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公开(公告)号：KR1020070106358A
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：KR1020060046517
申请日：2006-05-24
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/3086 , B81B7/0003 , H01L21/30604 , H01L21/3088
Abstract: A method of forming a micro structure with vertical step height on a silicon substrate is provided to float the micro structure by forming the vertical step height and subjecting the substrate to wet etching. A first mask layer(120) is formed on a single crystal silicon substrate, and then a second mask layer is formed on the substrate. The substrate is etched by using the first or second mask layer. The mask layer is removed, and the substrate is etched by using the first mask layer to form a trench. A protective layer(140) is formed on a sidewall of the trench. The substrate is further etched by using the first mask and the protective layer as a mask. The substrate is subjected to wet etching to form a cavity on a bottom surface of the trench.
Abstract translation: 提供一种在硅衬底上形成具有垂直台阶高度的微结构的方法，以通过形成垂直台阶高度并使衬底经受湿蚀刻来浮动微结构。 在单晶硅衬底上形成第一掩模层（120），然后在衬底上形成第二掩模层。 通过使用第一或第二掩模层来蚀刻衬底。 去除掩模层，并且通过使用第一掩模层来蚀刻衬底以形成沟槽。 在沟槽的侧壁上形成保护层（140）。 通过使用第一掩模和保护层作为掩模进一步蚀刻衬底。 对衬底进行湿蚀刻以在沟槽的底表面上形成空腔。
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公开(公告)号：KR100679714B1
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：KR1020050011392
申请日：2005-02-07
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: A61B10/00
CPC classification number: A61B10/06 , A61B10/0233 , A61B17/205 , A61B2010/0225 , A61B2010/045 , A61B2017/00345 , A61B2017/320064
Abstract: 본 발명은 조직 채취에 이용되는 생체 검사 기구인 마이크로 스파이크에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 단결정 실리콘으로 제작한 3차원 구조의 마이크로 스파이크로서, 조직 채취 시 최소 침습으로 수검자의 통증을 최소화 하면서도 검사에 필요한 충분한 양의 조직을 채취할 수 있는 마이크로 스파이크 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에서는, 조직 채취 시 조직에 삽입하였다가 빼내는 단순한 과정만으로 검사하기에 충분한 양의 조직표본을 채취할 수 있는 마이크로 스파이크의 구조를 제시하는 한편, 단결정 실리콘 기판에 희생층 몸체 마이크로머시닝(SBM; Sacrificial Bulk Micromachining) 미세 가공 방법을 적용하여 3차원 구조의 마이크로 스파이크를 제작하는 방법을 제공한다.
본 발명에서 제공하는 3차원 구조의 마이크로 스파이크는, 조직 채취 시 최소 침습으로 수검자의 통증 및 위험성을 최소화 할 수 있으며, 기존의 생체검사에 이용되는 내시경 등과 같은 시술기구 및 집게 등의 장착 기구와 용이하게 결합하거나 분리시킬 수 있다.
3차원 마이크로 스파이크, SBM미세 가공 방법, 돌출부, 조직채취-
公开(公告)号：KR100576219B1
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：KR1020040011624
申请日：2004-02-21
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: A61B17/32
Abstract: 본 발명은 마이크로머시닝(micro-machining) 기술을 이용하여 단결정 실리콘의 결정면을 가공한 의료용 미세 절개 도구 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 의료용 미세 절개 도구의 제조방법은 상면이 {111} 면을 가리키고 측면이 {211} 면을 가리키는 단결정 실리콘 시편을 준비하는 단계;와, 상기 단결정 실리콘 시편을 이방성 습식 식각하여 상기 상면과 교차되는 {110} 면을 노출시켜, 상기 {111} 면과 {110} 면이 교차하는 예각의 모서리를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 특징에 따르면, {111} 단결정 실리콘 웨이퍼를 이방성 습식 식각하여 {111} 면에 비해 상대적으로 식각 속도가 빠른 {110} 면을 노출시켜 {111} 면과 {110} 면을 교차시킴으로 예각(약 35.2°)의 의료용 미세 절개 도구를 형성할 수 있게 된다.
