능동형 유기 발광 소자 디스플레이 장치 및 이의 제조방법

    公开(公告)号:WO2020071605A1

    公开(公告)日:2020-04-09

    申请号:PCT/KR2019/004822

    申请日:2019-04-22

    Abstract: 본 발명은 능동형 유기 발광 소자 디스플레이 장치 및 그 제조방법을 개시한다. 특히, 적어도 하나의 전이금속 칼코겐 화합물 기반의 백플레인을 형성하는 단계에서 플렉서블 기판 상에 제1 절연층을 형성하는 단계, 제1 절연층 상에 서로 이격되는 소스/드레인 전극을 형성하는 단계, 플렉서블 기판의 채널영역 및 상기 소스/드레인 전극 상에 전이금속 칼코겐 화합물을 포함하는 채널층을 형성하는 단계, 채널층 상에 제2 절연층을 형성하여 상기 채널층을 도핑하는 단계 및 제2 절연층 상에 게이트 전극을 형성하는 단계를 포함하며, 적어도 하나의 전이금속 칼코겐 화합물 기반의 백플레인은 상기 도핑에 의하여 상기 채널영역이 전자도핑되고, 상기 소스/드레인 전극과 채널층의 접촉부가 전자도핑되는 것을 특징으로 한다.

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