公开(公告)号：KR102010681B1

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：KR1020177020009

申请日：2015-12-16

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 펜델아르눌프 ,  라우엔부쉬랄프 ,  부쎄니우스토비아스

IPC: C25D17/06 ,  C25D17/00 ,  H01L21/687 ,  H01L21/67

公开(公告)号：KR1020170096029A

公开(公告)日：2017-08-23

申请号：KR1020177020009

申请日：2015-12-16

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 펜델아르눌프 ,  라우엔부쉬랄프 ,  부쎄니우스토비아스

IPC: C25D17/06 ,  C25D17/00 ,  H01L21/687 ,  H01L21/67

CPC classification number: C25D17/06 ,  C25D17/001 ,  C25D17/004 ,  C25D17/005 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68757 ,  H01L21/68764

Abstract: 본발명은처리될기판상에서의수직방향갈바닉금속, 바람직하게는구리의증착을위한기판홀더에관한것으로, 상기기판홀더는제 1 기판홀더부분및 제 2 기판홀더부분을포함하고, 양자의기판홀더부분들은내부금속포함부분및 외부비금속부분을포함하고, 상기기판홀더는, i) 상기기판홀더를처리컨테이너에기계적으로연결하기위한각 기판홀더부분내의적어도 1 개의매달림요소, ii) 처리될상기기판과각각의기판홀더부분사이에배열되는, 각기판홀더부분내의적어도 1 개의제 1 시일링요소, iii) 상기기판홀더의상기내부금속포함부분과상기기판홀더의상기외부비금속부분사이에배열되는, 전체기판홀더용의적어도 1 개의제 2 시일링요소, iv) 처리될상기기판을홀딩하기위해양자의기판홀더부분들을서로분리가능하게체결하기위한적어도 1 개의체결시스템, v) 외부소스로부터상기매달림요소를통해적어도제 2 접촉요소로전류를보내기위한각 기판홀더부분내의적어도 1 개의제 1 접촉요소, 및 vi) 적어도제 1 접촉요소로부터처리될상기기판으로전류를보내기위한각 기판홀더부분내의적어도 1 개의제 2 접촉요소를추가로포함한다.

Abstract translation: 本发明中，衬底保持器是包括第一衬底保持器部分和第二衬底保持器部的基板保持部，且都在垂直方向上电金属沉积在衬底sangeseoui衬底保持器上，优选铜的待处理 如上所述，并且包括内含金属部分和所述衬底保持器的外非金属部分，i）所述被处理基板，至少一个挂元件，ⅱ）在耦合到衬底保持器中的处理容器，用于机械地各个基板保持部和 布置在每个所述基板保持器，至少一个第一密封元件，III每个衬底保持器部分内，其布置）与所述衬底保持器部分的内金属和所述衬底保持器的外非金属部分，整个部分之间的间 至少一个第二密封元件用于衬底保持器，iv）至少一个紧固系统，用于可释放地紧固两者的衬底保持器部分以保持待处理的衬底，v） 通过从源到在各自的基板保持部，所述至少一个第一接触元件，用于至少一个当前的发送到所述第二接触元件的悬挂元件，以及vi）各基板用于发送的电流到所述衬底的以从至少所述第一接触元件被处理 并且在保持器部分中具有至少一个第二接触元件。