단결정 실리콘, 블레이드, 결정면, 면지수-
公开(公告)号：KR100529973B1
公开(公告)日：2005-11-22
申请号：KR1020040011686
申请日：2004-02-21
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: A61M5/32
Abstract: 본 발명은 유자철선 구조의 단결정 실리콘 마이크로니들 및 이를 이용한 생체 검사 방법과 약물 주입 방법을 개시한다. 이에 의하면, 마이크로니들은 단결정 실리콘 재질로 구성되며, 몸체부와, 상기 몸체부의 측면에 1개 이상 일체로 연장된 연장부와, 상기 연장부의 양측면에 일체로 돌출된 돌출부를 포함하여 구성된다. 상기 몸체부의 표면에는 약물을 저장하기 위한 요홈 형상의 약물 저장부가 형성된다. 상기 연장부와 상기 몸체부의 내부에는 상기 약물 저장부에 연통하도록 유체 통로가 형성된다. 상기 돌출부는 생체로부터 조직의 표본을 채취하기 용이하도록 날개 형상, 반원형, 사각형, 삼각형 등의 다양한 형상을 이룬다. 따라서, 상기 마이크로니들은 상기 연장부를 생체 검사를 위한 조직에 삽입한 후 상기 조직으로부터 분리시키는 간단한 과정을 실시함으로써 상기 조직의 표본을 상기 돌출부에 의해 용이하게 채취할 수 있으므로 생체 검사 과정을 단순화시킬 수가 있다. 또한 상기 약물 저장부의 약물을 상기 유체 통로를 거쳐 상기 조직에 주입할 수가 있으므로 상기 조직의 병변을 치료할 수가 있다.
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公开(公告)号：KR100817813B1
公开(公告)日：2008-03-31
申请号：KR1020060046517
申请日：2006-05-24
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 단결정 실리콘 기판 상에 상이한 단차를 갖는 미세 구조물을 형성하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 수직 단차를 형성한 후에 습식 식각을 수행하여, 상이한 단차를 갖는 미세 구조물을 바닥면으로부터 부유시켜 형성한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060090160A
公开(公告)日：2006-08-10
申请号：KR1020050106098
申请日：2005-11-07
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
CPC classification number: A61B10/0233 , A61B10/04 , A61B10/06
Abstract: 본 발명은 생체 내부에 존재하는 병변 세포 조직의 표본을 채취하는 데에 사용하는 카테터(Catheter)에 관한 것으로서, 특히, 마이크로 생체검사 도구(micro biopsy tools)를 자유롭게 결합하거나 분리할 수 있고, 조직 채취 시 병변부위에 생체검사 도구를 삽입하였다가 빼내는 간단한 조작만으로 검사에 필요한 조직을 채취할 수 있도록 구성된 카테터에 관한 것이다.
본 발명에 의한 카테터는, 최소 침습으로 수검자의 진단과 치료에 필요한 조직을 채취하는 것이 가능하고, 이에 따라 조직 채취에 있어서 수검자의 고통을 경감시키며 채취부위에 천공이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 카테터는 생체검사 도구를 용이하게 착탈시킬 수 있으므로, 생체검사 도구만을 계속 교체해 가면서 반영구적으로 사용할 수 있다.
카테터, 조직채취, 생체검사, 최소 침습-
公开(公告)号：KR100775529B1
公开(公告)日：2007-11-15
申请号：KR1020050106098
申请日：2005-11-07
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
CPC classification number: A61B10/0233 , A61B10/04 , A61B10/06
Abstract: 본 발명은 생체 내부에 존재하는 병변 세포 조직의 표본을 채취하는 데에 사용하는 카테터(Catheter)에 관한 것으로서, 특히, 마이크로 생체검사 도구(micro biopsy tools)를 자유롭게 결합하거나 분리할 수 있고, 조직 채취 시 병변부위에 생체검사 도구를 삽입하였다가 빼내는 간단한 조작만으로 검사에 필요한 조직을 채취할 수 있도록 구성된 카테터에 관한 것이다.
본 발명에 의한 카테터는, 최소 침습으로 수검자의 진단과 치료에 필요한 조직을 채취하는 것이 가능하고, 이에 따라 조직 채취에 있어서 수검자의 고통을 경감시키며 채취부위에 천공이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 카테터는 생체검사 도구를 용이하게 착탈시킬 수 있으므로, 생체검사 도구만을 계속 교체해 가면서 반영구적으로 사용할 수 있다.
