정전 용량형 압력 센서 및 그의 제조 방법
    2.
    发明授权
    정전 용량형 압력 센서 및 그의 제조 방법 有权
    电容式压力传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR101619247B1

    公开(公告)日:2016-05-10

    申请号:KR1020140150105

    申请日:2014-10-31

    Abstract: 본발명은정전용량형압력센서에관한것으로, 구체적으로제1 기판및 제2 기판각각에캐비티(cavity)를형성하여두 기판간의간격을일정하게유지할수 있는정전용량형압력센서및 그의제조방법에관한것이다. 이를위해, 본발명의일 실시예에따른정전용량형압력센서는제1 캐비티, 적어도하나의전극취출홀및 적어도하나의전극취출부를포함하는제1 기판; 및상기제1 기판과마주보며일정간격이격되어형성되고, 상기제1 캐비티와대향되어형성되는제2 캐비티를포함하는제2 기판을포함하되, 상기전극취출부는상기전극취출홀의내측면과접촉하여형성될수 있다.

    Abstract translation: 电容式压力传感器及其制造方法技术领域本发明涉及一种电容式压力传感器,更具体地说,涉及一种电容式压力传感器及其制造方法,其中空腔形成在第一基板和第二基板上以保持两个基板之间的恒定间隙。 根据本发明的实施例,电容式压力传感器包括:第一基板,包括第一腔,至少一个电极排出孔和至少一个电极排出单元; 并且面向第一基板的第二基板与第一基板分离,并且包括面向第一腔的第二腔。 电极放电单元形成为与电极排出孔的内表面接触。

    다단 수광 소자를 구비한 레이저방식의 먼지센서

    公开(公告)号:KR102227457B1

    公开(公告)日:2021-03-15

    申请号:KR1020190128393

    申请日:2019-10-16

    Abstract: 다단수광소자를구비한레이저방식의먼지센서가개시된다. 본발명에따른다단수광소자를구비한레이저방식의먼지센서는, 주변의공기를흡입하는팬; 팬에의해유입구로흡입되는공기에대하여, 그유속을이용하여먼지입자를입자크기에따라복수의경로로분기하는경로분기부; 각각의경로에광을조사하는발광부; 각각의경로에대응하여먼지입자의광 산란에의해발생되는산란광을수신하는복수의수광소자; 및각각의수광소자에의해수신되는산란광에따라먼지입자를크기별로구분하는제어부;를포함하는것을특징으로한다.

    압력 센서 및 그 제조방법
    5.
    发明公开
    압력 센서 및 그 제조방법 无效
    压力传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020170071303A

    公开(公告)日:2017-06-23

    申请号:KR1020150179497

    申请日:2015-12-15

    Abstract: 실시예에관련된압력센서는기판, 기판의일면에위치한내부전극들, 대응하는내부전극들을서로연결하는저항들, 기판과갭을형성하도록일면에대향하여위치하는다이어프램, 기판의타면에위치한상부전극들, 그리고대응하는상부전극들을서로연결하는적어도하나의조정저항을포함한다.

    Abstract translation: 本实施方式涉及的压力传感器包括基板,位于基板的一个表面上的内部电极,连接相应内部电极的电阻器,位于一侧以与基板形成间隙的隔膜, 并且至少一个调节电阻器将相应的上电极彼此连接。

    먼지 센서의 출력 보정 방법
    6.
    发明公开
    먼지 센서의 출력 보정 방법 无效
    感测方法

    公开(公告)号:KR1020160106908A

    公开(公告)日:2016-09-13

    申请号:KR1020150029603

    申请日:2015-03-03

    Inventor: 이태휘 박세범

    CPC classification number: G01N15/06 G01N15/0205 G01N21/532 G01N2015/0693

    Abstract: 먼지센서의출력기준값을조절하는방법이개시된다. 본발명의먼지센서의출력방법은마스터센서로먼지가투입된챔버내의먼지농도를측정하여마스터값을측정하는단계; 측정센서에저장된출력기준값으로출력되는센서값을측정하는단계; 상기측정센서에서측정된센서값과마스터값의평균값을산출하는단계; 상기평균값과마스터값을이용하여보정값을산출하는단계; 상기보정값의기 설정된기준값을비교하는단계; 및상기보정값의절대값이상기기준값보다크면상기출력기준값을갱신하는단계를포함할수 있다.

    Abstract translation: 公开了一种用于调整灰尘传感器中的输出标准值的方法。 本发明的尘埃传感器的输出方法包括以下步骤:通过测量将灰尘插入主传感器的室内的灰尘浓度来测量主值; 测量传感器值输出作为存储在测量传感器中的输出标准值; 计算在测量传感器中测量的主值和传感器值的平均值; 使用平均值和主值计算校正值; 比较校正值的预定标准值; 以及如果所述校正值的绝对值大于所述标准值,则更新所述输出标准值。

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