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公开(公告)号:KR1020150016217A
公开(公告)日:2015-02-11
申请号:KR1020147029654
申请日:2013-04-16
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
CPC classification number: C25D17/28 , C25D17/005 , C25D17/06 , H05K3/241
Abstract: 작업편들 (WS) 의 전해질 금속화 동안 전류 전달을 향상시키기 위해, 다음 방법 단계들을 포함하는 방법이 제안된다: 금속 성막 장치 (17) 를 제공하는 단계로서, (a) 작업편 (WS), 적어도 하나의 애노드 (40, 41) 및 금속 성막 전해질 (AE) 이 배열되며, 전기 전류 발생용 디바이스 (60), 및 적어도 하나의 전류 공급 디바이스 (31) 를 갖고, 상기 적어도 하나의 전류 공급 디바이스 (31) 는 작업편 (WS) 과 전기 접촉하는 각 경우의 적어도 하나의 전기 접촉 엘리먼트 (34, 35) 를 갖는, 상기 금속 성막 장치 (17) 를 제공하는 단계; (b) 적어도 하나의 전기 접촉 엘리먼트 (34, 35) 를 작업편 (WS) 과 접촉시키는 단계; 및 (c) 성막 금속이 작업편 (WS) 상에 성막하도록, 전기 전류를 작업편 (WS) 에 적어도 하나의 전기 접촉 엘리먼트 (34, 35) 를 통해서 공급하는 단계. 방법 단계 (b) 이전에, 추가적인 방법 단계 (d) 에서, 성막 금속이 적어도 하나의 전기 접촉 엘리먼트 (34, 35) 상에 성막된다.
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