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公开(公告)号：WO2018216951A3
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：PCT/KR2018/005650
申请日：2018-05-17
Applicant: 안동대학교 산학협력단
Inventor： 이상헌
Abstract: 본 발명은 저가의 구동기를 이용하면서도 물체의 병진운동을 나노미터의 분해능으로 구현할 수 있는 정밀위치결정장치를 제공함에 있다. 본 발명의 정밀위치결정장치는 구동력을 발생시키는 구동부; 이동대상 물체가 안착되는 시편대가 고정되는 시편대고정부, 상기 구동부에서 발생된 구동력을 상기 시편대에 전달하기 위해 상기 시편대의 이동방향에 수직인 면에 적어도 하나의 구멍이 형성되어 상기 시편대의 이동방향으로 상기 수직인 면이 변위가 발생하는 적어도 하나의 탄성힌지, 상기 구동부가 장착되는 구동부장착부를 포함하는 이동안내부; 상기 이동안내부를 고정지지하는 고정부를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2018216951A2
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：PCT/KR2018/005650
申请日：2018-05-17
Applicant: 안동대학교 산학협력단
Inventor： 이상헌
Abstract: 본 발명은 저가의 구동기를 이용하면서도 물체의 병진운동을 나노미터의 분해능으로 구현할 수 있는 정밀위치결정장치를 제공함에 있다. 본 발명의 정밀위치결정장치는 구동력을 발생시키는 구동부; 이동대상 물체가 안착되는 시편대가 고정되는 시편대고정부, 상기 구동부에서 발생된 구동력을 상기 시편대에 전달하기 위해 상기 시편대의 이동방향에 수직인 면에 적어도 하나의 구멍이 형성되어 상기 시편대의 이동방향으로 상기 수직인 면이 변위가 발생하는 적어도 하나의 탄성힌지, 상기 구동부가 장착되는 구동부장착부를 포함하는 이동안내부; 상기 이동안내부를 고정지지하는 고정부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101738257B1
公开(公告)日：2017-05-30
申请号：KR1020150128771
申请日：2015-09-11
Applicant: 안동대학교 산학협력단
Inventor： 이상헌
Abstract: 본발명은프로브회전형원자현미경의프로브정렬도측정방법에관한것으로, a) 원자현미경의프로브의회전이수직축인지길이축인지를확인하는단계와, b) 상기 a) 단계의판단결과수직축회전인경우에는표면에서로나란한홈이다수형성된시편(200)에프로브(100)를접촉시켜주사스캔하고, 스캔결과를직교좌표계의데이터로변환하여프로브(100) 접촉점과회전중심의거리및 각도를산출하고, 그에따른오프셋보상값을산출하는단계와, c) 상기 a) 단계의판단결과프로브기길이축회전을하는경우평판형의시편(300)을회전각도에대한 z축변화를측정하여, 프로브접촉점과회전중심간의거리와각도를계산하여오프셋보상값을산출하는단계와, d) 상기 b)단계또는 c)단계를수행한후에회전각도에따른정밀스테이지보정값을출력하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101706110B1
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：KR1020150135638
申请日：2015-09-24
Applicant: 안동대학교 산학협력단
Inventor： 이상헌
Abstract: 본발명은멀티콥터를이용한표면검사장치에관한것으로, 다수의회전익(110)의회전방향을각각제어하여양력또는검사대상의표면에밀착되는밀착력을제공하는다수의회전제어부(100)와, 상기회전제어부(100)의하부에마련되며, 검사대상의표면에밀착된상태에서이동하는다수의이동모듈부(200)와, 상기회전제어부(100)와상기이동모듈부(200)의결합체세트들의사이를연결하는연결프레임바(300)와, 상기연결프레임바(300) 중적어도하나를분리가능하게연결하는연결제어부(400)와, 상기연결프레임바(300)의일부에고정설치되어상기검사대상의표면을검사하는검사센서부(500)를포함한다.
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公开(公告)号：KR101692152B1
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：KR1020150071651
申请日：2015-05-22
Applicant: 안동대학교 산학협력단
Inventor： 이상헌
Abstract: 비점수차를이용한변위센서및 그변위측정방법이개시된다. 본발명의변위센서는센서부와측정부를포함한다. 센서부는, 물체와대향하는대물렌즈와, 레이저다이오드에서출사되는빔을상기대물렌즈로반사하고상기대물렌즈로입사된다음상기물체의면에서다시반사된빔을통과시키는편광빔 스플릿터와, 상기스플릿터에서통과된빔이입사되는실린더형렌즈와, 4개포토다이오드로구현되어상기실린더형렌즈에서출사되는빔이결상하는위치감지검출기를구비한다. 측정부는상기위치감지검출기에결상된빔에의해 4개포토다이오드에서출사되는전압을이용하여상기물체의 z축방향병진운동값(V'), 상기물체의회전운동에의한상기 z축에수직한 x축방향변위(Vx') 및회전운동에의한상기 z축과 x축에수직한 y축방향변위(Vy') 값을계산하여출력할수 있다. 이러한측정에의하면, 회전운동에독립적인병진운동만을측정할수 있는방법을제시함으로써, 실제의운동에서회전이있더라도순수한병진운동만을측정할수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160116167A
公开(公告)日：2016-10-07
申请号：KR1020150042400
申请日：2015-03-26
Applicant: 안동대학교 산학협력단
Inventor： 이상헌
Abstract: 본발명은삼차원구조물제조장치및 방법에관한것으로, 재료의인쇄및 경화를통해삼차원구조물을제조할수 있는삼차원구조물제조장치에있어서, 재료를인쇄하는노즐부와제조된삼차원구조물을기계가공할수 있는기계가공부를구비하는헤드부와, 상기헤드부를평면상에서이동시키는 x축이동기구부및 y축이동기구부와, 상기헤드부와는 z축방향으로상대운동하며, 상기제조되는삼차원구조물이위치하는 z축이동기구부를포함한다. 본발명은종래적층형의 3D 구조물제조장치의구성과함께기계가공이가능한기계가공부를추가하여, 서보장치의성능에부합하는정밀도로삼차원구조물을제조할수 있는효과가있다.
