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公开(公告)号：KR101817334B1
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：KR1020160112309
申请日：2016-09-01
Applicant: 연세대학교 산학협력단 , 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/407 , G01N27/414
CPC classification number: G01N33/0013 , G01N27/4072 , G01N27/126 , G01N27/4145
Abstract: 본발명은탄소나노소재기반고습환경에서극민감한가스센서및 민감도개선방법에관한것으로서, 보다상세하게는탄소나노소재로구성된제1검지부표면에작용기를형성하여물분자와결합하도록함으로써, 하이드로늄이온(H3O+, hydronium ion)을생성하여최종적으로추가적인이온기반전도성경로(ion conduction path)를생성함에따라고습환경에서추가적인반응경로를획득하여센서의민감도(Sensitivity) 및검지한계를향상시키는가스센서에관한것이다. 본발명의일 실시예에따르면기판; 상기기판상부에배치되는제1검지부; 상기제1검지부와전기적으로연결되는전극; 및상기제1검지부의상부에배치되는제2검지부를포함하고, 상기제2검지부는친수성의작용기를가지는것을특징으로하는가스센서를제공한다.
Abstract translation: 本发明是一种碳纳米材料为基础的，如在极多么敏感改进的气体传感器和灵敏度，以及高湿度环境更具体地，通过形成第一官能团至检测表面由碳纳米材料的耦合与水分子，水合氢离子 以产生（H 3 O +，水合氢离子）和作为产生最终附加基于离子的导电通路（离子传导路径）的气体传感器的增加灵敏度（灵敏度）和传感器的检测限，以获得在高湿度环境中的附加的反应途径 会的。 根据本发明的一个实施例， 第一检测单元，设置在基板上; 电连接到第一检测单元的电极; 和第二检测单元，以及设置在所述第一检测单元上的第二检测部，提供了一种气体传感器，其特征在于具有亲水性官能团。
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公开(公告)号：KR101211793B1
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：KR1020110038398
申请日：2011-04-25
Applicant: 연세대학교 산학협력단
Abstract: 서스펜더를가지는나노구조체의제조방법이개시된다. 본발명의실시예에따른서스펜더를가지는나노구조체의제조방법은, 기판상부를식각하고, 기판의식각부에제1재료를증착하여기판내부에하부전극을형성하는하부전극형성단계; 하부전극과기판이형성하는평평한상면에제2재료를증착하거나올려놓아서스펜더를형성하는서스펜더형성단계; 하부전극과, 하부전극상부에접속된서스펜더단부의상면에제3재료를증착하여상부전극을형성하는상부전극형성단계; 및서스펜더가기판상측에서스펜드(suspend)된형상을가지도록서스펜더하측의기판의상부를식각하는서스펜딩단계;를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020120022164A
公开(公告)日：2012-03-12
申请号：KR1020100085402
申请日：2010-09-01
Applicant: 연세대학교 산학협력단
CPC classification number: B01D39/2055 , B01D2239/10 , C01B32/186 , C01B32/19
Abstract: PURPOSE: A graphene nano-filter net, a graphene nano-filter, and a method for manufacturing the same are provided to improve the reliability of filtering performance by cutting the connections of carbon atoms in graphene and forming pores. CONSTITUTION: A graphene nano-filter net(110) includes graphene(111) and pores(112). The graphene is formed into hexagonal grid structure. The size of the structure is 0.1nm or more to 0.2nm or less. The pores are generated by etching a part of the graphene. The sizes of the pores are 1nm or more to 100nm or less. A graphene nano-filter includes the graphene nano-filter net, a graphene frame, and a filter channel. The graphene frame fixes the graphene nano-filter net into a pre-set form. The filter channel forms inner flow path. The width of the inner flow path is 1um or more to 10cm or less. The graphene frame and the filter channel are based on polymeric materials such as polydimethylsiloxane.
