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公开(公告)号：WO2017086755A1
公开(公告)日：2017-05-26
申请号：PCT/KR2016/013402
申请日：2016-11-21
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
IPC: A61B5/00
CPC classification number: A61B5/00
Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 신경 탐침 인터페이스는, 광원; 및 일단부는 상기 광원에 연결되고 타단부는 신경에 광 자극을 가하기 위해 탐침 대상인 신경 내부로 삽입되는 탐침부로 마련되며, 코어 및 상기 코어를 부분적으로 감싸는 클래드를 갖는 광도파관;을 포함하며, 상기 탐침부는 상기 신경으로의 삽입을 위한 원뿔 형상의 코어부재로 형성되며, 상기 클래드는 상기 코어부재를 제외한 상기 광도파관의 나머지 영역의 적어도 일부분을 감쌀 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 탐침부의 코어부재가 클래드가 제거된 원뿔 형상을 가짐으로써 신경 탐침의 용이성을 확보할 수 있으면서도 코어부재와 접촉되는 물질 간의 굴절률 차이에 기초하여 신경에 대한 탐침부의 접촉 유무를 정확하게 판별할 수 있음은 물론 탐침부의 삽입 깊이도 미세하게 조정할 수 있다.
Abstract translation: 根据本发明实施例的神经刺激接口包括光源; 和一端具有包层的光学波导被设置为一部分所述探针连接到所述光源和所述另一端被插入到目标探头内的神经给光刺激施加到神经，包围所述芯，和所述芯部分;其中，所述探针 该部分由用于插入神经中的圆锥形芯构件形成，并且包层可以覆盖除了芯构件之外的光波导的剩余区域的至少一部分。 根据本发明的一个实施例中，芯构件的探头由具有包层的圆锥形状固定的容易性神经探针已被除去，但在与芯构件接触或不具有神经的探针部分接触的材料之间的折射率差的基础 可以精确确定，探针的插入深度可以精确调整。
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公开(公告)号：WO2020022729A1
公开(公告)日：2020-01-30
申请号：PCT/KR2019/009050
申请日：2019-07-23
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
IPC: A61B5/00
Abstract: 일 실시예에 따른 광 프로브는 빛을 방출하는 광원; 상기 광원의 빛을 제1방향으로 집광시키는 제1 집광 렌즈; 및 제1방향으로 집광된 빛을 상기 제1방향에 교차하는 제2방향으로 집광시키는 복수 개의 제2 집광 렌즈들; 상기 복수 개의 제2 집광 렌즈들로부터 각각 연장하며 제2방향으로 집광된 빛을 대상체로 전달하는 복수 개의 도파관들; 및 대상체로 전달된 빛에 의해 대상체가 자극 또는 억제될 때 발생하는 전기적 신호를 수용하도록 구성된 복수 개의 전극들을 포함할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100921434B1
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：KR1020080127049
申请日：2008-12-15
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단
CPC classification number: G02B26/0841 , B81C1/00166 , B81C1/00269 , B81C1/00547 , G02B26/105
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a micromirror having inclined electrode using PDMS is provided to increase a driving angle which is available by forming a bottom electrode to be inclined. CONSTITUTION: A method for manufacturing a micromirror having inclined electrode using PDMS is comprised of the steps: forming a bottom electrode to be inclined as a triangle and patterning a mold so that the top of the tangle is split(S110); injecting PDMS(polydimethylsiloxane stamp) into the patterned mold and hardening it(S120); separating hardened PDMS from the patterned mold in order to form the inclined bottom electrode(S130); and depositing the metal layer on the surface of PDMS in order to supply a voltage to the inclined bottom electrode(S140).
Abstract translation: 目的：提供一种使用PDMS制造具有倾斜电极的微镜的方法，以增加通过形成倾斜的底部电极可获得的驱动角度。 构成：使用PDMS制造具有倾斜电极的微镜的方法包括以下步骤：形成倾斜为三角形的底部电极，并且使模具图案化，使得缠结的顶部被分裂（S110）; 将PDMS（聚二甲基硅氧烷印模）注入图案化模具中并使其硬化（S120）; 将硬化的PDMS与图案化的模具分离以形成倾斜的底部电极（S130）; 以及在PDMS的表面上沉积金属层以便向倾斜底部电极提供电压（S140）。
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公开(公告)号：KR1020140002973A
公开(公告)日：2014-01-09
申请号：KR1020120070054
申请日：2012-06-28
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 전북대학교산학협력단 , 이화여자대학교 산학협력단
IPC: B81C1/00 , H01L21/027 , H01L21/306
CPC classification number: B81C1/00031 , H01L21/0273 , H01L21/30604
Abstract: A method for fabricating vertical structures using a wet etching method is provided. The method comprises a step of forming identical patterns corresponding to the vertical through type structures on both sides of a base plate using a first mask; a step of etching the base plate after the patterning step using a first solution; and a step of stopping the etching of the base plate on the vertical through type structure. [Reference numerals] (AA) Vertical
Abstract translation: 提供了使用湿式蚀刻方法制造垂直结构的方法。 该方法包括使用第一掩模在基板的两侧上形成与垂直通孔型结构对应的相同图案的步骤; 在使用第一溶液的图案化步骤之后蚀刻所述基板的步骤; 以及在垂直贯通型结构上停止基板的蚀刻的步骤。 （标号）（AA）垂直
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公开(公告)号：KR102002234B1
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：KR1020170183162
申请日：2017-12-28
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101741533B1
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：KR1020150162874
申请日：2015-11-19
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
IPC: A61B5/00
CPC classification number: A61B5/00
Abstract: 본발명의실시예에따른신경탐침인터페이스는, 광원; 및일단부는상기광원에연결되고타단부는신경에광 자극을가하기위해탐침대상인신경내부로삽입되는탐침부로마련되며, 코어및 상기코어를부분적으로감싸는클래드를갖는광도파관;을포함하며, 상기탐침부는상기신경으로의삽입을위한원뿔형상의코어부재로형성되며, 상기클래드는상기코어부재를제외한상기광도파관의나머지영역의적어도일부분을감쌀수 있다. 본발명의실시예에따르면, 탐침부의코어부재가클래드가제거된원뿔형상을가짐으로써신경탐침의용이성을확보할수 있으면서도코어부재와접촉되는물질간의굴절률차이에기초하여신경에대한탐침부의접촉유무를정확하게판별할수 있음은물론탐침부의삽입깊이도미세하게조정할수 있다.
