公开(公告)号：KR100697277B1

公开(公告)日：2007-03-20

申请号：KR1020050074825

申请日：2005-08-16

Applicant: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.

Inventor： 덴보에프아리에예프레이 ,  블리커아르노얀 ,  반돔멜렌유리요한네스로렌티우스마리아 ,  두사머시 ,  키에르스안토이네가스톤마리에 ,  루어맨폴프랑크 ,  펠레만스헨리쿠스페트루스마리아 ,  반데르샤르마우리츠 ,  그로우브스트라체드릭데지레 ,  반크라이요마르쿠스게라르두스마르티누스

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70633 ,  G03F7/7065 ,  G03F9/7034

Abstract: 본 발명에 따르면, 높은 개구수 렌즈의 퓨필 평면에서, 방사선이 기판에서 반사된 결과로서, 각도-분해 스펙트럼을 측정함으로써, 기판의 특성을 결정하는 장치 및 방법이 개시된다. 상기 특성은, 각도 및 파장에 의존적일 수 있으며, TM- 및 TE-편광된 광의 세기 및 그들의 관련 위상차를 포함할 수도 있다.

公开(公告)号：KR1020060050488A

公开(公告)日：2006-05-19

申请号：KR1020050074825

申请日：2005-08-16

Applicant: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.

Inventor： 덴보에프아리에예프레이 ,  블리커아르노얀 ,  반돔멜렌유리요한네스로렌티우스마리아 ,  두사머시 ,  키에르스안토이네가스톤마리에 ,  루어맨폴프랑크 ,  펠레만스헨리쿠스페트루스마리아 ,  반데르샤르마우리츠 ,  그로우브스트라체드릭데지레 ,  반크라이요마르쿠스게라르두스마르티누스

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70633 ,  G03F7/7065 ,  G03F9/7034 ,  H01L21/0273

Abstract: 본 발명에 따르면, 높은 개구수 렌즈의 퓨필 평면에서, 방사선이 기판에서 반사된 결과로서, 각도-분해 스펙트럼을 측정함으로써, 기판의 특성을 결정하는 장치 및 방법이 개시된다. 상기 특성은, 각도 및 파장에 의존적일 수 있으며, TM- 및 TE-편광된 광의 세기 및 그들의 관련 위상차를 포함할 수도 있다.