Abstract translation: 目的：提供石墨烯纳滤器网，石墨烯纳米过滤器及其制造方法，以通过切割石墨烯中碳原子的连接并形成孔来提高过滤性能的可靠性。 构成：石墨烯纳滤网（110）包括石墨烯（111）和孔（112）。 石墨烯形成六边形网格结构。 结构的尺寸为0.1nm以上至0.2nm以下。 通过蚀刻石墨烯的一部分来产生孔。 孔的尺寸为1nm以上至100nm以下。 石墨烯纳米过滤器包括石墨烯纳滤器网，石墨烯框架和过滤器通道。 石墨烯框架将石墨烯纳滤器网络固定成预设形式。 过滤通道形成内流路。 内流路的宽度为1um以上10cm以下。 石墨烯框架和过滤器通道基于聚合材料如聚二甲基硅氧烷。
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公开(公告)号：KR1020110105584A
公开(公告)日：2011-09-27
申请号：KR1020100024800
申请日：2010-03-19
Applicant: 연세대학교 산학협력단
CPC classification number: H01P7/08 , H01P7/065 , H01P11/008
Abstract: 본 발명은 나노공진기 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 그 나노공진기는 베이스가 되는 실리콘기판(10); 상기 실리콘기판(10) 상면에 증착되는 희생층(20); 상기 희생층(20) 상면에 증착되는 공진부(30); 및 상기 공진부(30) 상면에 증착되는 금속층(40)을 포함하여 구성되고, 그 제조방법은 실리콘기판(10) 상면에 희생층(20)을 증착시키는 단계; 상기 희생층(20) 상면에 공진층(35)을 증착시키는 단계; 상기 공진층(35) 상면에 포토레지스트(37)를 도포하는 단계; 상기 포토레지스트(37) 상에서 공진부(30) 형상의 마스크(39)를 통해 리소그래피 방식으로 노광을 실시하여 공진부(30) 형상을 패터닝하는 단계; 상기 패터닝 된 포토레지스트(37)를 현상하여 공진부(30) 형상이 드러나도록 하는 단계; 상기 공진부(30) 형상에 금속층(40)을 증착하는 단계; 상기 금속층(40)이 층착된 공진부(30) 형상을 갖도록 포토레지스트(37)를 완전히 제거하는 단계; 및 상기 금속층(40), 공진부(30) 및 희생층(20)에 대해 식각을 수행하는 단계를 포함하여 구성된다. 따라서, 공진기 구동시 에너지 손실을 최소화함은 물론 공진기의 작동 효율 및 공진기 주파수 특성의 안정성을 증가시킬 수 있도록 하는 등의 효과를 얻는다.
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公开(公告)号：KR101415293B1
公开(公告)日：2014-07-04
申请号：KR1020120058124
申请日：2012-05-31
Applicant: 연세대학교 산학협력단
IPC: H01L29/861
Abstract: 본 발명은 전기 전도도가 우수한 그라핀과 이와 전자 주고받기가 용이한 팔라듐을 소재로 간단한 리소그라피 공정을 통해 안정성과 양산성이 우수한 반도체 소자를 제조할 수 있는 반도체 소자 제조방법 및 이 제조방법을 통해 제조된 반도체 소자를 제공한다. 이를 위한 본 발명은 반도체 소자 제조방법에 있어서, 기판에 홈을 형성한 후 상기 홈 내부에 게이트 전극과 유전체를 순차적으로 적층하는 단계와; 상기 유전체의 상부면과 접촉되도록 기판 위에 그라핀을 도포하는 단계와; 상기 도포된 그라핀을 리소그라피 공정을 이용하여 원하는 모양으로 패터닝하는 단계와; 상기 패터닝된 그라핀의 일부분에 팔라듐이 코팅될 수 있도록 기판 위에 포토레지스트를 도포한 후 리소그라피 공정을 통해 패터닝하는 단계와; 상기 패터닝된 포토레지스트 위에 팔라듐을 증착하여 그라핀의 일부분에 팔라듐을 코팅하는 단계와; 상기 그라핀의 일부분에 코팅된 팔라듐을 제외한 모든 포토레지스트와 팔라듐을 제거하는 단계; 및 상기 그라핀의 양쪽에 연결되도록 소스 전극과 드레인 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130134538A
公开(公告)日：2013-12-10
申请号：KR1020120058123
申请日：2012-05-31
Applicant: 연세대학교 산학협력단
Abstract: The present invention relates to an ultra-sensitive graphene sensor, which is able to tune a response sensitivity, having a fast-recovery and renewability, and a manufacturing method thereof comprising: a substrate where a groove is formed; a dielectric layer which is formed inside the groove; a graphene layer, which is formed to be in contact with the dielectric layer partially while being in contact with an upper surface of a substrate, which is positioned in the left side and the right side of the groove; a source electrode and a drain electrode, which are connected to both sides of the graphene layer respectively by being stacked over the substrate; and a gate electrode, which is formed to be in contact with the dielectric layer inside the groove, and in which a voltage is applied from an outside.
