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公开(公告)号：KR101334578B1
公开(公告)日：2013-11-28
申请号：KR1020120050439
申请日：2012-05-11
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단 , 한국기계연구원
IPC: H01L23/12
Abstract: 본 발명은, 개구부를 포함하는 전자기기 패키지에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 센서부 및 센서부를 포함하고 센서부에 대응하는 위치에 형성된 개구부를 포함하는 패키지를 포함하고, 개구부는 복수 개의 홀부 및 비홀부를 포함하고 비홀부에 형성된 나노 구조물을 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020130126362A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：KR1020120050439
申请日：2012-05-11
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단 , 한국기계연구원
IPC: H01L23/12
Abstract: The present invention relates to a package for electronic equipment with opening part. Particularly, the package for electronic equipment includes a sensor part and an opening part including the sensor part and formed in a position corresponding to the sensor part. The opening part includes hole parts and non-hole part and a nanostructure formed on the non-hole part.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有开口部分的电子设备的包装。 特别地，电子设备用包装件包括传感器部件和包括传感器部件并且形成在与传感器部件相对应的位置的开口部分。 开口部包括形成在非孔部上的孔部和非孔部以及纳米结构。
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公开(公告)号：KR100921434B1
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：KR1020080127049
申请日：2008-12-15
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단
CPC classification number: G02B26/0841 , B81C1/00166 , B81C1/00269 , B81C1/00547 , G02B26/105
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a micromirror having inclined electrode using PDMS is provided to increase a driving angle which is available by forming a bottom electrode to be inclined. CONSTITUTION: A method for manufacturing a micromirror having inclined electrode using PDMS is comprised of the steps: forming a bottom electrode to be inclined as a triangle and patterning a mold so that the top of the tangle is split(S110); injecting PDMS(polydimethylsiloxane stamp) into the patterned mold and hardening it(S120); separating hardened PDMS from the patterned mold in order to form the inclined bottom electrode(S130); and depositing the metal layer on the surface of PDMS in order to supply a voltage to the inclined bottom electrode(S140).
Abstract translation: 目的：提供一种使用PDMS制造具有倾斜电极的微镜的方法，以增加通过形成倾斜的底部电极可获得的驱动角度。 构成：使用PDMS制造具有倾斜电极的微镜的方法包括以下步骤：形成倾斜为三角形的底部电极，并且使模具图案化，使得缠结的顶部被分裂（S110）; 将PDMS（聚二甲基硅氧烷印模）注入图案化模具中并使其硬化（S120）; 将硬化的PDMS与图案化的模具分离以形成倾斜的底部电极（S130）; 以及在PDMS的表面上沉积金属层以便向倾斜底部电极提供电压（S140）。
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公开(公告)号：KR100715236B1
公开(公告)日：2007-05-11
申请号：KR1020070015149
申请日：2007-02-14
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단
IPC: G02B27/00
Abstract: 본 발명은 사건이나 사물을 관찰하기 위한 광학 모듈에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 광 시야각(field of view: FOV)을 가지며, 넓은 관찰 영역에서 사건이나 사물을 검출하기 위한 제1 미러와, 제1 미러에 의해 커버되는 넓은 관찰 영역의 일부를 각각 커버하는 복수개의 미러 셀로 구성되고, 각각의 미러 셀이 제1 미러보다 더 긴 초점 거리를 가지며, 제1 미러에 의해 넓은 관찰 영역 중 특정 위치에서 검출된 사건이나 사물을 특정 위치에 대응하는 미러 셀을 사용하여 고해상도로 관찰할 수 있도록 구성된 제2 미러와, 제1 미러 또는 제2 미러에 의해 전달되는 신호로부터 광 신호를 검출하기 위한 광 신호 검출부와, 제1 미러, 제2 미러 및 광 신호 검출부를 그 내부에 구비하고, 제1 미러 및 제2 미러 각각에 대한 개구(aperture)를 더 구비하며, 제1 미러 또는 제2 미러로부터 광 신호 검출부로의 광 경로를 제공하는 보디(body)와, 제1 미러에 의해 검출된 사건이나 사물이 관찰 대상인지 여부를 결정하고, 사건이나 사물이 관찰 대상인 것으로 결정되면 사건이나 사물의 위치를 파악하며, 이에 대응하여 제1 미러 및 제2 미러를 제어하는 제어부를 포함하되, 제어부가 제2 미러를 구성하는 미러 셀 중에서 제1 미러에 의해 검출된 사건이나 사물의 특정 위치에 대응하는 미러 셀에 대해서만 광 경로를 제공하고 나머지 미러 셀에 대해서는 광 경로를 차단하도록 제어하는 광학 모듈에 관한 것이다.
