公开(公告)号：WO2022225231A1

公开(公告)日：2022-10-27

申请号：PCT/KR2022/005024

申请日：2022-04-07

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 김준서 ,  김준우

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/56 ,  H01J37/34

Abstract: 본 개시의 마그네트론 스퍼터링 장치는, 내부가 진공 상태인 챔버, 챔버 내부로 아르곤(Ar) 가스를 공급하는 가스 공급관, 챔버 내부에 마련되며, 스퍼터링 타겟 및 스퍼터링 타겟 하단에 배치되어 자기장을 형성하는 자성체를 포함하는 스퍼터링 헤드, 스퍼터링 타겟으로 전류를 제공하여 플라즈마를 형성하는 전원 공급 장치, 챔버 외부로부터 스퍼터링 헤드로 순환하는 냉매가 흐르는 냉매관을 포함하여, 스퍼터링 헤드를 극저온 냉각하는 냉각 장치 및 냉매관 중 챔버 외부에 위치한 영역을 감싸며, 냉매관과 연통하는 냉매 주입구 및 냉매 배출구를 포함하는 스퍼터링 쉴드를 포함하고, 스퍼터링 쉴드는 챔버와 연통하는 연통구를 포함하여, 내부가 진공 상태로 형성되어, 냉매관은, 챔버 외부에 위치한 영역이 진공 상태인 스퍼터링 쉴드의 내부에 배치되고, 스피터링 쉴드와 스피터링 헤드 사이에 위치한 영역이 진공 상태인 챔버의 내부에 배치되어, 이중 진공 구조에 배치된 상태로 냉매를 전달할 수 있다.

公开(公告)号：KR101846477B1

公开(公告)日：2018-04-09

申请号：KR1020170054241

申请日：2017-04-27

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 이현준 ,  김준서 ,  김준우 ,  노희연 ,  임성준 ,  최병대

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/268 ,  H01L21/263 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L21/324 ,  H01L21/2636 ,  H01L21/268 ,  H01L29/786

Abstract: 국소열처리를통한트랜지스터특성복원방법을제공한다. 국소열처리를통한트랜지스터특성복원방법은손상된트랜지스터소자가내재된전자장치를준비하는단계및 이때의전자장치중 상기손상된트랜지스터소자에레이저를조사하는단계를포함하고, 이때의레이저조사에따른열처리를통하여상기손상된트랜지스터소자의특성을복원하는것을특징으로한다.