수소 센서 및 그 제조 방법
    2.
    发明公开
    수소 센서 및 그 제조 방법 有权
    氢传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020140143241A

    公开(公告)日:2014-12-16

    申请号:KR1020130064358

    申请日:2013-06-05

    Abstract: 본 발명의 한 가지 양태에 따라서, 기판의 표면에 수소의 흡착에 따라 팽창 가능한 재료로 이루어진 박막을 형성하는 단계와; 상기 박막에 나노 갭을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 나노 갭을 형성하는 단계에서, 상기 박막을 수소 환경에 노출시켜 상기 나노 갭을 형성하고, 그 노출되는 수소 환경의 초기 수소 농도를 변화시켜, 상기 나노 갭의 폭을 변화시키는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법이 제공된다.

    Abstract translation: 根据本发明的一个方面,提供一种氢传感器的制造方法,包括:根据在基板表面上的氢的吸附形成由可膨胀材料形成的薄膜; 以及在薄膜上形成纳米凹槽,其中薄膜暴露于氢环境以形成纳米凹槽,并且当形成纳米凹槽时,暴露的氢环境中的初始氢浓度改变以改变纳米凹槽的宽度。

    물질의 표면 젖음 특성 조절 장치와 방법 및 이를 이용한 랩온어칩
    3.
    发明公开
    물질의 표면 젖음 특성 조절 장치와 방법 및 이를 이용한 랩온어칩 有权
    用于控制材料的表面湿润性能的装置和方法,以及使用其的芯片上的乳液

    公开(公告)号:KR1020140079591A

    公开(公告)日:2014-06-27

    申请号:KR1020120147475

    申请日:2012-12-17

    Abstract: The present invention relates to a device and a method for controlling surface wetting properties of materials and a lab-on-a-chip using the same. The lab-on-a-chip includes a substrate, a channel which is formed on the substrate and forms a movement path for a sample, and a reactive gas supply unit which supplies reactive gas to the channel. The channel is includes a rough surface material which is formed on the substrate and has roughness larger than the substrate and a reactive material which is formed on the rough surface material and changes its volume by reacting with reactive gas.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于控制材料的表面润湿性能的装置和方法,以及使用其的芯片实验室。 芯片实验室包括基板,形成在基板上并形成用于样品的运动路径的通道,以及向通道提供反应性气体的反应气体供应单元。 该通道包括粗糙表面材料,其形成在基底上并具有大于基底的粗糙度和形成在粗糙表面材料上的反应性材料,并通过与反应性气体反应而改变其体积。

    수소 센서
    6.
    发明公开
    수소 센서 有权
    氢传感器

    公开(公告)号:KR1020150097871A

    公开(公告)日:2015-08-27

    申请号:KR1020140018236

    申请日:2014-02-18

    CPC classification number: G01N33/005 H01L29/78693 G01N27/407

    Abstract: 본 발명의 한 가지 양태에 따라서, 탄성 재질의 기판과, 상기 기판 표면에 제공되고 다수 개의 나노갭이 형성된 전이금속 또는 그 합금 박막과, 상기 박막에 형성되는 전극을 포함하는 수소 센싱부와; 상시 수소 센싱부에 연결되는 박막 트랜지스터를 포함하고, 상기 수소 센싱부의 박막이 상기 박막 트랜지스터의 소스(또는 드레인) 또는 게이트와 접속부를 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 수소 센세가 제공된다.

    Abstract translation: 根据本发明的实施例,氢传感器包括:氢感测部分,其包括设置在基板的表面上并具有多个纳米点的弹性基板,过渡金属或合金薄膜,以及电极 提供在薄膜上; 以及连接到氢感测部分的薄膜晶体管。 氢感测部分的薄膜通过连接部分连接到薄膜晶体管的栅极或源极(或漏极)。

    물질의 표면 젖음 특성 조절 장치와 방법 및 이를 이용한 랩온어칩
    8.
    发明授权
    물질의 표면 젖음 특성 조절 장치와 방법 및 이를 이용한 랩온어칩 有权
    用于控制材料的表面润湿性的设备和方法,以及使用其的芯片上的实验室

    公开(公告)号:KR101411441B1

    公开(公告)日:2014-07-01

    申请号:KR1020120147475

    申请日:2012-12-17

    Abstract: 본 발명은 물질의 표면 젖음 특성 조절 장치와 방법, 및 이를 이용한 랩온어칩에 관한 것으로, 기판과, 기판상에 형성되며 시료의 이동 경로를 형성하는 채널, 및 채널에 반응 기체를 공급하는 반응기체 공급부를 포함하며, 상기 채널은, 기판상에 형성되며 기판보다 큰 표면 거칠기를 갖는 거친 표면 물질, 및 거친 표면 물질에 형성되며, 상기 반응 기체와 반응하여 부피가 변화하는 반응 물질을 포함하는 랩온어칩을 제공한다.

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