본 발명의 광학 모듈에 따르면, 광 시야각을 가지며 넓은 관찰 영역에서 사 건이나 사물을 검출하기 위한 제1 미러와, 제1 미러에 의해 커버되는 넓은 관찰 영역의 일부를 각각 커버하는 복수개의 미러 셀로 구성되고, 각각의 미러 셀이 제1 미러보다 더 긴 초점 거리를 가지며, 제1 미러에 의해 넓은 관찰 영역 중 특정 위치에서 검출된 사건이나 사물을 특정 위치에 대응하는 미러 셀을 사용하여 고해상도로 관찰할 수 있도록 구성된 제2 미러를 포함함으로써 사건이나 사물을 효과적으로 관찰할 수 있다.
광학 모듈, 제1 미러, 광 시야각, 제2 미러, 미러 셀, 특정 위치, 제어부, 광 경로, 고해상도, 초점 거리, 아날로그 미러, 디지털 미러, 마이크로 전기 기계 장치(MEMS), 광 신호 검출부, 멀티 애노드 광전자 증배관(MAPMT), 시야각(FOV), 보디, 개구, 해상도Abstract translation: 本发明涉及一种光学模块，其用于观察事件或对象，并且更具体地涉及一种广视角（视野：FOV）为具有：一第一反射镜，用于检测在宽观察区域中的事件或对象时，第一 每个反射镜单元具有比第一反射镜更长的焦距，并且第一反射镜被布置成通过第一反射镜在宽观察区域中的特定一个处检测， 可以以高分辨率观察的事件或对象和用于检测从由第二反射镜和第一反射镜或配置为使用该特定位置的反射镜单元中的第二反射镜发送的信号的光信号的光信号检测器 第一反射镜，第二反射镜和光学信号检测单元，并且还包括用于第一反射镜和第二反射镜中的每一个的孔径， 主体，用于提供从第二反射镜到光学信号检测单元的光路;以及第二反射镜，用于确定由第一反射镜检测到的事件或物体是否是要观察的物体， 识别的位置，对应于权利要求1项包括：控制单元，用于控制反射镜和第二反射镜，控制对应于所述事件或物体在镜单元由第一反射镜检测出构成第二反射镜的特定位置 光学模块控制光路仅提供给要打开的镜像单元，并将光路阻挡到剩余的镜像单元。
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公开(公告)号：KR100894526B1
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：KR1020080037471
申请日：2008-04-22
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단
IPC: H03F1/32
CPC classification number: H03F1/34 , H03F1/0222 , H03F1/3211
Abstract: A high speed high voltage linearly amplifying circuit is provided to rapidly operate in the action zone of the more wide range. The linearly amplifying circuit(100) comprises the commonness emitter stage(110), the push-pull stage(120), and the feed-back control stage(130), the bias stage providing the bias current by the current mirror. The commonness emitter stage plays a role of amplifying the input signal by the common emitter mode. In the commonness emitter stage, the output impedance includes the active load and biasing resistance. The push-pull stage outputs the signal having a high slew rate by the push-pull mode. The feed-back control stage controls the signal outputted in the push-pull stage.
Abstract translation: 提供了一种高速高压线性放大电路，用于在较宽范围的动作区域中快速操作。 线性放大电路（100）包括普通发射极级（110），推挽级（120）和反馈控制级（130），偏置级由电流镜提供偏置电流。 普通发射极级通过共发射极模式起到放大输入信号的作用。 在普通发射极级中，输出阻抗包括有源负载和偏置电阻。 推挽级通过推挽模式输出具有高压摆率的信号。 反馈控制级控制在推挽级中输出的信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100888080B1
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：KR1020080037474
申请日：2008-04-22
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B2201/04 , G02B6/357 , G02B17/002 , H01L21/77
Abstract: A method for manufacturing a micro-mirror array is provided to joint a mirror plate and a driving unit and form the driving unit while the driving unit and the mirror plate are joined, so a crack is not generated on the mirror plate. A micromirror array manufacturing method is comprised of the steps: forming a comb electrode(S10), a forming a mirror plate(S20), bonding a wafer(S30), finishing the comb electrode formation(S40), and separating the mirror plate(S50). The comb electrode is formed by using the multi-step etch height and the comb-electrode for the driving part is formed on the first wafer. The mirror plate is formed on the second wafer, and the first wafer and the second wafer are joined. The comb electrode is formed while first wafer and the second wafer are joined.