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公开(公告)号：KR102216627B1
公开(公告)日：2021-02-17
申请号：KR1020190114313
申请日：2019-09-17
Applicant: 안동대학교 산학협력단
Inventor： 이상헌
Abstract: 본발명은낮은비용으로도정밀제작이가능하고, 부품의조립구조를간소화함과아울러부피를소형화할 수있는주사탐침현미경을제공함에그 목적이있다. 이를구현하기위한본 발명은, 측정대상시편을스캐닝하는탐침의변화를감지하여상기시편의특성을측정하는주사탐침현미경에있어서, 상기시편을스캐닝하는동안상기탐침의변화를감지하는탐침센서부; 상호직교하는방향으로구동력을발생시키는복수의구동부와, 상기복수의구동부에서발생된구동력에의해상호직교하는방향으로상기시편과함께이동되며상하로적층되어조립된복수의이동안내부를구비한스캐너;를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160137819A
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：KR1020150071651
申请日：2015-05-22
Applicant: 안동대학교 산학협력단
Inventor： 이상헌
Abstract: 비점수차를이용한변위센서및 그변위측정방법이개시된다. 본발명의변위센서는센서부와측정부를포함한다. 센서부는, 물체와대향하는대물렌즈와, 레이저다이오드에서출사되는광을상기대물렌즈로반사하고상기대물렌즈에서반사된상기빔을통과시키는편광빔 스플릿터와, 상기스플릿터에서통과된빔이입사되는실린더형렌즈와, 4개포토다이오드로구현되어상기실린더형렌즈에서출사되는광이결상하는위치감지검출기를구비한다. 측정부는상기위치감지검출기에결상된빔에의해 4개포토다이오드에서출사되는전압을이용하여상기물체의 z축방향병진운동값(V'), 상기물체의회전운동에의한상기 z축에수직한 x축방향변위(Vx') 및회전운동에의한상기 z축과 x축에수직한 y축방향변위(Vy') 값을계산하여출력할수 있다. 이러한측정에의하면, 회전운동에독립적인병진운동만을측정할수 있는방법을제시함으로써, 실제의운동에서회전이있더라도순수한병진운동만을측정할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160134978A
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：KR1020150067314
申请日：2015-05-14
Applicant: 안동대학교 산학협력단
IPC: G01N29/265 , G01N29/04
Abstract: 본발명은배관외부검사장치에관한것으로, 배관(1)의둘레를따라마련되며, 일부가개방된환형의메인프레임(100)과, 상기메인프레임(100)에고정설치되어상기배관(1)에접하며, 상기메인프레임(100)을조향가능하게이동시키는다수의구동모듈부(200)와, 상기메인프레임(100)에고정되어구동모듈부(200)에의해이동할때 장애물을파악할수 있는장애물센서부(300)와, 상기메인프레임(100)에고정설치되어상기배관(1)을검사하는배관검사센서(400)를포함하며, 상기구동모듈부(200)는, 상기메인프레임(100)에고정설치되는고정설치부(210)와, 조향을위한구동력을제공하는조향구동부(220)와, 상기조향구동부(220)가고정되며내측에조향전달부(240)이마련되고, 필요에따라상기고정설치부(210)와의간격이조정되는이동블록(230)와, 상기이동블록(230)에고정되며상기고정설치부(210)의이동제어블록(211)을관통하여상기이동블록(230)의이동을가이드하는이동가이드(250)와, 상기조향전달부(240)의회전력을전달하는조향축(270)과, 상기이동가이드(250)의타단에고정되는판상의지지부(260)와, 상기지지부(260)을관통한상기조향축(270)에연결되어상기조향축(270)의회전에따라회전하면서방향을전환하며, 자체에구동력을이용하여전환된방향을따라이동하는이동모듈부(280)로구성된다.
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公开(公告)号：KR101663878B1
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020140190763
申请日：2014-12-26
Applicant: 현빈테크 주식회사 , 안동대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은 LED 기판의주재료인웨이퍼를대량으로생산하기위한사파이어단결정성장장치의잉곳을정밀하게모니터링할수 있는제어장치관한것으로서, 보다구체적으로는웨이퍼의원재료인잉곳을가열로에넣어 2050℃이상고온에서사파이어단결정체인잉곳을선명하게초기시드위치및 성장상황을관찰할 수있도록한 레이저광학영상처리기법을이용한사파이어단결정성장장치의잉곳성장관찰용모니터링제어장치에관한것이다. 산화알루미늄을도가니(100)에넣어전극(201)을이용한가열을통해용해한다음, 용융된산화알루미늄에천천히시드(101)가접촉한후 인상과회전동시동작에의해단결정잉곳(102)으로성장시키는사파이어단결정성장장치에있어서, 상기잉곳(102) 성장관찰용모니터링부(300)와, 상기모니터링부(300)을통해전송되는잉곳(102) 성장장면을작업자가모니터로통해선명하게확인하면서작업이가능한화면캡쳐실시간필터변환재생장치(450)가구성된것을특징으로한다.
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