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公开(公告)号：WO2018117655A1
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：PCT/KR2017/015156
申请日：2017-12-20
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: H01L41/113 , G01L1/18 , H01L41/083 , H01L41/27 , H01L41/18
CPC classification number: G01L1/18 , H01L41/083 , H01L41/1132 , H01L41/18 , H01L41/27
Abstract: 본 발명의 일 실시예는, 서로 반대에 위치한 제1 및 제2 면을 갖는 금속 기판을 마련하는 단계와, 상기 금속 기판의 제1 면에 지지 웨이퍼를 접합시키는 단계와, 상기 지지 웨이퍼에 접합된 금속 기판의 제2 면에 절연막을 증착하는 단계와, 상기 절연막 상에 압저항체(piezoresistive material) 패턴과 상기 압저항체 패턴에 연결된 전극을 형성하는 단계와, 상기 금속 기판을 소정의 크기로 절단하고 상기 지지 웨이퍼를 제거함으로써 복수의 판형 검출셀(plate type sensing cell)을 형성하는 단계와, 상기 복수의 판형 검출셀 각각을 베이스에 접합시키는 단계;를 포함하는 압력센서 제조방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020100073425A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：KR1020080132094
申请日：2008-12-23
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원 , 철강융합신기술연구조합 , 포철기연주식회사
Abstract: PURPOSE: A system and a method for a solar tracking are provided to rapidly handle a meteorological variable by monitoring the meteorological variable in real time. CONSTITUTION: A plurality of solar tracking devices(100) track the sun to collect sunlight. A control device(400) calculates the trace of the sun based on the location information of a solar tracking system. The plural solar tracking devices is controlled based on the motion trajectory of the sun. The plural solar tracking devices are controlled by one control device. A motor(200) controls the movement of the solar tracking device. The motor driver(300) controls the drive of the motor.
Abstract translation: 目的：提供一种用于太阳跟踪的系统和方法，通过实时监测气象变量来快速处理气象变量。 构成：多个太阳跟踪装置（100）跟踪太阳以收集太阳光。 控制装置（400）基于太阳跟踪系统的位置信息来计算太阳的痕迹。 基于太阳的运动轨迹来控制多个太阳跟踪装置。 多个太阳能跟踪装置由一个控制装置控制。 电动机（200）控制太阳能跟踪装置的移动。 马达驱动器（300）控制马达的驱动。
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公开(公告)号：KR100341817B1
公开(公告)日：2002-06-26
申请号：KR1020000049746
申请日：2000-08-25
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 , 철강융합신기술연구조합
IPC: C22B9/18
Abstract: 본 발명은 2차 정련을 수행하는 ESR(Electro Slag Remelting)공정에 있어서, 전극을 주형에 삽입함에 있어 전극의 중심과 주형의 중심이 일치하도록 자동 제어하여 전극을 주형 내로 삽입시키는 주형과 전극의 자동 정렬장치 및 그 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명에 따르면, ESR(Electro Slag Remelting)공정 중에서 기중기(9)에 연결되어 이동하는 전극(1)의 중심과 주형(5)의 중심이 정렬된 상태에서 전극(1)을 주형(5)의 내부로 삽입하도록 제어하는 주형과 전극의 자동 정렬장치에 있어서, 주형(5)의 상단부과 전극(1)의 하단부를 촬상할 수 있는 위치에 상호 직각방향으로 설치되는 두 대의 카메라(10, 20)와, 두 대의 카메라(10, 20)로부터 출력된 이미지를 입력받아 각각의 이미지상의 주형(5)의 중심과 전극(1)의 중심이 정렬되도록 기중기(9)의 이동방향을 결정하는 신호처리부(40)를 포함하며, 신호처리부(40)에서 결정된 기중기(9)의 이동방향대로 기중기(9)를 이동시켜 전극(1)의 중심과 주형(5)의 중심이 정렬되면 기중기(9)에 연결된 전극(1)을 하부방향으로 이동시키는 주형과 전극의 자동 정렬장치가 제공된다.-
公开(公告)号：KR102045773B1
公开(公告)日：2019-11-18
申请号：KR1020170138345
申请日：2017-10-24
Applicant: 주식회사 포스코 , 철강융합신기술연구조합 , 재단법인 포항산업과학연구원 , 주식회사 에스케이디 하이테크
IPC: B61B1/02 , E01F1/00 , E06B11/02 , E05F15/665