Abstract translation: 提供一种制造微反射镜阵列的方法，用于连接镜板和驱动单元，并在驱动单元和镜板接合的同时形成驱动单元，从而在镜板上不产生裂纹。 微镜阵列制造方法包括以下步骤：形成梳状电极（S10），形成镜板（S20），接合晶片（S30），完成梳状电极形成（S40），以及分离镜板（ S50）。 通过使用多步蚀刻高度形成梳状电极，并且用于驱动部分的梳状电极形成在第一晶片上。 镜板形成在第二晶片上，第一晶片和第二晶片接合。 在第一晶片和第二晶片接合时形成梳状电极。
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公开(公告)号：KR100759106B1
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：KR1020070015157
申请日：2007-02-14
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B7/0048 , B81B7/02 , B81B2201/04 , G02B6/357
Abstract: A method for bonding a mirror plate with an electrostatic driving unit in a MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) mirror is provided to decrease breakage of the electrostatic driving unit by safely bonding the mirror plate with the electrostatic driving unit through a supporting post and then etching the mirror plate over an area larger than that of the supporting post. In an MEMS mirror having a mirror plate, a driving unit(310) actuating the mirror plate by electrostatic force, and a substrate, which are aligned in order, a method for bonding the mirror plate with the electrostatic driving unit in the MEMS mirror comprises the steps of: leaving a supporting post(320) of a first area in the center of the mirror in order to contact the driving unit to the substrate, during an etching process of the driving unit; patterning a pedestal of a second area wider than the first area, on the bottom surface of the mirror plate; bonding the mirror plate to the driving unit by using the pedestal; and etching the mirror plate in a third area wider than the first area and smaller than the second area, to remove the supporting post.
Abstract translation: 提供了一种用于在MEMS（微电子机械系统）镜中将静电驱动单元结合的方法，以通过支撑柱将静电驱动单元安全地粘贴在一起，以减少静电驱动单元的损坏， 然后在比支撑柱大的区域上蚀刻镜板。 在具有镜板的MEMS反射镜中，通过静电力驱动镜板的驱动单元（310）和依次对准的基板在MEMS反射镜中将镜板与静电驱动单元接合的方法包括： 步骤：在驱动单元的蚀刻过程期间，将第一区域的支撑柱（320）留在反射镜的中心，以便将驱动单元接触到基板; 在所述镜板的底表面上形成比所述第一区域宽的第二区域的基座; 通过使用底座将镜板连接到驱动单元; 并且在比第一区域宽并且小于第二区域的第三区域中蚀刻镜板，以移除支撑柱。
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公开(公告)号：KR100715235B1
公开(公告)日：2007-05-11
申请号：KR1020070011663
申请日：2007-02-05
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 사건이나 사물을 관찰하기 위한 광학 모듈에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 광 시야각(field of view: FOV)을 가지며, 넓은 관찰 영역에서 사건이나 사물을 검출하기 위한 제1 미러와, 제1 미러보다 더 긴 초점 거리를 가지며, 제1 미러에 의해 검출된 사건이나 사물을 고해상도로 관찰하기 위한 적어도 하나의 제2 미러와, 제1 미러 또는 적어도 하나의 제2 미러에 의해 전달되는 신호로부터 광 신호를 검출하기 위한 광 신호 검출부와, 제1 미러, 적어도 하나의 제2 미러 및 광 신호 검출부를 그 내부에 구비하고, 제1 미러 및 적어도 하나의 제2 미러 각각에 대한 개구(aperture)를 더 구비하며, 제1 미러 또는 적어도 하나의 제2 미러로부터 광 신호 검출부로의 광 경로를 제공하는 보디(body)를 포함하는 광학 모듈에 관한 것이다.
본 발명의 광학 모듈에 따르면, 광 시야각을 가지며 넓은 관찰 영역에서 사건이나 사물을 검출하기 위한 제1 미러와 제1 미러보다 더 긴 초점 거리를 가지며 제1 미러에 의해 검출된 사건이나 사물을 고해상도로 관찰하기 위한 적어도 하나의 제2 미러를 포함함으로써 사건이나 사물을 효과적으로 관찰할 수 있다.
광학 모듈, 제1 미러, 광 시야각, 제2 미러, 고해상도, 초점 거리, 아날로그 미러, 디지털 미러, 마이크로 전기 기계 장치(MEMS), 광 신호 검출부, 멀티 애노드 광전자 증배관(MAPMT), 시야각(FOV), 보디, 개구, 해상도Abstract translation: 本发明涉及一种光学模块，其用于观察事件或对象，并且更具体地涉及一种广视角（视野：FOV）为具有：一第一反射镜，用于检测在宽观察区域中的事件或对象时，第一 它具有较长的焦距比镜，和至少用于观察通过在高分辨率的第一反射镜检测到的事件或对象的第二反射镜，第一反射镜或从由第二反射镜传递的信号光中的至少一个 第一反射镜，至少一个第二反射镜和光学信号检测单元，并且具有用于第一反射镜和至少一个第二反射镜中的每一个的孔径， 并且提供从第一反射镜或至少一个第二反射镜到光学信号检测器的光路的主体。
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公开(公告)号：KR100782555B1
公开(公告)日：2007-12-06
申请号：KR1020070017705
申请日：2007-02-22
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단
Abstract: A method for forming addressing lines in a MEMS mirror array is provided to improve fill-factor of the MEMS mirror array by reducing a dead area due to the addressing lines. A method for forming addressing lines in a MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) mirror array includes the steps of: preparing a space to arrange the addressing lines by etching a substrate under the MEMS mirror array; arranging the addressing lines to be bonded with a driving electrode of a specific MEMS mirror cell to protrude on a board and the addressing lines to be bonded with a driving electrode of the other MEMS mirror cell to pass under the specific MEMS mirror cell in the prepared space; and bonding the driving electrode of each MEMS mirror cell forming the MEMS mirror array with the corresponding addressing line.
