公开(公告)号：KR101873906B1

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：KR1020170034560

申请日：2017-03-20

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 심우영 ,  김혜온 ,  김광묵 ,  김태훈

IPC: H01L41/113 ,  H01L41/047 ,  H01L41/317

CPC classification number: H01L41/1132 ,  H01L41/047 ,  H01L41/317

Abstract: 본발명은플렉서블한특성을가지며, 투명성을만족함과동시에현저히향상된감도를만족하여투명성과고감도가동시에요구되는웨어러블디바이스분야에용이하게활용될수 있는고감도투명플렉서블압력센서및 이의제조방법을제공한다. 또한, 본발명은포토리소그래피(photo-lithography), 에칭(etching) 등의복잡한공정을거칠필요없어경제성이우수하며, 간단한공정만으로감도가향상된압력센서를제공할수 있어다양한디바이스분야에폭넓게활용될수 있는고감도투명플렉서블압력센서및 이의제조방법을제공한다.