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公开(公告)号：KR101629539B1
公开(公告)日：2016-06-13
申请号：KR1020127019825
申请日：2011-01-24
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
CPC classification number: C25D7/0664 , C23C18/00 , C25D17/00
Abstract: 본발명은, 기판의화학적및/또는전기화학적처리, 특히도전층들의무전해석출을위한시스템 (8) 에서플레이트형으로형성된기판 (10) 을운반하는장치를개시한다. 이장치는, 적어도부분적으로미네랄유리로이루어진적어도하나의회전운반요소 (14) 를포함한다. 게다가, 본발명은, 상하로쌍으로배치되며, 제 1 항내지제 11 항중 어느한 항에따른복수개의회전운반요소 (14) 를포함하는이송장치에관한것으로, 상기플레이트형으로형성된기판 (10) 이운반요소 (14) 사이에서이동가능하다.
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公开(公告)号：KR1020120128615A
公开(公告)日：2012-11-27
申请号：KR1020127019825
申请日：2011-01-24
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
CPC classification number: C25D7/0664 , C23C18/00 , C25D17/00
Abstract: 본 발명은, 기판의 화학적 및/또는 전기화학적 처리, 특히 도전층들의 무전해 석출을 위한 시스템 (8) 에서 플레이트형으로 형성된 기판 (10) 을 운반하는 장치를 개시한다. 이 장치는, 적어도 부분적으로 미네랄 유리로 이루어진 적어도 하나의 회전 운반 요소 (14) 를 포함한다.
게다가, 본 발명은, 상하로 쌍으로 배치되며, 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 복수 개의 회전 운반 요소 (14) 를 포함하는 이송 장치에 관한 것으로, 상기 플레이트형으로 형성된 기판 (10) 이 운반 요소 (14) 사이에서 이동가능하다.
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