Abstract translation: 提供了一种用于在MEMS反射镜阵列中形成寻址线的方法，以通过减少由于寻址线引起的死区来改善MEMS反射镜阵列的填充因子。 一种用于在MEMS（微机电系统）镜阵列中形成寻址线的方法包括以下步骤：通过蚀刻MEMS反射镜阵列下的衬底来制备用于布置寻址线的空间; 将要与特定MEMS镜单元的驱动电极接合的寻址线布置在板上，并且要与另一MEMS镜单元的驱动电极接合的寻址线在所制备的特定MEMS镜电池下通过 空间; 以及将形成MEMS反射镜阵列的每个MEMS镜单元的驱动电极与相应的寻址线接合。
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公开(公告)号：KR100767055B1
公开(公告)日：2007-10-15
申请号：KR1020070011749
申请日：2007-02-05
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단
CPC classification number: G02B26/0833 , G02B6/3518 , G02B17/0621 , G02B26/0841
Abstract: An optical module for observing an event or an object, having a plurality of optical module blocks is provided to efficiently observe the event or object by having at least one second mirror for observing the event or object, which is detected by a first mirror, with a high resolution. An optical module for observing an event or object includes first and second optical module blocks. In the first optical module block, a first mirror(112) has a wide field of view, and observes the event or object in a wide observation region. At least one second mirror(113) has a longer focus distance than the first mirror(112), and observes the event or object, which is detected by the first mirror(112) with a high resolution. A first optical signal detection unit(114) detects an optical signal from the signal which is transmitted by the first mirror(112) or the at least one second mirror(113). A first body(116) has the first mirror(112), the at least one second mirror(113), and the first optical signal detection unit(114). The first body(116) has apertures for the first mirror(112) and the second mirror(113), and provides an optical path from the first mirror(112) or the second mirror(113) to the first optical signal detection unit(114). In the second optical module bock, a third mirror(122) has a wide field of view, and observes an event or an object in a wide observation region. At least one fourth mirror(123) has a longer focus distance than the third mirror(122), and observes the event or object, which is detected by the third mirror(122) with a high resolution. A second optical signal detection unit(124) detects an optical signal from the signal which is transmitted by the third mirror(122) or the at least one fourth mirror(123). A second body(126) has the third mirror(122), the at least one fourth mirror(123), and the second optical signal detection unit(124). The second body(126) has apertures for the third mirror(122) and the fourth mirror(123), and provides an optical path from the third mirror(122) or the fourth mirror(123) to the second optical signal detection unit(124).
Abstract translation: 提供了一种用于观察事件或物体的光学模块，具有多个光学模块块，以通过具有至少一个用于观察第一反射镜检测到的事件或物体的第二反射镜来有效地观察事件或物体， 高分辨率。 用于观察事件或物体的光学模块包括第一和第二光学模块块。 在第一光学模块块中，第一反射镜（112）具有宽视野，并且在宽观察区域中观察事件或物体。 至少一个第二反射镜（113）具有比第一反射镜（112）更长的焦距，并观察由第一反射镜（112）以高分辨率检测的事件或物体。 第一光信号检测单元（114）根据由第一反射镜（112）或至少一个第二反射镜（113）传输的信号检测光信号。 第一主体（116）具有第一反射镜（112），至少一个第二反射镜（113）和第一光信号检测单元（114）。 第一主体（116）具有用于第一反射镜（112）和第二反射镜（113）的孔，并且提供从第一反射镜（112）或第二反射镜（113）到第一光信号检测单元 114）。 在第二光学模块块中，第三反射镜（122）具有宽视场，并观察宽观察区域中的事件或物体。 至少第四镜（123）具有比第三镜（122）更长的对焦距离，并观察由第三镜（122）以高分辨率检测的事件或物体。 第二光信号检测单元（124）根据由第三反射镜（122）或至少一个第四镜（123）发射的信号检测光信号。 第二主体（126）具有第三反射镜（122），至少一个第四反射镜（123）和第二光信号检测单元（124）。 第二主体（126）具有用于第三反射镜（122）和第四反射镜（123）的孔，并且提供从第三反射镜（122）或第四反射镜（123）到第二光信号检测单元 124）。
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