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公开(公告)号：KR1020020016442A
公开(公告)日：2002-03-04
申请号：KR1020000049746
申请日：2000-08-25
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 , 철강융합신기술연구조합
IPC: C22B9/18
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for automatically aligning a mold and an electrode during ESR(electro slag remelting) process are provided to accurately and stably insert the electrode into the mold regardless of the proficiency of a worker, and to promote the efficiency of electrode insertion work. CONSTITUTION: The apparatus for inserting an electrode(1) connected to a hoist(9) into a mold(5) in a condition that the center of the electrode is aligned with the center of the mold during ESR(electro slag remelting) process comprises two cameras(10,20) disposed in perpendicular to each other for filming the upper end of the mold and the lower end of the electrode; and a signal processing part(40) for determining the movement direction of the hoist so that the center of the mold is aligned with the center of the electrode about each image transmitted from the cameras. When the centers of the mold and the electrode are aligned by moving the hoist according to the movement direction determined by the signal processing part, the electrode connected to the hoist is moved downward.
Abstract translation: 目的：提供ESR（电渣重熔）过程中自动对准模具和电极的装置和方法，以准确稳定地将电极插入模具中，而不管工人的熟练程度如何，并提高电极的效率 插入工作。 构成：在ESR（电渣重熔）工艺过程中，在电极的中心与模具的中心对准的状态下，将连接到起重机（9）的电极（1）插入模具（5）中的装置包括 彼此垂直设置的两个照相机（10,20），用于胶片模具的上端和电极的下端; 以及用于确定提升机的移动方向的信号处理部分（40），使得模具的中心与从相机发送的每个图像的电极的中心对准。 当通过根据由信号处理部确定的移动方向移动葫芦来对准模具和电极的中心时，连接到葫芦的电极向下移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101607257B1
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：KR1020140186440
申请日：2014-12-22
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: H01L21/302 , H01L29/16
CPC classification number: H01L21/302 , H01L29/16 , Y02E10/50
Abstract: 탄화규소기판표면처리방법을제공한다. 본발명에따르면, 스크래치가존재하는탄화규소(SiC) 기판의표면에탄화규소에피박막성장시 결함의발생을줄일수 있도록탄화규소에피박막성장공정이전의전처리단계로서, 스크래치가존재하는탄화규소(SiC) 기판을 RCA 화학세정용액으로 RCA 화학세정을행하는 RCA 화학세정단계, 및상기 RCA 화학세정단계를행한후, 상기스크래치가존재하는탄화규소(SiC) 기판을습식세정용액으로세정하는습식세정단계를포함하는탄화규소에피박막성장공정이전의전처리단계를포함한다.
Abstract translation: 公开了一种用于处理碳化硅（SiC）衬底表面的方法。 根据本发明，该方法是进行外延薄膜生长工艺的预处理阶段，以在外延薄膜生长时减少对划痕的SiC衬底表面的损伤的产生。 该方法包括进行外延薄膜生长工艺的预处理阶段，包括：用RCA化学清洗液进行RCA化学清洗以清洗划伤的SiC衬底的步骤; 以及在进行RCA化学清洗之后用湿清洗液清洁刮擦的SiC基板的步骤。
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公开(公告)号：KR1020150076436A
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020130164569
申请日：2013-12-26
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: H01L21/304 , B24B57/04
CPC classification number: H01L21/304 , B24B57/04 , B24D3/10
Abstract: SiC 기판의연마공정시기판의스크래치를처리하여표면조도를향상시킬수 있도록, 탄화규소기판의표면연마가이루어지는폴리싱정반과, 탄화규소기판이장착되고상기폴리싱정반상에탄화규소기판을가압밀착시키는폴리싱헤드, 상기기판과폴리싱정반사이로연마재를공급하기위한연마재공급라인을포함하고, 상기연마재공급라인은다이아몬드입자와세라믹입자의혼합물을공급하는구조의탄화규소기판평탄화장치를제공한다.
