公开(公告)号：KR1020070051695A

公开(公告)日：2007-05-18

申请号：KR1020060111471

申请日：2006-11-13

Applicant: 스미토모덴키고교가부시키가이샤

Inventor： 아와타히데아키 ,  에무라가츠지 ,  요시다겐타로

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C14/30 ,  C23C14/16 ,  C23C14/20 ,  C23C14/546 ,  C23C14/562

Abstract: 본 발명은, 예비실험에 있어서, 장척 띠형상 기재(10)에 긴쪽방향에 있어서의 막두께가 균일하게 되도록 성막작업을 실시하고, 실험 시의 성막작업 개시시점부터의 경과시간과 그 시간에 있어서의 전원(51)의 출력을 측정해서 얻어진 시간과 출력의 관계를 기억장치(9)에 기억한다. 이후의 장척 띠형상 기재(10)에의 성막은 다음과 같이 실시한다. 우선, 성막작업 개시 전의 예비가열단계는, 수정발진식 막두께계(6)를 이용해서, 소망하는 성막속도로 안정되도록 전원(51)의 출력을 제어한다. 다음에, 소망하는 성막속도로 된 후, 기재반송장치(3)를 구동시켜서 장척 띠형상 기재(10)에의 성막작업을 개시한다. 그리고, 성막작업 개시 후는, 기억장치(9)에 의해 기억한 경과시간의 출력과 일치시키도록 전원(51)의 출력을 제어함으로써 성막작업을 실시하는 것을 특징으로 한 것이다.