公开(公告)号：KR101276609B1

公开(公告)日：2013-06-20

申请号：KR1020120013503

申请日：2012-02-10

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 안영환 ,  박재구 ,  손병희

IPC: G01R15/24 ,  G01J1/04

Abstract: PURPOSE: A high speed photocurrent image measurement apparatus is provided to improve sensitivity by including a configuration to remove noise and obtain information about a photocurrent for a short time, by changing a position where an optical pulse signal is irradiated in a photoelectric device for a short time. CONSTITUTION: A high speed photocurrent image measurement apparatus includes an optical modulation part(120), a galvano scanner(130), an object lens(140), a current preamplifier(160) and a lock-in amplifier(170). The optical modulation part modulates a light source generated in a light source generation part into a high frequency optical pulse signal. The galvano scanner controls an emission angle of the optical pulse signal, and inputs the controlled optical pulse signal to the object lens. The object lens emits the optical pulse signal from the galvano scanner to the photoelectric device. The current preamplifier converts and amplifies an optical current generated in a partial area of the photoelectric device by the optical pulse signal from the object lens. The lock-in amplifier measures only the AC voltage among AC voltages outputted from the current preamplifier, and outputs a DC voltage proportional to the measured AC voltage. [Reference numerals] (110) Optical source generating unit; (120) Optical modulation part; (130) Galvano scanner; (135) Relay lens; (140) Object lens; (150) Optoelectronic device; (160) Current preamplifier; (170) Lock-in amplifier; (180) Temporary storage unit; (190) Image generating unit; (200) Display unit

Abstract translation: 目的：提供一种高速光电流图像测量装置，通过包括通过将光脉冲信号在光电装置中短路的位置改变为短暂的方式，通过包括消除噪声并获得关于短时间的光电流的信息的配置来提高灵敏度 时间。 构成：高速光电流图像测量装置包括光调制部分（120），电流扫描器（130），物镜（140），电流前置放大器（160）和锁定放大器（170）。 光调制部将在光源生成部生成的光源调制为高频光脉冲信号。 电流扫描器控制光脉冲信号的发射角，并将受控的光脉冲信号输入到物镜。 物镜将电脉冲扫描器的光脉冲信号发射到光电器件。 电流前置放大器通过来自物镜的光脉冲信号来转换和放大在光电器件的局部区域中产生的光电流。 锁定放大器仅测量从电流前置放大器输出的交流电压之间的交流电压，并输出与测量的交流电压成比例的直流电压。 （附图标记）（110）光源发生单元; （120）光调制部; （130）Galvano扫描仪; （135）中继镜; （140）物镜; （150）光电器件; （160）电流前置放大器; （170）锁定放大器; （180）临时储存单位; （190）图像生成单元; （200）显示单元

公开(公告)号：KR102127740B1

公开(公告)日：2020-06-29

申请号：KR1020180159624

申请日：2018-12-12

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 안영환 ,  손병희

IPC: H01L29/417 ,  H01L29/16 ,  H01L21/02 ,  H01L21/306 ,  H01L21/8234 ,  H01L21/027