01-17

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 김태근

IPC: G03H1/16

Abstract: 본 발명은 홀로그램 촬영 장치 및 이를 이용한 홀로그램 촬영 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 서로 다른 파장의 광원을 순차적으로 발생시키는 광원부와, 상기 광원을 사용하여 대상물체에 대한 홀로그램을 상기 파장 별로 촬영하는 촬영부, 및 상기 파장 별로 촬영된 홀로그램을 이용하여 상기 대상물체의 3차원 어레이를 형성한 후 상기 대상물체의 3차원 단면영상을 복원하는 복원부를 포함하는 홀로그램 촬영 장치를 제공한다.
상기 홀로그램 촬영 장치 및 이를 이용한 홀로그램 촬영 방법에 따르면, 파장의 중첩에 따라 상쇄되는 고주파 성분의 프린지를 적응적으로 강화시킴으로써 수평 분해능을 증가시킬 수 있으며 복원된 단면영상의 품질을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

公开(公告)号：KR101304695B1

公开(公告)日：2013-09-06

申请号：KR1020120002121

申请日：2012-01-06

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 김태근

IPC: G11B7/0065 ,  G03H1/22

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따르면, 전자기파를 발생시키는 광원과, 상기 전자기파를 제1 빔과 제2 빔으로 분할하는 분할수단과, 상기 제1 빔과 상기 제2 빔을 서로 간섭시켜서 비선형 프레넬 윤대판(non-linear Fresnel zone plate) 형태의 간섭 빔을 형성하는 간섭수단과, 상기 간섭 빔을 이용하여 촬영대상물을 스캔하는 스캔수단, 및 상기 촬영대상물로부터 반사된 빔을 검출하는 광 검출수단을 포함하는 홀로그램 레코딩 장치를 제공한다.
상기 홀로그램 레코딩 장치에 따르면, 홀로그램 레코딩을 위하여 비선형 프래넬 윤대판(non-linear Fresnel zone plate)을 스캔 빔으로 형성함에 따라, 대상물의 홀로그램을 축소 또는 확대하여 공간상에 광학적으로 복원 시에 축소 또는 확대에 따른 왜곡 문제를 보정할 수 있는 이점이 있다.

公开(公告)号：KR1020130081127A

公开(公告)日：2013-07-16

申请号：KR1020120002121

申请日：2012-01-06

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 김태근

IPC: G11B7/0065 ,  G03H1/22

CPC classification number: G11B7/0065 ,  G11B7/0943 ,  G11B7/1372 ,  G11B7/1384 ,  G11B7/1395 ,  G11B20/10037 ,  G11B2007/0009

Abstract: PURPOSE: A hologram recording device is provided to correct the distortion of the hologram of an object by forming a non-linear Fresnel zone plate with scan beams for hologram recording. CONSTITUTION: A light source (110) generates an electromagnetic wave. A dividing means (120) divides the electromagnetic wave into a first beam and a second beam. An interference means (160) interferes the first and second beams and forms an interference beam of a non-linear Fresnel zone plate shape. A scan means (165) uses the interference beam for scanning an object. An optical detection means (175) detects the beam reflected from the object. [Reference numerals] (110) Light source; (120) Dividing unit; (130) Frequency shift unit; (135) Signal producing unit; (180) Electronic processing unit; (181) Heterodyne extracting unit; (183) Signal processing unit; (184) Storing unit; (185) Scan controller; (AA) Function generator; (BB) Optical system

Abstract translation: 目的：提供一种全息记录装置，用于通过形成具有用于全息记录的扫描光束的非线性菲涅耳带板来校正物体的全息图的失真。 构成：光源（110）产生电磁波。 分割装置（120）将电磁波分为第一光束和第二光束。 干涉装置（160）干扰第一和第二光束并形成非线性菲涅耳带状板的干涉光束。 扫描装置（165）使用干涉光束扫描物体。 光检测装置（175）检测从物体反射的光束。 （附图标记）（110）光源; （120）分割单元; （130）变频单元; （135）信号产生单元; （180）电子处理单元; （181）异步提取单元; （183）信号处理单元; （184）存储单元; （185）扫描控制器; （AA）函数发生器; （BB）光学系统

公开(公告)号：KR101040883B1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：KR1020090058508

