Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号:KR101970911B1
公开(公告)日:2019-04-22
申请号:KR1020180013343
申请日:2018-02-02
Applicant: 영남대학교 산학협력단
Inventor: 유기수 , 배철호 , 심재술 , 임지석 , 이청환 , 정시훈 , 백준현 , 예정우
IPC: G03F7/00 , G03F7/16 , G03F7/42