카테터, 조직채취, 생체검사, 최소 침습-
公开(公告)号：KR1020060090476A
公开(公告)日：2006-08-11
申请号：KR1020050011392
申请日：2005-02-07
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: A61B10/00
CPC classification number: A61B10/06 , A61B10/0233 , A61B17/205 , A61B2010/0225 , A61B2010/045 , A61B2017/00345 , A61B2017/320064
Abstract: 본 발명은 조직 채취에 이용되는 생체 검사 기구인 마이크로 스파이크에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 단결정 실리콘으로 제작한 3차원 구조의 마이크로 스파이크로서, 조직 채취 시 최소 침습으로 수검자의 통증을 최소화 하면서도 검사에 필요한 충분한 양의 조직을 채취할 수 있는 마이크로 스파이크 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에서는, 조직 채취 시 조직에 삽입하였다가 빼내는 단순한 과정만으로 검사하기에 충분한 양의 조직표본을 채취할 수 있는 마이크로 스파이크의 구조를 제시하는 한편, 단결정 실리콘 기판에 희생층 몸체 마이크로머시닝(SBM; Sacrificial Bulk Micromachining) 미세 가공 방법을 적용하여 3차원 구조의 마이크로 스파이크를 제작하는 방법을 제공한다.
본 발명에서 제공하는 3차원 구조의 마이크로 스파이크는, 조직 채취 시 최소 침습으로 수검자의 통증 및 위험성을 최소화 할 수 있으며, 기존의 생체검사에 이용되는 내시경 등과 같은 시술기구 및 집게 등의 장착 기구와 용이하게 결합하거나 분리시킬 수 있다.
3차원 마이크로 스파이크, SBM미세 가공 방법, 돌출부, 조직채취-
公开(公告)号：KR1020050083089A
公开(公告)日：2005-08-25
申请号：KR1020040011686
申请日：2004-02-21
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: A61M5/32
Abstract: 본 발명은 유자철선 구조의 단결정 실리콘 마이크로니들 및 이를 이용한 생체 검사 방법과 약물 주입 방법을 개시한다. 이에 의하면, 마이크로니들은 단결정 실리콘 재질로 구성되며, 몸체부와, 상기 몸체부의 측면에 1개 이상 일체로 연장된 연장부와, 상기 연장부의 양측면에 일체로 돌출된 돌출부를 포함하여 구성된다. 상기 몸체부의 표면에는 약물을 저장하기 위한 요홈 형상의 약물 저장부가 형성된다. 상기 연장부와 상기 몸체부의 내부에는 상기 약물 저장부에 연통하도록 유체 통로가 형성된다. 상기 돌출부는 생체로부터 조직의 표본을 채취하기 용이하도록 날개 형상, 반원형, 사각형, 삼각형 등의 다양한 형상을 이룬다. 따라서, 상기 마이크로니들은 상기 연장부를 생체 검사를 위한 조직에 삽입한 후 상기 조직으로부터 분리시키는 간단한 과정을 실시함으로써 상기 조직의 표본을 상기 돌출부에 의해 용이하게 채취할 수 있으므로 생체 검사 과정을 단순화시킬 수가 있다. 또한 상기 약물 저장부의 약물을 상기 유체 통로를 거쳐 상기 조직에 주입할 수가 있으므로 상기 조직의 병변을 치료할 수가 있다.
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公开(公告)号：KR1020050083077A
公开(公告)日：2005-08-25
申请号：KR1020040011624
申请日：2004-02-21
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: A61B17/32
Abstract: 본 발명은 마이크로머시닝(micro-machining) 기술을 이용하여 단결정 실리콘의 결정면을 가공한 의료용 미세 절개 도구 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 의료용 미세 절개 도구의 제조방법은 상면이 {111} 면을 가리키고 측면이 {211} 면을 가리키는 단결정 실리콘 시편을 준비하는 단계;와, 상기 단결정 실리콘 시편을 이방성 습식 식각하여 상기 상면과 교차되는 {110} 면을 노출시켜, 상기 {111} 면과 {110} 면이 교차하는 예각의 모서리를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 특징에 따르면, {111} 단결정 실리콘 웨이퍼를 이방성 습식 식각하여 {111} 면에 비해 상대적으로 식각 속도가 빠른 {110} 면을 노출시켜 {111} 면과 {110} 면을 교차시킴으로 예각(약 35.2°)의 의료용 미세 절개 도구를 형성할 수 있게 된다.
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