公开(公告)号：KR1020040092608A

公开(公告)日：2004-11-04

申请号：KR1020030026101

申请日：2003-04-24

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 국양 ,  이진환 ,  이성준 ,  김성헌 ,  서정필 ,  박용대

IPC: G02B21/00

Abstract: PURPOSE: An atomic force microscope head is provided to remove errors due to movement of mirror or a gradient of a sample and provide the scanning without non-linearity by dividing one directional scanner to two different directional scanners. CONSTITUTION: A laser source(12) is used for generating laser beams. A prism is used for refracting the laser beams. A cantilever(14) includes a needle and reflects the light. One or more mirror(15) are used for reflecting the light reflected from the cantilever. A detector(16) is used for measuring an angle of the reflected light of the mirror. A laser control bar(11) is used for controlling a convergent position of the cantilever. A mirror control bar(13) is used for controlling a position of the mirror. A scanner is used for correcting a variation of the cantilever.

Abstract translation: 目的：提供原子力显微镜头以消除由于镜子的移动或样品的梯度引起的错误，并且通过将一个定向扫描器分成两个不同的定向扫描器来提供无非线性的扫描。 构成：激光源（12）用于产生激光束。 棱镜用于折射激光束。 悬臂（14）包括针并反射光。 一个或多个反射镜（15）用于反射从悬臂反射的光。 检测器（16）用于测量反射镜的反射光的角度。 激光控制杆（11）用于控制悬臂的收敛位置。 镜子控制杆（13）用于控制镜子的位置。 扫描器用于校正悬臂的变化。

公开(公告)号：KR100496457B1

公开(公告)日：2005-06-23

申请号：KR1020030026101

申请日：2003-04-24

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 국양 ,  이진환 ,  이성준 ,  김성헌 ,  서정필 ,  박용대

IPC: G02B21/00

Abstract: 본 발명은 SPM(Scanning Probe Microscope)장치의 레이저와 PSPD(position sensitive photodiode detector)사이의 정렬에 관한 장치의 구조 및 방법에 관한 것으로서, 시편 표면의 기울기에 따라 PSPD 신호의 기준값이 변하는 현상을 없앰으로써 높은 분해능을 가능하게 하는 장비의 구조적인 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 기존의 레이저 반사거울의 기하학적인 배치 및 방법을 기존의 방법(고정거울1개, 움직거울1개)과는 다르게 변형하여 2개의 거울이 동시에 움직이면서 평행상태를 유지시키는 구조로 변경함으로써, PSPD에 조정되어진 신호의 기준값이 시편의 모양이나 기울어진 정도와는 무관하게 유지되는 것을 특징으로 한다.