Abstract translation: 为了通过在SiC衬底的抛光工艺中处理衬底的划痕来改善表面粗糙度，提供了一种用于使SiC衬底平坦化的装置，其包括抛光台板，其上抛光SiC衬底的表面，抛光头 其安装SiC衬底并且将SiC衬底按压并紧密地附着在研磨台板上，以及形成在衬底和抛光台板之间以供应磨料的磨料供应管线。 磨料供应管线具有提供金刚石颗粒和陶瓷颗粒的混合物的结构。
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公开(公告)号：KR1020150066014A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：KR1020130150927
申请日：2013-12-05
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
Abstract: SiC 단결정성장장치를제공한다. 본발명에따르면, 단결정원료물질이장입되는내부공간이마련된도가니, 상기도가니의외측에제공되고, 상기도가니를둘러싸는단열재, 상기단열재의외부에제공되고, 상기도가니및 상기단열재를둘러싸는석영관, 종자정이부착되는종자정받침대, 및상기석영관외부에마련되어상기도가니를가열하기위한가열수단을포함하고, 상기단열재는상기도가니내부의온도분포를균일하게제어하기위한온도분포제어부를포함한다.
Abstract translation: 提供了一种用于SiC单晶的生长装置。 根据本发明，用于SiC单晶的生长装置包括：坩埚，其包括插入单晶原料的内部空间; 设置在所述坩埚的外表面上并围绕所述坩埚的绝缘材料; 设置在所述绝缘材料的外侧并围绕所述坩埚和所述绝缘材料的石英管; 和接种于溶液的接种溶液载体; 以及在石英管外形成的加热装置，并加热坩埚，其中绝热材料包括用于均匀地控制坩埚内的温度分布的温度分布控制部分。
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公开(公告)号：KR1020150062244A
公开(公告)日：2015-06-08
申请号：KR1020130146544
申请日：2013-11-28
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: H01L21/304
CPC classification number: B24B37/04 , H01L21/30625
Abstract: SiC 기판의연마공정에소요되는시간을최대한단축할수 있도록, 탄화규소기판이장착되는척테이블과, 고속회전되어탄화규소기판표면을연마하는그라인딩휠, 상기기판과그라인딩휠 사이로냉각수를공급하기위한냉각수공급라인, 상기기판과그라인딩휠 사이로연마가속제를공급하기위한연마제공급라인을포함하고, 상기연마제공급라인은연마가속제로아민계열의피페라진(piperazine)과과산화수소(HO)의혼합물을공급하는구조의탄화규소기판평탄화장치및 방법을제공한다.
Abstract translation: 为了最大限度地缩短SiC衬底的研磨工艺所需的时间，提供了一种使碳化硅衬底平坦化的装置和方法。 该装置包括用于安装SiC基板的卡盘台，高速旋转并研磨SiC基板的表面的砂轮，用于在基板和砂轮之间供应冷却水的冷却水供应管线，以及研磨供给部 用于在基板和砂轮之间提供研磨加速器的线。 研磨供应管路提供胺基哌嗪和过氧化氢（H 2 O 2）的混合物。
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公开(公告)号：KR1020140087344A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：KR1020120157322
申请日：2012-12-28
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원
CPC classification number: C30B23/002 , C01B32/956 , C30B23/066 , C30B29/36
Abstract: Provided are a method for manufacturing a seed for single crystal growth and a method for single crystal growth using the seed. The method for manufacturing a seed for single crystal growth according to the present invention includes a step for forming a carbide film on one surface of a seed; a step for removing an oxide film on the other surface of the seed; and a step for cleaning the seed.
Abstract translation: 提供了用于单晶生长种子的制造方法和使用种子的单晶生长方法。 根据本发明的用于单晶生长种子的制造方法包括在种子的一个表面上形成碳化物膜的步骤; 用于除去种子另一表面上的氧化膜的步骤; 以及清洁种子的步骤。
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