公开(公告)号：KR101953940B1

公开(公告)日：2019-03-04

申请号：KR1020147008668

申请日：2012-10-01

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 슈타인헤우저에디트 ,  뢰젤러잔드라 ,  비제슈테파니 ,  응우옌탕캄라이 ,  슈탐프루츠

IPC: C23C18/40

公开(公告)号：KR1020140090145A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：KR1020147008668

申请日：2012-10-01

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 슈타인헤우저에디트 ,  뢰젤러잔드라 ,  비제슈테파니 ,  응우옌탕캄라이 ,  슈탐프루츠

IPC: C23C18/40

CPC classification number: C23C18/40

Abstract: 본 발명은, 구리 이온 소스, 환원제로서 글리옥실산 소스, 및 착화제로서 적어도 하나의 폴리아미노 디숙신산 또는 적어도 하나의 폴리아미노 모노숙신산, 또는 적어도 하나의 폴리아미노 디숙신산과 적어도 하나의 폴리아미노 모노숙신산의 혼합물을 포함하는 무전해 구리 도금 수용액, 뿐만 아니라 상기 수용액을 이용하는 무전해 구리 도금 방법 및 기판의 도금을 위한 용액의 용도에 관한 것이다.