公开(公告)号：KR100485127B1

公开(公告)日：2005-04-25

申请号：KR1020010077395

申请日：2001-12-07

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 조동일 ,  구치완 ,  정일우 ,  김성욱 ,  이상철

IPC: B81B7/00

Abstract: 본 발명은 MEMS(MicroElectroMechanical Systems) 공정으로 제조되는 마이크로미러에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 "휨 빔"을 가지는 콤-드라이브 수직 구동 구조의 마이크로미러는, 미러판과 서브스트레이트 기판을 연결하는 부분이 서브스트레이트 기판과 직접 연결되지 않고, "휨 빔"에 의하여 연결되며, 미러판의 한쪽에는 상기 "휨 빔"과 연결되어 구동되는 단일 세트의 이동 콤의 콤-핑거를 구비한다. 본 발명에 의한 마이크로미러에서는 콤-핑거가 구동되어 미러판을 움직이는 경우에도 미러판이 평평함을 유지하여 무한한 곡률 반경을 가지게 되어 양질의 경면(mirror surface)을 제공한다. 본 발명에 의한 마이크로미러는 미러판의 두께가 얇고 미러판의 크기가 커져도 곡률 반경에 영향을 주지 않아서 양질의 경면을 제공한다. 본 발명에서는 또한, "휨 빔"을 가지는 수직 콤-드라이브 구동 방식의 마이크로미러 구조를 SOI 웨이퍼에 구현하는 경우, 복수개의 마이크로미러를 배치하는 마이크로미러 어레이를 제시한다.

公开(公告)号：KR1020030047019A

公开(公告)日：2003-06-18

申请号：KR1020010077387

申请日：2001-12-07

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 조동일 ,  이상철 ,  김성욱 ,  정일우 ,  구치완

IPC: G02B26/08

Abstract: PURPOSE: A micro mirror and a fabricating method thereof are provided to drive effectively the micro mirror under a low voltage by forming the thickness of a mirror plate and a twist beam thinner than the thickness of a comb finger. CONSTITUTION: A micro mirror has a vertical comb-drive structure to insert comb fingers(14,15) of a mobile comb between comb fingers of a fixing comb when the mobile comb having a mirror plate(11) is moved vertically. The mobile comb includes one or more twist axis as a rotating axis of the mirror plate when the mobile comb having the mirror plate is moved vertically. The mirror plate of the mobile comb, a twist beam(13) of the twist axis, and the comb fingers of the mobile comb have different thickness, respectively. Each thickness of the mirror plate and the twist beam is thinner than the thickness of the comb fingers of the mobile comb.

Abstract translation: 目的：提供一种微反射镜及其制造方法，通过形成比光梳厚度更薄的镜板和扭曲光束，在低电压下有效驱动微镜。 构成：当具有镜板（11）的移动梳子垂直移动时，微镜具有垂直的梳状驱动结构，以将梳齿（14,15）插入固定梳的梳齿之间。 当具有镜板的移动梳子垂直移动时，移动梳包括一个或多个扭转轴作为镜板的旋转轴。 移动梳的镜板，扭转轴的扭梁（13）和移动梳的梳指分别具有不同的厚度。 镜板和扭梁的每个厚度都比移动梳的梳齿的厚度薄。

公开(公告)号：KR100438154B1

公开(公告)日：2004-07-02

申请号：KR1020010077387

申请日：2001-12-07

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 조동일 ,  이상철 ,  김성욱 ,  정일우 ,  구치완

IPC: G02B26/08

Abstract: PURPOSE: A micro mirror and a fabricating method thereof are provided to drive effectively the micro mirror under a low voltage by forming the thickness of a mirror plate and a twist beam thinner than the thickness of a comb finger. CONSTITUTION: A micro mirror has a vertical comb-drive structure to insert comb fingers(14,15) of a mobile comb between comb fingers of a fixing comb when the mobile comb having a mirror plate(11) is moved vertically. The mobile comb includes one or more twist axis as a rotating axis of the mirror plate when the mobile comb having the mirror plate is moved vertically. The mirror plate of the mobile comb, a twist beam(13) of the twist axis, and the comb fingers of the mobile comb have different thickness, respectively. Each thickness of the mirror plate and the twist beam is thinner than the thickness of the comb fingers of the mobile comb.

Abstract translation: 目的：提供一种微反射镜及其制造方法，通过形成比梳齿厚度薄的镜板和扭梁的厚度，以在低电压下有效地驱动微反射镜。 组成：微反射镜具有垂直梳状驱动结构，当具有反射镜板（11）的可动梳子垂直移动时，将梳状梳状物的梳齿（14,15）插入固定梳的梳齿之间。 当具有镜板的可动梳子垂直移动时，可动梳子包括一个或多个扭转轴线作为镜板的旋转轴线。 可动梳子的镜板，扭转轴的扭转梁（13）和可动梳子的梳齿分别具有不同的厚度。 镜板和扭梁的每个厚度都比可动梳子的梳齿的厚度薄。

公开(公告)号：KR1020030047024A

公开(公告)日：2003-06-18

申请号：KR1020010077395

申请日：2001-12-07

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 조동일 ,  구치완 ,  정일우 ,  김성욱 ,  이상철

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B2201/04 ,  B81B2203/0136

Abstract: PURPOSE: A micro mirror is provided to form a high-efficiency mirror surface in the micro mirror by maintaining a mirror plate in a planar state even if the mirror plate is moved by a comb-finger. CONSTITUTION: A micro mirror includes a mirror plate(11). A bending beam(13) is connected to the mirror plate(11). The bending beam(13) is connected to a supporter(12) in order to support the mirror plate(11). A comb-finger(14) is provided at one side of the mirror plate(11). The comb-finger(14) is connected to the bending beam(13). That is, the bending beam(13) and the comb-finger(14) are positioned in the same direction with respect to the mirror plate(11) so that the mirror plate(11) is maintained in a planar state even if the mirror plate(11) is moved by means of the comb-finger(14).

Abstract translation: 目的：提供微镜，通过将镜板维持在平面状态，即使通过梳指移动镜板，也能在微反射镜中形成高效的镜面。 构成：微镜包括镜板（11）。 弯梁（13）连接到镜板（11）。 弯曲梁（13）连接到支撑件（12）以便支撑镜板（11）。 梳镜（14）设在镜板（11）的一侧。 梳指（14）连接到弯梁（13）。 也就是说，弯梁（13）和梳指（14）相对于镜板（11）位于相同的方向上，使得即使反射镜（11）也可以将镜板（11）保持在平面状态 板（11）借助梳指（14）移动。