Abstract translation: 根据本发明实施例的神经刺激接口包括光源; 和一端具有包层的光学波导被设置为一部分所述探针连接到所述光源和所述另一端被插入到目标探头内的神经对光刺激下降到神经，包围所述芯，并且部分的芯;其中所述探针 并且，包层由用于插入神经的圆锥状的芯材构成，包层除了芯材以外，还可以覆盖光波导的剩余区域的至少一部分。 根据本发明的一个实施例中，芯部构件的探针，还能够通过具有与所述芯构件接触的材料之间的折射率差的基础上被除去具有或不具有神经的探针部分接触包层的圆锥形状，以确保容易性神经探针的 探头的插入深度可以精确调整。
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公开(公告)号：KR100888076B1
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：KR1020080041189
申请日：2008-05-02
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , B81C1/00134 , B81C1/00531 , G02B6/3584 , G02B26/105 , H01L2924/1461
Abstract: A method for manufacturing a micro-mirror using a self-aligned electrode is provided to etch a mirror and a bottom electrode after bonding a micromirror and the bottom electrode. A micromirror manufacturing method utilizing the self-aligned electrode is comprised of a forming a micromirror(S10), a forming the bottom electrode formation(S20), jointing(S30), etching at the same time(S40). A micromirror is formed on the first wafer, and while forming a support. The support is connection member in jointing, and the bottom electrode is formed on the second wafer. The first and the second wafer are jointed in the jointing step, and the mirror and the bottom electrode are etched at the same time.
Abstract translation: 提供了使用自对准电极制造微镜的方法，用于在结合微反射镜和底电极之后蚀刻反射镜和底电极。 利用自对准电极的微镜制造方法包括形成微镜（S10），形成底电极形成（S20），接合（S30），同时蚀刻（S40）。 在第一晶片上形成微镜，同时形成支撑体。 支撑体是接合处的连接构件，底部电极形成在第二晶片上。 第一和第二晶片在接合步骤中接合，同时对反射镜和底部电极进行蚀刻。
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公开(公告)号：KR102160857B1
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：KR1020180085479
申请日：2018-07-23
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
IPC: A61B5/00
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公开(公告)号：KR101844688B1
公开(公告)日：2018-04-02
申请号：KR1020160182284
申请日：2016-12-29
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 이화여자대학교 산학협력단
IPC: G02B3/00
CPC classification number: G02B3/0031 , G02B3/0025 , G02B3/08
Abstract: 본발명은프레넬마이크로렌즈및 그제조방법에관한것으로, 열재흐름공정으로용융된유리동심원(15)과실리콘기판(11)의일부가식각되어형성된실리콘동심원(17)이반복형성된평면구조를포함하고, 그제조방법은건식식각을통해제조한실리콘기판몰드(11)와두 번의열 재흐름공정을이용하여 3차원유리구조를제조함으로써프레넬마이크로렌즈(10)를완성한다. 본발명은프레넬마이크로렌즈를복잡한구조의소자로활용하고자할 때열 재흐름공정을통하여제작하는것이가능하게하고, 프레넬마이크로렌즈를광학 MEMS 소자에적용할수 있는발판을마련할수 있게하는이점이있다.
Abstract translation: 本发明包括一个菲涅耳微透镜并且，yeoljae流动过程中玻璃同心15水果硅衬底11 uiil部分是蚀刻形成的硅同心圆（17）的平面结构伊凡服装形成熔体涉及制造相同的方法 并且其制造方法是通过使用通过干蚀刻和热回流工艺制造两次的硅基板模具11制造三维玻璃结构来完成菲涅耳微透镜10。 本发明是，可以设置阶段，这可以适用于它，和菲涅尔微透镜可以通过ttaeyeol回流工艺，以产生到要采取菲涅尔微透镜的优点的光学MEMS装置点的复杂结构的元件 。
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10.发明授权초소형 마이크로 빔 스플리터와 이의 제조방법 및 초소형 마이크로 빔 스플리터가 포함된 초소형 마이켈슨 간섭계 有权Micromini分束器，其制造方法以及包括micromini分束器的微机械干涉仪
公开(公告)号：KR101753781B1
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：KR1020160028469
申请日：2016-03-09
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 이화여자대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은초소형마이크로빔 스플리터와이의제조방법및 초소형마이크로빔 스플리터가포함된초소형마이켈슨간섭계에관한것으로, 단결정실리콘기판의양면을 45도각도의경사면을가지도록구현하여단결정실리콘기판에수직한방향으로입사되는광을동일한방향의투과광과수직한방향의반사광으로분리할수 있어마이크로빔 스플리터와마이켈슨간섭계를더욱소형화할수 있도록한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种紧凑的迈克尔逊干涉仪包括一个微小的微分束器和制造和细小微分束器的方法，以实现单晶硅衬底的两侧，以便在单晶硅衬底为具有45°的斜坡dogak垂直的一个方向 它可以将入射的光分离成透射光和反射在同一方向的一个方向垂直的光将是一个以进一步降低微分束器的尺寸和迈克尔逊干涉仪。
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