公开(公告)号：KR1020170089864A

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：KR1020177014803

申请日：2015-12-02

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 후지와라도시아 ,  브뤼그만호르슈트 ,  헤롤트롤란트 ,  쉬본토마스

IPC: C25D5/18 ,  C25D3/38 ,  C25D7/12

CPC classification number: C25D5/18 ,  C25D3/38 ,  C25D7/123 ,  H05K3/4076 ,  H05K2203/0723

Abstract: 기판표면들상에그리고구멍들내에금속을침전시킴에있어서균일성을개선하기위해편평한기판 (P) 상에금속을전기도금하는방법이제공된다. 상기방법은다음의방법단계들을포함한다: (a) 대향하는제 1 및제 2 기판표면 (P, P) 을갖는기판 (P), 적어도하나의대향전극 (120, 130; 220, 230) 을포함하는전기도금장치 (100, 200), 및전기도금액 (L) 을제공하는단계; (b) 기판 (P) 및적어도하나의대향전극 (120, 130; 220, 230) 의각각을전기도금액 (L) 과접촉하게하는단계; (c) 기판표면 (P, P) 에대해, 각각의제 1 순방향-역방향펄스전류시퀀스가연속하는제 1 순방향-역방향펄스기간들로이루어진적어도하나의제 1 순방향-역방향펄스전류시퀀스를상기제 1 기판표면 (P) 에그리고각각의제 2 순방향-역방향펄스전류시퀀스가연속하는제 2 순방향-역방향펄스기간들로이루어진적어도하나의제 2 순방향-역방향펄스전류시퀀스를상기제 2 기판표면 (P) 에피드함으로써, 제 1 및제 2 기판표면들 (P, P) 상에금속퇴적을행하기위해상기기판 (P) 의제 1 및제 2 기판표면들 (P, P) 을전기적으로분극화하는단계; (d) 상기적어도하나의제 1 순방향-역방향펄스전류시퀀스중 각각의제 1 순방향-역방향펄스전류시퀀스는, 연속적인제 1 순방향-역방향펄스기간들중 각각의제 1 순방향-역방향펄스기간에, 제 1 순방향펄스지속기간 (t) 동안제 1 기판표면 (P) 에서제 1 캐소드성전류를생성하는제 1 순방향펄스와, 제 1 역방향펄스지속기간 (t) 동안제 1 기판표면 (P) 에서제 1 애노드성전류를생성하는제 1 역방향펄스를적어도포함하며, 상기제 1 순방향펄스는제 1 순방향펄스피크전류 (i) 를갖고, 상기제 1 역방향펄스는제 1 역방향펄스피크전류 (i) 를가지며, 상기적어도하나의제 2 순방향-역방향펄스전류시퀀스중 각각의제 2 순방향-역방향펄스전류시퀀스는, 연속적인제 2 순방향-역방향펄스기간들중 각각의제 2 순방향-역방향펄스기간에, 제 2 순방향펄스지속기간 (t) 동안제 2 기판표면 (P) 에서제 2 캐소드성전류를생성하는제 2 순방향펄스와, 제 2 역방향펄스지속기간 (t) 동안제 2 기판표면에서제 2 애노드성전류를생성하는제 2 역방향펄스를적어도포함하며, 상기제 2 순방향펄스는제 2 순방향펄스피크전류 (i) 를갖고, 상기제 2 역방향펄스는제 2 역방향펄스피크전류 (i) 를가지며; 상기제 1 및제 2 순방향펄스들은추가로, 각각의제 1 또는제 2 순방향펄스지속기간 (t, t) 보다더 짧은각각의제 1 또는제 2 중첩캐소드성펄스지속기간 (t, t) 을갖는각각의제 1 또는제 2 중첩캐소드성펄스와중첩된다.

Abstract translation: 提供在平坦衬底（P）上电镀金属的方法以改善在衬底表面上和衬底表面上沉积金属的均匀性。 该方法包括以下方法步骤：（a）相对的第一mitje第二衬底表面（P，P），所述基板（P），其具有至少一个对电极的;包括（120，130，220，230） （100,200）和电镀液（L）; 该方法包括使之与电每个的量（L）相接触;（220，230 120，130）（b）中衬底（P）和至少一个反电极; （C）相对于所述基材面（P，P），每个所述第一前进方向的 - 至少一个第一组成正向权利要求其中反向脉冲电流序列反向脉冲电流序列的反向脉冲持续时间的的是连续的第一着 第一衬底表面（P）和各自由的反向脉冲第二前进到当前序列的连续反向脉冲电流序列，所述第二衬底表面，第二前进中的至少一个的所述第二前进后退的脉冲持续时间的（P ），包括：由一个外延德，第一mitje第二衬底表面电偏振（P，所述基板（P）议程1个mitje第二衬底表面，以实现沉积在P上的金属）（P，P）; （d）将所述至少一个第一正向反向脉冲电流序列分别的反向脉冲电流序列中的第一正向的，连续摄取1前进，每个反向脉冲持续时间的第一正向 - 的，则一个反向脉冲持续时间 在第一基板中的第一正向脉冲的持续时间（t）的表面为（P）产生第一阴极电流的第一正向脉冲和衬底对于反向脉冲持续时间（T）（P）的所述第一表面的 1，根据权利要求1的阳极，其包括至少在反向脉冲，第一正向脉冲，以生成具有第一正向脉冲峰值电流（i），所述第一反向脉冲是第一反向脉冲峰值电流（i）的电流 分别具有第二前进的最反向脉冲电流序列的至少一个第二前进后退脉冲电流序列，连续向前摄取2中，每个2的反向脉冲的持续时间，前转，第二的反向脉冲持续时间 在正向脉冲持续时间t期间， 和第二正向脉冲表面（P），第一和用于产生在所述衬底的所述第二表面的第二阳极电流为至少两个反向脉冲持续时间（t）的第二反向脉冲上产生第二阴极电流，并且 所述第二正向脉冲具有第二正向脉冲峰值电流（i），并且所述第二反向脉冲具有第二反向脉冲峰值电流（i）; 此外，优选所述第一mitje第二正向脉冲，具有各自的第一或第二正向脉冲的持续时间（T，T）短，每个第一和第二叠置阴极堡脉冲持续时间（T，T）的比 重叠每个第一或第二重叠的阴极活性脉冲。