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公开(公告)号：KR1020050019749A
公开(公告)日：2005-03-03
申请号：KR1020047020488
申请日：2003-07-02
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
Abstract: 집적회로를 제조함에 있어서, 전기 분해 금속 피복 동안에 금속층에 틈새들이 용이하게 형성될 수도 있다. 집적회로의 기능에 악 영향을 주는 이러한 결함들을 회피하기 위해, 본 발명은 하나 이상의 애노드와 하나 이상의 캐소드, 및 하나 이상의 애노드의 표면에 또는 하나 이상의 캐소드의 표면에 배치되는 하나 이상의 기준 전극을 구비하는 전기 분해 장치를 금속 피복용으로 사용하는 것을 제시한다. 하나 이상의 애노드와 하나 이상의 기준 전극 사이 및 하나 이상의 기준 전극과 하나 이상의 캐소드 사이의 전압들을 검출하기 위해 전압계가 각각 제공된다.
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