公开(公告)号：KR101818864B1

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：KR1020160129979

申请日：2016-10-07

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 심우영 ,  김혜온 ,  김태훈 ,  김도헌

IPC: C23C16/44 ,  C23C14/28 ,  H04R7/12

CPC classification number: C23C16/4415 ,  B81B2201/05 ,  C23C14/28 ,  H04R7/12

Abstract: 본발명은음파진동을이용한미세물질어레이및 그제조방법을제공한다. 일실시예에따르면, 음파진동을이용한미세물질어레이는, 기판; 및음파진동에따른 2차원정상파형태의미세패턴구조에따라서상기기판상에형성된미세물질;을포함한다.

Abstract translation: 本发明提供了一种使用声波振动的微材料阵列及其制造方法。 根据一个实施例，使用声波振动的微材料阵列包括：衬底; 并且根据声波振动根据二维驻波型精细图案结构在基板上形成精细材料。

公开(公告)号：KR101873906B1

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：KR1020170034560

申请日：2017-03-20

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 심우영 ,  김혜온 ,  김광묵 ,  김태훈

IPC: H01L41/113 ,  H01L41/047 ,  H01L41/317

CPC classification number: H01L41/1132 ,  H01L41/047 ,  H01L41/317

Abstract: 본발명은플렉서블한특성을가지며, 투명성을만족함과동시에현저히향상된감도를만족하여투명성과고감도가동시에요구되는웨어러블디바이스분야에용이하게활용될수 있는고감도투명플렉서블압력센서및 이의제조방법을제공한다. 또한, 본발명은포토리소그래피(photo-lithography), 에칭(etching) 등의복잡한공정을거칠필요없어경제성이우수하며, 간단한공정만으로감도가향상된압력센서를제공할수 있어다양한디바이스분야에폭넓게활용될수 있는고감도투명플렉서블압력센서및 이의제조방법을제공한다.