公开(公告)号：WO2018080220A1

公开(公告)日：2018-05-03

申请号：PCT/KR2017/011972

申请日：2017-10-27

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 서형탁 ,  심고운 ,  이상연

IPC: G01N27/414 ,  G01N21/78 ,  H01L21/02

CPC classification number: G01N21/78 ,  G01N27/414 ,  H01L21/02

Abstract: 불소계 가스 감지 장치가 개시된다. 불소계 가스 감지 장치는 기판 및 기판 상에 배치되고 수소화된 전이금속 산화물을 포함하여 불소계 가스와 반응하는 경우 색이 변화하는 감지층을 구비한다. 이러한 불소계 가스 감지 장치는 감지층의 색변화를 통해 불소계 가스를 감지할 수 있다.

Abstract translation: 公开了一种氟基气体传感装置。 氟基气体感测装置具有基板和设置在基板上并含有氢化过渡金属氧化物且在与氟基气体反应时变色的感测层。 这些基于氟的气体传感装置可以通过改变传感层的颜色来检测氟基气体。

公开(公告)号：KR101854533B1

公开(公告)日：2018-05-03

申请号：KR1020160141778

申请日：2016-10-28

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 서형탁 ,  심고운 ,  이상연

IPC: G01N27/414 ,  H01L21/02

CPC classification number: G01N21/78 ,  G01N27/414 ,  H01L21/02 ,  G01N27/4141 ,  G01N21/783 ,  H01L21/02172

Abstract: 불소계가스감지장치가개시된다. 불소계가스감지장치는기판및 기판상에배치되고수소화된전이금속산화물을포함하여불소계가스와반응하는경우색이변화하는감지층을구비한다. 이러한불소계가스감지장치는감지층의색변화를통해불소계가스를감지할수 있다.

公开(公告)号：KR101672143B1

公开(公告)日：2016-11-03

申请号：KR1020150136194

申请日：2015-09-25

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 서형탁 ,  심고운 ,  이상연

IPC: G01N21/78 ,  G01N27/407 ,  B82B3/00 ,  B82Y15/00 ,  B82Y20/00

CPC classification number: G01N33/0052 ,  B01J23/38 ,  B01J23/44 ,  B01J23/75 ,  B01J35/0013 ,  B01J37/10 ,  B01J37/18 ,  B01J37/343 ,  B01J37/345 ,  B01J37/348 ,  C23C18/1208 ,  C25D11/26

Abstract: 불소계가스감지장치가개시된다. 불소계가스감지장치는기판및 기판상에배치되고수소화된이산화티타늄나노입자들을포함하여불소계가스와반응하는경우색이변화하는감지층을구비한다. 이러한불소계가스감지장치는감지층의색변화를통해불소계가스를감지할수 있다.