Abstract translation: 本发明涉及能够调节具有快速恢复和可更新性的响应灵敏度的超敏感石墨烯传感器及其制造方法，其包括：形成凹槽的基板; 形成在所述槽内的电介质层; 石墨烯层，其形成为与位于槽的左侧和右侧的基板的上表面接触部分地与电介质层接触; 源极电极和漏极电极，其分别通过层叠在所述基板上而连接到所述石墨烯层的两侧; 以及栅电极，其形成为与沟槽内的电介质层接触，并且其中从外部施加电压。
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公开(公告)号：KR101211850B1
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：KR1020100085402
申请日：2010-09-01
Applicant: 연세대학교 산학협력단
Abstract: 그라핀나노필터망이개시된다. 본발명의일실시예에따른그라핀나노필터망은, 0.1㎚이상내지 0.2㎚이하사이즈의 6방정계격자구조를가지는그라핀(Graphene); 및유체는통과시키되 1㎚이상의사이즈를가지는유체내입자는걸러지도록그라핀의일부를식각하여 1㎚이상내지 100㎚이하사이즈로생성되는공극;을포함하여구성된다.
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公开(公告)号：KR1020110113847A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：KR1020100033156
申请日：2010-04-12
Applicant: 연세대학교 산학협력단
IPC: H01P7/06
Abstract: 본 발명은 나노공진기에 관한 것으로서, 양단부에 전극(11)이 마련되고 이들 전극을 연결하는 진동부(12)가 마련된 공진기 본체(10); 상기 공진기 본체(10)의 진동부(12) 인접 측부에 배치되어 진동부(12)의 좌우 구동이 가능하도록 하는 좌우구동전극(20); 및 상기 공진기 본체(10)의 진동부(12) 인접 상부에 배치되어 진동부(12)의 상하 구동이 가능하도록 하는 상하구동전극(30)을 포함하여 구성된다. 따라서, 공진기 본체의 진동부 좌우측 및 상부에 구동 전극을 각각 배치하여 전자기력에 의한 좌우방향 공진뿐만 아니라 정전기력(Electrostatic force)에 의한 상하 구동 역시 가능하도록 함으로써, 교류 전압과 함께 직류 전압(DC voltage)을 동시에 이용하여 교류 전압(AC voltage) 구동은 물론 상하좌우 직류 전압(DC voltage) 튜닝도 가능하게 되며 이를 통해 공진기의 선형성을 유지하는 동시에 민감성 및 작동 계수(Q-factor)를 주어진 환경 하에서 항시 최적화시킬 수 있고, 또한, 서로 다른 공진 주파수 대역을 하나의 공진기에서 구동이 가능하게 되어 하나의 디바이스가 두 가지의 디바이스의 기능을 갖게 되어 나노 공진기의 공진 주파수 튜닝 이외의 다른 새로운 공진 주파수 변조가 가능하게 되는 등의 효과를 얻는다.
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公开(公告)号：KR102150025B1
公开(公告)日：2020-08-31
申请号：KR1020180139263
申请日：2018-11-13
Applicant: 연세대학교 산학협력단
IPC: G01N33/569 , G01N27/02 , G01N33/18
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公开(公告)号：KR1020130112515A
公开(公告)日：2013-10-14
申请号：KR1020120034950
申请日：2012-04-04
Applicant: 연세대학교 산학협력단
CPC classification number: Y02E10/549 , Y02P70/521 , H01L51/441 , B01J19/12 , C01B32/186 , C01B32/23 , H01B5/14
Abstract: PURPOSE: An electrode structural body using graphene oxide, an optoelectrical device and an organic solar cell having the same are provided to increase the efficiency of a battery by using the graphene oxide. CONSTITUTION: A conductive film (224) is formed on a substrate (222). The conductive film comprises graphene oxide. The conductive film is formed by the spin-coating of the graphene oxide. The conductive film is formed by the drop-casting of the graphene oxide. The conductivity and the transparency of the graphene oxide are turned by a reduction treatment.
Abstract translation: 目的：提供使用石墨烯氧化物的电极结构体，光电器件和具有该电极结构体的有机太阳能电池，以通过使用石墨烯氧化物来提高电池的效率。 构成：在基板（222）上形成导电膜（224）。 导电膜包括氧化石墨烯。 导电膜通过石墨烯氧化物的旋涂形成。 导电膜由石墨烯氧化物的滴铸形成。 石墨烯氧化物的导电性和透明度通过还原处理转动。
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