公开(公告)号：KR101136258B1

公开(公告)日：2012-04-20

申请号：KR1020110008937

申请日：2011-01-28

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 민병권 ,  조항은 ,  한진 ,  강성묵 ,  박경수 ,  박노철 ,  이상조

IPC: G02B6/13 ,  G11B7/12

CPC classification number: G02B6/132 ,  B82Y30/00 ,  G02B5/008 ,  G02B6/107 ,  G02B6/1226

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing an element formed with a metal film having a nano opening inside, a nano element manufactured by the same, an optical lens, and a plasmonic optical head are provided to enable the formation of a nano-sized geometric base plate and a nano opening into the desired shape to the desired depth. CONSTITUTION: A sacrificial layer is formed on the surface of an object(S2). A first metal thin film layer is laminated on the sacrificial layer(S3). A focused ion beam passes through the first metal thin film layer and the sacrificial layer, and a groove is formed in the object(S4). A metal layer is reformed on one side of the object, and a second metal thin film layer is formed inside the groove(S5). The sacrificial layer is removed from the surface of the object(S6).

Abstract translation: 目的：制造由内部具有纳米孔的金属膜形成的元件，由其制造的纳米元件，光学透镜和等离子体激元光学头的方法，以形成纳米尺寸的几何基板 以及将所需形状的纳米开口切成希望的深度。 构成：在物体的表面上形成牺牲层（S2）。 在牺牲层上层叠第一金属薄膜层（S3）。 聚焦离子束通过第一金属薄膜层和牺牲层，并且在物体中形成凹槽（S4）。 在物体的一侧重新形成金属层，在槽内形成第二金属薄膜层（S5）。 牺牲层从物体表面去除（S6）。

公开(公告)号：KR101864984B1

公开(公告)日：2018-06-05

申请号：KR1020170020163

申请日：2017-02-14

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 박노철 ,  이원섭 ,  임건 ,  최국종 ,  문형배 ,  강성묵

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/08 ,  G02B27/14

CPC classification number: G02B21/0076 ,  G01N21/6458 ,  G02B21/082 ,  G02B27/141

Abstract: 개시된본 발명에의한유도방출억제를이용한형광현미경은, 형광물질이포함된시료로여기광(Excitation beam)을방출하는여기유닛, 시료로유도방출억제(STED, Stimulated emission depletion)광을방출하는유도방출억제유닛, 여기광과유도방출억제광을상호중첩시켜시료로안내하는대물렌즈를포함하는광학유닛및, 광학유닛에의해중첩된광으로부터시료의이미지를검출하는검출유닛을포함하며, 여기유닛은여기광을복수개방출하거나여기광을분리시켜방출하여대물렌즈의초점면에서간섭을발생시킨다. 이러한구성에의하면, 낮은출력으로도여기광의간섭을통해고해상도의검출이가능해진다.

公开(公告)号：KR101192466B1

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：KR1020110012121

申请日：2011-02-11

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 박노철 ,  민병권 ,  양현석 ,  박영필 ,  박경수 ,  강성묵 ,  이원섭 ,  조항은 ,  김태섭

IPC: H01L21/027

Abstract: 능동 근접장 간극제어가 가능한 플라즈모닉 고체침지렌즈를 이용한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법이 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 능동 근접장 간극제어가 가능한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법은, 나노 사이즈의 개구(aperture)를 가지는 나노 금속필름이 내부에 형성된 광학렌즈로 빔을 조사하면서, 개구를 투과한 빔에 의해 노광을 수행함과 동시에, 나노 금속필름 둘레를 투과한 빔에 의해 광학렌즈 바닥면에 형성된 소멸파(evanescent wave)의 반사광량을 측정하여 간극제어를 수행한다.

公开(公告)号：KR1020120092223A

公开(公告)日：2012-08-21

申请号：KR1020110012121

申请日：2011-02-11

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 박노철 ,  민병권 ,  양현석 ,  박영필 ,  박경수 ,  강성묵 ,  이원섭 ,  조항은 ,  김태섭

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0274 ,  G03F7/70275

Abstract: PURPOSE: A high speed maskless nano lithography method controlling an active near field air gap, a nano aperture based optical lens and an optical head are provided to stably perform a maskless nano lithography on a wafer. CONSTITUTION: A nano metal film(422) is combined with a bottom of a lens body(421). The nano metal film includes a nano aperture(422a). The aperture is formed with a ridge, circular, or square shape. An exposure beam(21) passes through the nano metal film and is exposed to a wafer(50). An air control beam(11) passes through the circumference of the nano metal film and forms an evanescent wave to control an air gap.

Abstract translation: 目的：提供一种控制有源近场气隙的高速无掩模纳米光刻方法，纳米孔径光学透镜和光学头，以在晶片上稳定地进行无掩模纳米光刻。 构成：将纳米金属膜（422）与透镜体（421）的底部结合。 纳米金属膜包括纳米孔（422a）。 孔形成有脊，圆形或正方形。 曝光光束（21）通过纳米金属膜并暴露于晶片（50）。 空气控制光束（11）穿过纳米金属膜的圆周并形成消逝波以控制气隙。

公开(公告)号：KR1020110056799A

公开(公告)日：2011-05-31

申请号：KR1020090113270

申请日：2009-11-23

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 박노철 ,  강성묵 ,  박영필 ,  박경수

IPC: G02B6/12

Abstract: PURPOSE: A multi-type optical waveguide, a light amplifier and an amplification method using the same are provided to form a light spot having high amplification rate comparison to an incident light. CONSTITUTION: In a multi-type optical waveguide, a light amplifier and an amplification method using the same, a metal layer(110) forms a C-type opening of a nano scale through which a light is passed. A dielectric layer(120) is combined in a metal layer which is arranged in the exit side of the C-type opening of a nano scale.

Abstract translation: 目的：提供多种类型的光波导，光放大器和使用其的放大方法，以形成与入射光相比具有高放大率的光斑。 构成：在多型光波导中，使用光放大器及其放大方法，金属层（110）形成通过光的纳米级的C型开口。 电介质层（120）组合在布置在纳米尺度的C型开口的出口侧的金属层中。

公开(公告)号：KR101123244B1

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：KR1020090113270

申请日：2009-11-23

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 박노철 ,  강성묵 ,  박영필 ,  박경수

IPC: G02B6/12

Abstract: 본 발명은 나노 스케일(nano scale)의 개구가 형성된 금속층과 복수의 금속 나노 입자가 형성된 유전체층이 결합된 복합형 광 도파로에 관한 것으로서, 금속층의 나노 개구를 통해 입사된 광을 나노 개구 부분에서 일차적으로 증폭시킨 후 유전체층에 형성된 금속 나노 입자들 사이에서 이차적으로 재증폭시키는 다중 표면 플라즈몬 공명 효과(multiple surface plasmon resonance effect)를 이용하여 입사광 대비 큰 증폭률을 갖는 서브파장 크기의 작고 강한 광 스팟(light spot)을 형성할 수 있도록 한 복합형 광 도파로 및 이를 이용한 광증폭기 및 광 증폭방법을 제공한다.
광 도파로, 개구, 유전체, 표면 플라즈몬 공명(SPR;Surface Plasmon Resonance), 리지(ridge)