公开(公告)号：KR102162540B1

公开(公告)日：2020-10-08

申请号：KR1020157025803

申请日：2014-03-25

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 브뤼닝독토어프랑크 ,  벡비르기트 ,  랑함머엘리자 ,  에츠코른독토어요하네스 ,  메르슈키독토어미하엘 ,  슐체외르크 ,  로빈스키크리슈티안

IPC: C23C18/40

公开(公告)号：KR1020150136066A

公开(公告)日：2015-12-04

申请号：KR1020157025803

申请日：2014-03-25

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 브뤼닝독토어프랑크 ,  벡비르기트 ,  랑함머엘리자 ,  에츠코른독토어요하네스 ,  메르슈키독토어미하엘 ,  슐체외르크 ,  로빈스키크리슈티안

IPC: C23C18/38 ,  C23C18/40

CPC classification number: C23C18/38 ,  C23C18/40 ,  C23C18/405

Abstract: 본발명은, - 구리이온의소스, - 환원제, 또는환원제의소스, 및 - 착화제로서, ⅰ) N,N,N',N'-테트라키스(2-하이드록시프로필)에틸렌디아민또는그의염, 및ⅱ) N'-(2-하이드록시에틸)-에틸렌디아민-N,N,N'-트리아세트산또는그의염을포함하는조합물을포함하는무전해구리도금용액뿐만아니라, 상기용액을이용하는무전해구리도금방법, 및기판도금을위한상기용액의용도에관한것이다.