申请日：2009-06-29

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 김병환 ,  김태근

IPC: H01L21/00

Abstract: 본 발명은 전산지능을 이용한 플라즈마 장비의 감시 및 제어 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 전산지능을 이용한 플라즈마 장비의 감시 및 제어 방법은, 반도체 공정을 수행하는 플라즈마 장비에 전자기파를 조사하여, 플라즈마에 대한 홀로그램 특성 정보를 획득하는 단계, 홀로그램 특성 정보로부터 전산지능을 이용하여 감시 모델을 생성하며, 감시 모델로부터 플라즈마 장비의 고장 여부를 감시하는 단계, 감시 모델을 수정하여 생성한 진단 모델로부터 플라즈마 장비의 고장 원인을 진단하는 단계, 그리고 감시 모델 또는 진단 모델을 결합하여 생성한 제어 모델을 이용하여 반도체 공정 특성에 대하여 최적 공정 조건을 계산하고, 최적 공정 조건에 부합하도록 플라즈마 장비의 공정 조건을 제어하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 홀로그램을 이용하여 플라즈마 입자를 3차원적으로 시각화함으로써 플라즈마 장비의 고장 여부를 정확하게 감지할 수 있다. 또한 플라즈마의 3차원 영상 정보를 전산지능을 통해 모델링 함으로써, 신속하게 플라즈마 장비의 고장 여부 감지, 고장 원인 진단 및 해결을 수행할 수 있어, 플라즈마 공정 작업의 효율성을 크게 높일 수 있다.
홀로그램, 전산지능, 신경망, 플라즈마, 모델링, 감시

公开(公告)号：KR1020110001109A

公开(公告)日：2011-01-06

申请号：KR1020090058508

申请日：2009-06-29

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 김병환 ,  김태근

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01J37/32935 ,  H01L21/67242

Abstract: PURPOSE: A method for monitoring and controlling a plasma machine using computational intelligence is provided to improve the accuracy of a monitoring process by three dimensionally visualizing plasma particles using hologram. CONSTITUTION: A hologram extractor(100) includes a hologram recording part(120) and a signal processing part(140). The hologram recording part acquires hologram characteristic information with respect to plasma. The signal processing part restores the three dimensional image of the plasma based on the hologram characteristic information. A plasma machine controller(200) includes a computational intelligence monitoring part(210), a computational intelligence diagnostic part(220), and a computational intelligence controlling part(230). The computational intelligence diagnostic part diagnoses the cause of malfunction occurred in plasma machine.

Abstract translation: 目的：提供使用计算智能来监测和控制等离子体机器的方法，以通过使用全息图三维可视化等离子体颗粒来提高监测过程的精度。 构成：全息图提取器（100）包括全息记录部件（120）和信号处理部件（140）。 全息记录部件获取关于等离子体的全息图特性信息。 信号处理部基于全息图特性信息来恢复等离子体的三维图像。 等离子体机器控制器（200）包括计算智能监控部分（210），计算智能诊断部分（220）和计算智能控制部分（230）。 计算智能诊断部分诊断发生在等离子体机器中的故障原因。

公开(公告)号：KR102129071B1

公开(公告)日：2020-07-01

申请号：KR1020190066643

申请日：2019-06-05

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 김태근

IPC: G01B11/25 ,  G03H1/22 ,  G01B9/021

公开(公告)号：KR102215493B1

公开(公告)日：2021-02-15

申请号：KR1020190118132

申请日：2019-09-25

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 김태근

IPC: G03H1/04

Abstract: 본발명은인라인디지털홀로그래피시스템에관한것이다. 본발명에따르면, 외부로부터입사된선편광빔을위상지연시켜편광방향을변경하여대상물로제공하는선편광방향변환기와, 상기대상물로부터반사된빔을입사받아음의초점거리를갖는우현원편광의제1 구면파및 양의초점거리를갖는좌현원편광의제2 구면파를각각생성하는편광감응형렌즈와, 상기생성된제1 및제2 구면파의성분중에서소정편광방향의빔 성분만을각각통과시켜제1 구면파로부터기준광을생성하고제2 구면파로부터물체광을생성하는편광기, 및상기편광기를통과한상기기준광과물체광사이에서발생한간섭빔을검출하여전기신호를생성하는촬상소자를포함하는인라인디지털홀로그래피시스템을제공한다. 본발명에따르면, 위상지연을통해빔의편광방향을변경하는광 조사부와, 편광감응형렌즈를이용한인라인구조의간섭부를이용하여고효율및 고품질로대상물의홀로그램을레코딩할수 있음은물론, 외부환경에강인하고안정적인이점이있다.

公开(公告)号：KR102205893B1

公开(公告)日：2021-01-21

申请号：KR1020190113621

申请日：2019-09-16

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 김태근

IPC: G03H1/04

Abstract: 본발명은형광체및 투과체에대한인라인스캐닝홀로그래피시스템에관한것이다. 본발명에따르면, 선편광빔을입사받아음의초점거리를갖는우현원편광의제1 구면파및 양의초점거리를갖는좌현원편광의제2 구면파를생성하는편광감응형렌즈와, 상기생성된제1 및제2 구면파의성분중에서소정편광방향의빔 성분만을통과시키는편광기와, 상기편광기를통과한제1 및제2 구면파사이에서발생한간섭빔을이용하여형광형대상물인형광체를스캔하는스캔수단, 및상기형광체로부터발산되는형광된빔을검출하는제1 광검출기를포함하는인라인스캐닝홀로그래피시스템을제공한다. 본발명에따르면, 편광감응형렌즈를이용하여단일의광 경로에서스캐닝패턴을형성함에따라투과체또는형광체에대한고효율및 고품질의광 스캐닝홀로그래피를구현할수 있음은물론높은안정성및 낮은복잡도의광학계구조를사용하여외부환경에강인하고안정적인이점이있다.